垂直腔表面发射激光器的制作方法

文档序号:18361126发布日期:2019-08-06 23:51阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明的实施例涉及一种垂直腔表面发射激光器,包括:第一反射器;第二反射器,该第二反射器包括半导体或隔离层的层堆叠;有源区,该有源区被布置在第一与第二反射器之间;以及在光输出侧的层堆叠的顶部上的附加层,所述附加层形成了激光器的输出界面,其中附加层的折射率小于所述层堆叠的折射率中的最小折射率。

技术研发人员:迪特尔·比姆伯格;京特·拉里基;詹姆斯·A·洛特
受保护的技术使用者:柏林工业大学
技术研发日:2018.01.05
技术公布日:2019.08.06
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