1.一种衬底处理装置，具备：
旋转保持部，将衬底以水平姿势保持并使它旋转；
涂布液喷出系统，将涂布液喷出到通过所述旋转保持部而旋转的衬底的一面的中心部；
第1喷出速率调整部，在第1期间，将从所述涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为第1速率，以使从所述涂布液喷出系统喷出到衬底的所述一面的中心部的涂布液在衬底的所述一面上扩展；及
第2喷出速率调整部，在所述第1期间之后的第2期间，将从所述涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为高于所述第1速率的第2速率，以使扩展到衬底的所述一面的整体的涂布液的厚度增加。
2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其还具备：
第1旋转速度调整部，在所述第1期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为第1速度；及
第2旋转速度调整部，在所述第2期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第1速度的第2速度。
3.一种衬底处理装置，具备：
旋转保持部，将衬底以水平姿势保持并使它旋转；
涂布液喷出系统，将涂布液喷出到通过所述旋转保持部而旋转的衬底的一面的中心部；
第1喷出速率调整部，在第1期间，将从所述涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为第1速率；
第2喷出速率调整部，在所述第1期间之后的第2期间，将从所述涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为高于所述第1速率的第2速率；
第1旋转速度调整部，在所述第1期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为第1速度；及
第2旋转速度调整部，在所述第2期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第1速度的第2速度。
4.根据权利要求2或3所述的衬底处理装置，其还具备：
第3旋转速度调整部，在所述第2期间之后的第3期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第1速度且低于所述第2速度的第3速度；及
喷出停止部，在所述第3期间使涂布液的喷出停止。
5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其还具备第4旋转速度调整部，该第4旋转速度调整部在所述第3期间之后的第4期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第3速度且低于所述第2速度的第4速度。
6.一种衬底处理方法，包括如下步骤：
在第1期间，一边通过旋转保持部使衬底旋转，一边通过涂布液喷出系统以第1速率将涂布液喷出到衬底的一面的中心部，以使涂布液在衬底的所述一面上扩展；及
在所述第1期间之后的第2期间，一边通过所述旋转保持部使衬底旋转，一边通过所述涂布液喷出系统以高于所述第1速率的第2速率将涂布液喷出到衬底的所述一面的中心部，以使扩展到衬底的所述一面的整体的涂布液的厚度增加。
7.根据权利要求6所述的衬底处理方法，其包括如下步骤：
在所述第1期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为第1速度；及
在所述第2期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第1速度的第2速度。
8.一种衬底处理方法，包括如下步骤：
在第1期间，一边通过旋转保持部以第1速度使衬底旋转，一边通过涂布液喷出系统以第1速率将涂布液喷出到衬底的一面的中心部；及
在所述第1期间之后的第2期间，一边通过所述旋转保持部使衬底以高于所述第1速度的第2速度旋转，一边通过所述涂布液喷出系统以高于所述第1速率的第2速率将涂布液喷出到衬底的所述一面的中心部。
9.根据权利要求7或8所述的衬底处理方法，其还包括如下步骤：
在所述第2期间之后的第3期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第1速度且低于所述第2速度的第3速度；及
在所述第3期间使涂布液的喷出停止。
10.根据权利要求9所述的衬底处理方法，其还包括如下步骤：在所述第3期间之后的第4期间，将基于所述旋转保持部的衬底的旋转速度调整为高于所述第3速度且低于所述第2速度的第4速度。