显示背板及其制作方法和显示装置与流程

本发明涉及显示技术领域，具体的，涉及显示背板及其制作方法和显示装置。

背景技术：

oled器件通过独立调整每个子像素的微腔腔长，独立控制rgb三色光发光，可显著提高器件效率，达到高亮度和高色域显示。为了实现独立控制rgb三色发光，目前，一种可行的oled微腔结构中，oled器件的阳极采用多层金属结构，并在某两层金属间制作不同厚度的介质层，其中，红色子像素中介质层的厚度大于绿色子像素中介质层的厚度，绿色子像素中介质层的厚度大于蓝色子像素中介质层的厚度，使得红色子像素的微腔腔长大于绿色子像素的微腔腔长，绿色子像素的微腔腔长大于蓝色子像素的微腔腔长，实现独立控制rgb三色光发光，达到高亮度和高色域显示的目的，但是上述设置方式依然存在很多的问题，影响显示装置的显示效果和产品良率。

因此，关于显示背板的研究有待深入。

技术实现要素：

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种显示背板，该显示背板的产品良率较高、显示效果提升或制备工艺简单等优点。

在本发明的一个方面，本发明提供了一种显示背板。根据本发明的实施例，显示背板包括：衬底；多个子像素，多个所述子像素周期性分布在所述衬底的第一表面上，每个子像素分布周期包括n个成行或者成列分布的所述子像素，n个所述子像素的微腔腔长不完全相同，且n个所述子像素中微腔腔长最大的子像素和n个所述子像素中微腔腔长最小的子像素不相邻，n为大于或等于3的正整数。由于n个所述子像素中微腔腔长最大的子像素和n个所述子像素中微腔腔长最小的子像素不相邻，由此，相邻两个子像素的微腔腔长之间的微腔段差较小，进而使得相邻两个子像素连接处的阴极不会因为较大的微腔段差而断裂，从而提升显示背板的显示质量以及产品良率。

根据本发明的实施例，每个所述子像素分布周期包括奇数个所述子像素，在所述奇数个所述子像素的分布方向上，所述子像素的微腔腔长从中间向两侧逐渐增大或者逐渐减小。

根据本发明的实施例，每个所述子像素分布周期包括依次分布的第一子像素、第二子像素、第三子像素、第二子像素和第一子像素，且所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素的颜色不同。

根据本发明的实施例，一个所述第三子像素的发光面积大于一个所述第一子像素的发光面积，且一个所述第三子像素的发光面积大于一个所述第二子像素的发光面积。

根据本发明的实施例，第一子像素为红色子像素，所述第二子像素为绿色子像素，所述第三子像素为蓝色子像素。

根据本发明的实施例，第一子像素为蓝色子像素，所述第二子像素为绿色子像素，所述第三子像素为红色子像素。

根据本发明的实施例，一个所述子像素包括：第一电极，所述第一电极设置在所述第一表面上；反射层，所述反射层设置在所述第一电极远离所述衬底的一侧；腔长调节层，所述腔长调节层设置在所述反射层远离所述衬底的一侧，且所述腔长调节层中设有通孔；第二电极，所述第二电极设置在所述腔长调节层远离所述衬底的一侧，且所述第二电极通过所述通孔与所述反射层电连接；发光功能层，所述发光功能层设置在所述第二电极远离所述衬底的一侧；第三电极，所述第三电极设置在所述发光功能层远离所述衬底的一侧。

在本发明的另一个方面，本发明提供了一种制作显示背板的方法。根据本发明的实施例，制作显示背板的方法包括：在衬底的第一表面上形成多个呈周期性分布的子像素，其中，每个子像素分布周期包括n个成行或者成列分布的所述子像素，n个所述子像素的微腔腔长不完全相同，且n个所述子像素中微腔腔长最大的子像素和n个所述子像素中微腔腔长最小的子像素不相邻，n为大于或等于3的正整数。在上述制作方法中，由于n个所述子像素中微腔腔长最大的子像素和n个所述子像素中微腔腔长最小的子像素不相邻，由此，相邻两个子像素的微腔腔长之间的微腔段差较小，进而使得相邻两个子像素连接处的阴极不会因为较大的微腔段差而断裂，从而提升显示背板的显示质量以及产品良率；而且，上述制作方法简单，易操作，便于工业化生产，且不会增大生产成本。

根据本发明的实施例，所述子像素的形成步骤包括：在所述第一表面上形成第一电极；在所述第一电极远离所述衬底的一侧形成反射层；在多个所述反射层远离所述衬底的一侧形成腔长调节层；在所述腔长调节层远离所述衬底的一侧形成第二电极，且所述第二电极与所述反射层电连接；在所述第二电极远离所述衬底的一侧形成发光功能层；在所述发光功能层远离所述衬底的一侧形成第三电极。

根据本发明的实施例，在多个所述子像素分布的行或者列的方向上，定义依次分布的n个所述子像素分别为子像素1、子像素2、….、子像素n-1、子像素n，其中n为奇数，n个所述子像素中的所述腔长调节层是通过以下步骤形成的：步骤1、在n个所述反射层远离所述衬底的一侧形成整层介质层；步骤2、对所述介质层远离所述衬底的表面进行第一次刻蚀，所述第一次刻蚀的区域在所述衬底上的正投影覆盖所述子像素1+i至所述子像素n-i在所述衬底上的正投影；步骤3、对经过所述第一次刻蚀的所述介质层的部分表面进行第二次刻蚀，所述第二次刻蚀的区域在所述衬底上的正投影覆盖所述子像素1+i至所述子像素n-i在所述衬底上的正投影；步骤4：重复步骤3，直至1+i＝n-i，其中，i等于刻蚀次数。

在本发明的又一方面，本发明提供了一种显示装置。根据本发明的实施例，显示装置包括前面所述的显示背板。由此，该显示装置的显示效果好，色彩均一性好，产品良率高。本领域技术人员可以理解，该显示装置具有前面所述显示背板的所有特征和优点，在此不再一一赘述。

附图说明

图1是本发明一个实施例中显示背板的结构示意图。

图2是现有技术中显示背板的结构示意图。

图3是本发明另一个实施例中显示背板的结构示意图。

图4是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图。

图5是本发明又一个实施例中多个子像素的分布俯视图。

图6是本发明又一个实施例中制作显示背板的方法流程图。

图7是本发明又一个实施例中制作显示背板的结构示意图。

图8是本发明又一个实施例中制作显示背板的结构示意图。

图9是本发明又一个实施例中制作显示背板的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例。下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。实施例中未注明具体技术或条件的，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行。

在本发明的一个方面，本发明提供了一种显示背板。根据本发明的实施例，参照图1，显示背板包括：衬底100；多个子像素200，多个子像素周期性分布在衬底100的第一表面110上，每个子像素分布周期包括n个成行或者成列分布的子像素200，n个子像素200的微腔腔长不完全相同，且n个子像素中微腔腔长最大(微腔腔长为h1)的子像素200和n个子像素中微腔腔长最小(微腔腔长为h3)的子像素200不相邻，n为大于或等于3的正整数(图1中以一个子像素分布周期且n＝5为例)。由于n个子像素200中微腔腔长最大的子像素200和n个子像素中微腔腔长最小的子像素200不相邻，由此，相邻两个子像素200的微腔腔长之间的微腔段差较小，进而使得相邻两个子像素连接处的第三电极260不会因为较大的微腔段差而断裂，从而提升显示背板的显示质量以及产品良率。

本领域技术人员熟知，参照图1和图2，每一个子像素中反射层220远离衬底的表面与第三电极260靠近衬底的表面之间的结构构成一个子像素的微腔结构，微腔结构的微腔腔长是指反射层远离衬底的表面与第三电极靠近衬底的表面之间的垂直距离，其中，微腔腔长h(图中的h1、h2和h3表示不同颜色的子像素的微腔腔长)为半个波长的整数倍时，即h＝m*λ/2(λ为光的波长，m为大于或等于1的正整数)，才可以有效发出预定颜色的光，因此不同颜色的子像素的微腔腔长是不相同的，以rgb为例，绿色子像素、红色子像素和蓝色子像素等子像素的微腔腔长是不相同的，且红色子像素的微腔腔长大于绿色子像素的微腔腔长，绿色子像素的微腔腔长大于蓝色子像素的微腔腔长。

所以如前所述，由于颜色不同子像素的微腔腔长不同，导致多个子像素的微腔结构的表面不平坦，相邻的不同子像素之间存在微腔段差，所以在形成第三电极260时，会因为较大的微腔段差使得第三电极存在断裂风险，导致断裂处的第三电极无法加载信号，局部像素无法被点亮，进而严重影响显示背板的显示效果。

若n个子像素中微腔腔长最大的子像素200和n个子像素中微腔腔长最小的子像素200相邻设置，如图2所示(图2中以两个子像素分布周期为例，且每个子像素分布周期包括3个成行或者成列分布的子像素200)，在形成oled器件的第三电极260时，由于微腔腔长最大(微腔腔长为h1)的子像素200和微腔腔长最小(微腔腔长为h3)的子像素200之间的微腔段差△h13较大，比如rgb像素排列时，红色子像素和蓝色子像素之间的微腔段差通常可达1000埃)，且第三电极的厚度较薄(例如通常为约130埃)，所以，微腔腔长最大(微腔腔长为h1)的子像素200和微腔腔长最小(微腔腔长为h3)的子像素200连接处的第三电极260容易发生断裂，导致断裂处的第三电极无法加载信号，局部像素无法被点亮，严重影响显示背板的显示效果。由此，在本申请中，使n个子像素中微腔腔长最大的子像素200和n个子像素中微腔腔长最小的子像素200不相邻设置，进而可以有效缩短相邻子像素之间的微腔段差，进而减少或避免第三电极断裂的风险。

为了实现不同颜色的子像素的微腔腔长不同，可通过腔长调节层调节微腔腔长，下面根据本发明的一些具体实施例，详细描述一下本申请中每个子像素200的具体结构：参照图1，一个子像素200包括：第一电极210，第一电极210设置在第一表面110上；反射层220，反射层220设置在第一电极210远离衬底100的一侧；腔长调节层230，腔长调节层230设置在反射层220远离衬底100的一侧，且腔长调节层230中设有通孔231；第二电极240，第二电极240设置在腔长调节层230远离衬底100的一侧，且第二电极240通过通孔231与反射层220电连接；发光功能层250，发光功能层250设置在第二电极240远离衬底100的一侧；第三电极260，第三电极260设置在发光功能层250远离衬底100的一侧。由此，实现子像素的发光功能，进而实现显示背板的显示功能。

需要说明的是，腔长调节层230的厚度h＝微腔腔长-发光功能层的厚度-第二电极的厚度。一些具体实施例中，不同子像素中的第二电极和发光功能层的厚度基本一致，所以相邻子像素之间的微腔段差等于该相邻子像素中腔长调节层之间的厚度差。所以，本领域技术人员可以根据所需的微腔腔长、第二电极的厚度、放光功能层的厚度等，灵活设计所要腔长调节层的厚度。

本领域技术人员可以理解，衬底可以包括薄膜晶体管(包括源极、漏极、栅极和有源层等结构)以及设置在薄膜晶体管中的各层绝缘层、平坦层等结构，且上述各种具体结构可以按照常规技术进行设置，在此不再过多赘述。

显示背板中的oled器件为第一电极至第三电极之间的结构，其中，反射层的设置用于反射发光功能层中的光线，提高光线的利用率，进而提升显示效果，其中，形成反射层的材料没有限制要求，只要不透光、不吸光即可，比如铝、银等材料中的至少一种；第二电极通过过孔与反射层电连接，而反射层与第一电极直接接触连接，所以第一电极和第二电极电连接，两者共同构成oled器件的阳极，其中，第一电极和第二电极为透明电极，形成其材料可以为氧化铟锡(ito)；发光功能层包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层与电子注入层等结构；第三电极构成oled器件的阴极，与阳极共同作用，对发光功能层施加电压，实现发光功能层的发光作用，其中，形成第三电极的材料包括但不限于镁、银中的至少一种。

在一些实施例中，形成腔长调节层的材料没有特殊限制要求，本领域技术人员可以根据实际情况灵活选择，只要保证oled器件的正常功能即可，比如形成腔长调节层的材料包括但不限于氮化硅、氧化硅、氮氧化硅等材料中的至少一种。由此，材料来源广泛，成本低，且透光率好，不影响光利用率。

根据本发明的实施例，参照图1和图3，每个子像素分布周期包括奇数个子像素(图中以五个子像素为例)，在奇数个子像素200的分布方向上，子像素的微腔腔长h从中间向两侧逐渐增大或者逐渐减小，具体的：如图1所示，在奇数个子像素200的分布方向上，子像素200的微腔腔长h从中间向两侧逐渐由h3增大至h1；或者如图3所示，在奇数个子像素200的分布方向上，子像素200的微腔腔h从中间向两侧长逐渐由h1减小至h3。由此，在每个子像素分布周期中，奇数个子像素中微腔腔长最大(微腔腔长为h1)的子像素200和n个子像素中微腔腔长最小(微腔腔长为h3)的子像素200不相邻设置，进而可以有效缩短相邻像素之间的微腔段差，进而减少或避免第三电极断裂的风险，最终提升显示背板的显示质量和产品良率。

根据本发明的实施例，参照图3和图4，每个子像素200分布周期包括依次分布的第一子像素201、第二子像素202、第三子像素203、第二子像素202和第一子像素201，且第一子像素、第二子像素和第三子像素的颜色不同。由此，实现显示背板的正常显示功能。其中，如图4所示，第一子像素的微腔腔长h1大于第二子像素色微腔腔长h2，第二子像素的微腔腔长h2大于第三子像素的微腔腔长h3，最大微腔腔长h1的第一子像素与最小微腔腔长h3的第三子像素不相邻设置；或者，如图3所示，第一子像素的微腔腔长h1小于第二子像素色微腔腔长h2，第二子像素的微腔腔长h2小于第三子像素的微腔腔长h3，在上述两种情况中，最大微腔腔长h3的第三子像素与最小微腔腔长h1的第一子像素不相邻设置。上述两种情况均可以缩小相邻子像素之间的微腔段差，进而减少或避免第三电极断裂的风险，最终提升显示背板的显示质量和产品良率。

根据本发明的实施例，如图4所示，第一子像素201为红色子像素，第二子像素202为绿色子像素，第三子像素203为蓝色子像素。由此，可以有效实现三原色的显示效果，而且在红光、绿光和蓝光中，红光波长最大，蓝光波长最小，即红色子像素的微腔腔长最大，蓝色子像素的微腔腔长最小，两者间隔设置，并将绿色子像素设置在两者之间，进而避免红色子像素和蓝色子像素之间较大微腔段差的存在，进而减少或避免第三电极断裂的风险，最终提升显示背板的显示质量和产品良率。

根据本发明的实施例，如图3所示，第一子像201素为蓝色子像素，第二子像素202为绿色子像素，第三子像素203为红色子像素。由此，可以有效实现三原色的显示效果，而且在红光、绿光和蓝光中，红光波长最大，蓝光波长最小，即红色子像素的微腔腔长最大，蓝色子像素的微腔腔长最小，两者间隔设置，并将绿色子像素设置在两者之间，进而避免红色子像素和蓝色子像素之间较大微腔段差的存在，进而减少或避免第三电极断裂的风险，最终提升显示背板的显示质量和产品良率。

根据本发明的实施例，参照图5(图5中列出了两个子像素分布周期)，一个第三子像素203的发光面积c大于一个第一子像素201的发光面积a，且一个第三子像素203的发光面积c大于一个第二子像素202的发光面积b(即c＞a，c＞b)。由此，不同的发光面积配合不同子像素的发光效率，提升显示背板的显示质量和像素分辨率。其中，第一子像素的发光面积和第二子像素的发光面积之间的大小关系没有特殊限制要求，本领域技术人员可以根据像素分辨率、发光效率等实际需求灵活设定；此外，第一子像素、第二子像素和第三子像素的具体发光面积也无特殊要求，本领域技术人员可以根据像素分辨率、发光效率等实际需求灵活设定。

在本发明的另一个方面，本发明提供了一种制作显示背板的方法。根据本发明的实施例，制作显示背板的方法包括：在衬底100的第一表面110上形成多个呈周期性分布的子像素200，其中，参照图1和图3，每个子像素分布周期包括n个成行或者成列分布的子像素200，n个子像素200的微腔腔长h不完全相同，且n个子像素200中微腔腔长最大的子像素和n个子像素200中微腔腔长最小的子像素不相邻，n为大于或等于3的正整数。在上述制作方法中，由于n个子像素中微腔腔长最大的子像素和n个子像素中微腔腔长最小的子像素不相邻，由此，相邻两个子像素之间的微腔段差较小，进而使得相邻两个子像素连接处的第三电极不会因为较大的微腔段差而断裂，从而提升显示背板的显示质量以及产品良率；而且，上述制作方法简单，易操作，便于工业化生产，且不会增大生产成本。

根据本发明的实施例，参照图6和图1，子像素200的形成步骤包括：

s100：在第一表面110上形成第一电极210。

s200：在第一电极210远离衬底100的一侧形成反射层220。

s300：在反射层220远离衬底100的一侧形成腔长调节层230。

本领域技术人员可以理解，在制备显示背板时，显示背板中的各个子像素的腔长调节层是在一次构图工艺中一次性形成的，下面根据一些实施例，以一个子像素分布周期为例描述一下腔长调节层的具体行程步骤。

在多个子像素分布的行或者列的方向上，定义依次分布的n个子像素分别为子像素1、子像素2、….、子像素n-1、子像素n，其中n为奇数，n个子像素中的腔长调节层是通过以下步骤形成的：

步骤1、在n个反射层远离衬底的一侧形成整层介质层。

步骤2、对介质层远离所述衬底的表面进行第一次刻蚀，第一次刻蚀的区域在衬底上的正投影覆盖子像素1+i(即子像素2)至子像素n-i(即子像素n-1)在衬底上的正投影。在该步骤中，未经刻蚀的介质层在衬底上的正投影覆盖子像素1和子像素n在衬底上的正投影，且未经刻蚀的介质层分别构成子像素1和子像素n的腔长调节层；经过第一次刻蚀之后，在衬底上的正投影覆盖子像素2和子像素n-1的介质层构成子像素2和子像素n-1的腔长调节层。

步骤3、对经过第一次刻蚀的介质层的部分表面进行第二次刻蚀，第二次刻蚀的区域在衬底上的正投影覆盖子像素1+i(即子像素3)至子像素n-i(即子像素n-2)在衬底上的正投影。在该步骤之后，得到子像素3和子像素n-2的腔长介质层。

步骤4：重复步骤3，直至1+i＝n-i，其中，i等于刻蚀次数，进而得到子像素n-i的腔长调节层。

上述腔长调节层的形成方法中，每个子像素中的腔长调节层相互配合形成，即先对子像素2至子像素n-1对应的介质层进行大面积的第一次刻蚀，之后再对子像素3至子像素n-2对应的经过第一次刻蚀的介质层进行第二次刻蚀，按上述步骤以此类推，直至1+i＝n-i，得到所有子像素的腔长调节层，这样在第一次刻蚀至第i次刻蚀中，刻蚀的介质层的面积逐渐减小(最小刻蚀面积为n个子像素中最中间的子像素的发光面积)，这样相比图2中的腔长调节层的形成方法(每个子像素的腔长调节层是通过独立的刻蚀工艺得到的，刻蚀面积较小，导致表面形貌较差)，本发明的上述的每次的刻蚀面积较大，使得刻蚀的表面形貌更为均匀、平整，即腔长调节层的表面更为均匀、平整，使得子像素的微腔腔长满足h＝m*λ/2，减少或避免因子像素的微腔结构中某一处因腔长调节层的表面不平整而导致该处的微腔腔长不满足h＝m*λ/2的要求，进而提升显示色彩的均一性，进而提升显示质量和效果。

根据本发明的一些实施例，参照图1、图4和图7，n＝5，i＝3，在多个子像素分布的行或者列的方向上，包括依次分布的5个子像素分别为第一子像素201、第二子像素202、第三子像素203、第二子像素202和第一子像素201，5个子像素中的腔长调节层是通过以下步骤形成的：

步骤1、在5个反射层远离衬底的一侧形成整层介质层2300，结构示意图参照图7。

步骤2、对介质层2300远离衬底的表面进行第一次刻蚀，第一次刻蚀的区域d1在衬底上的正投影覆盖两个第二子像素202和第三子像素203在衬底上的正投影。在该步骤中，未经刻蚀的介质层2300在衬底上的正投影覆盖两个第一子像素201在衬底100上的正投影，且未经刻蚀的介质层分别构成两个第一子像素201的腔长调节层230；经过第一次刻蚀之后，在衬底上的正投影覆盖两个第二子像素202的介质层分别构成子两个第二子像素202的腔长调节层230，结构示意图参照图8。

步骤3、对经过第一次刻蚀的介质层的部分表面进行第二次刻蚀，第二次刻蚀的区域d2在衬底100上的正投影覆盖第三子像素203在衬底100上的正投影。在该步骤之后，得到第三子像素的腔长介质层230，结构示意图参照图9。

上述腔长调节层的形成方法中，每个子像素中的腔长调节层相互配合形成，即先对两个第二子像素202和第三子像素203对应的介质层进行大面积的第一次刻蚀，之后再对第三子像素203对应的经过第一次刻蚀的介质层进行第二次刻蚀，进而得到5个子像素的腔长调节层，这样在第一次刻蚀至第2次刻蚀中，刻蚀的介质层的面积逐渐减小，这样相比图2中的腔长调节层的形成方法(每个子像素的腔长调节层是通过独立的刻蚀工艺得到的，刻蚀面积较小，导致表面形貌较差)，本发明的上述的每次的刻蚀面积较大，使得刻蚀的表面形貌更为均匀、平整，即腔长调节层的表面更为均匀、平整，使得子像素的微腔腔长满足h＝m*λ/2，减少或避免因子像素的微腔结构中某一处因腔长调节层的表面不平整而导致该处的微腔腔长不满足h＝m*λ/2的要求，进而提升显示色彩的均一性，进而提升显示质量和效果。

其中，上述第一次刻蚀、第二次刻蚀等刻蚀方法包括涂覆光刻胶(正性光刻胶或负性光刻胶)、利用掩膜板曝光、显影、剥离等步骤，其具体的操作步骤没有特殊要求，本领域技术人员根据实际情况灵活选择即可，在此不再过多描述。

s400：在腔长调节层230远离衬底100的一侧形成第二电极240，且第二电极240与反射层220电连接。

在上述步骤中，第二电极和反射层的电连接的具体方式没有特殊要求，比如，可以在每个子像素中的腔长调节层230中制作通孔231，第二电极240和反射层220通过通孔进行电连接。

s500：在第二电极240远离衬底100的一侧形成发光功能层250。

在该步骤中，形成发光功能层的步骤包括形成空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层与电子注入层等结构的步骤，其具体方法没有特殊要求，本领域技术人员根据实际需求灵活选择常规技术中的制作方法即可，在此不再详细描述。

s600：在发光功能层250远离衬底100的一侧形成第三电极260。

在上述步骤中，形成第一电极、反射层、第二电极、第三电极等结构的方法包括但不限于物理气相沉积(比如蒸镀、溅射等)和化学气相沉积等方法形成。

上述制作显示背板的方法可以用于制作前面所述显示背板，其中，对衬底、第一电极、第二电极、第三电极、微腔结构、微腔腔长等结构的要求与前面所述的一致，在此不再一一赘述。

在本发明的又一方面，本发明提供了一种显示装置。根据本发明的实施例，显示装置包括前面所述的显示背板。由此，该显示装置的显示效果好，色彩均一性好，产品良率高。本领域技术人员可以理解，该显示装置具有前面所述显示背板的所有特征和优点，在此不再一一赘述。

根据本发明的实施例，上述显示装置的具体种类没有限制要求，本领域技术人员可以根据实际需求灵活选择。在本发明的一些实施例中，上述显示装置包括但不限于手机、平板电脑、kindle、游戏机等具有显示功能的一切设备。

本领域技术人员可以理解，上述显示装置除了包括前面所述显示背板，还包括常规显示装置所必备的结构或部件，以手机为例，除了包括前面所述的显示背板，还包括壳体、盖板、触摸模组、音频模组、照相模组等结构或部件。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。