垂直共振腔面射型激光装置的制作方法

文档序号:25030849发布日期:2021-05-11 17:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,包含:

一n型金属材;

多个激光发光单元,位于该n型金属材,每一该激光发光单元包含:

一n型接触层,接触该n型金属材;

一n型分布式布拉格反射镜,接触该n型接触层;

一p型分布式布拉格反射镜,位于该n型分布式布拉格反射镜上;

一主动发光层,位于该p型分布式布拉格反射镜与该n型分布式布拉格反射镜之间:

一电流限制层,位于该主动发光层与该p型分布式布拉格反射镜之间,该电流限制层具有一电流限位孔;

一p型接触层,接触于该p型分布式布拉格反射镜;以及

一绝缘侧墙,环绕并接触该n型与p型分布式布拉格反射镜、该n型与该p型接触层、该主动发光层以及该电流限制层的所有侧边;一p型金属材,接触每一该激光发光单元的该p型接触层,且具有多个通孔,每一该通孔对准对应的每一该激光发光单元的该电流限位孔;以及

一绝缘块,连接于所述多个激光发光单元的该绝缘侧墙,且位于该p型金属材与该n型金属材之间。

2.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该绝缘块不重叠于该n型接触层。

3.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该p型金属材部分位于紧邻的所述多个激光发光单元的该绝缘侧墙之间。

4.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该p型分布式布拉格反射镜于该主动发光层的投影面积等于该n型分布式布拉格反射镜于该主动发光层的投影面积。

5.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该绝缘块的厚度范围介于0.5微米到5微米之间。

6.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该p型金属材的厚度范围介于3微米到15微米之间。

7.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该n型金属材的厚度范围介于30微米到100微米之间。

8.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,紧邻的所述多个激光发光单元的该绝缘侧墙之间距离的范围介于5微米到50微米之间。

9.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该绝缘侧墙的厚度范围介于0.1微米到2微米之间。

10.根据权利要求1所述的垂直共振腔面射型激光装置,其特征在于,该p型接触层于该主动发光层的投影面积等于该n型接触层于该主动发光层的投影面积。


技术总结
一种垂直共振腔面射型激光装置包含多个激光发光单元位于N型金属材。每一激光发光单元包含N型及P型接触层、N型及P型分布式布拉格反射镜、主动发光层、电流限制层、绝缘侧墙、P型金属材以及绝缘块。N型分布式布拉格反射镜接触N型接触层。P型分布式布拉格反射镜位于N型分布式布拉格反射镜上。绝缘侧墙环绕并接触上述这些层的所有侧边。P型金属材接触P型接触层且具有多个通孔。绝缘块连接于这些激光发光单元的绝缘侧墙,且位于P型金属材与N型金属材之间。前述结构的设计利于激光发光单元运作时散热效率的提升。

技术研发人员:洪崇瑜;林昱成;范纲维
受保护的技术使用者:隆达电子股份有限公司
技术研发日:2019.11.11
技术公布日:2021.05.11
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