一种半导体器件及其制备方法与流程

1.本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体器件及其制备方法。


背景技术：

2.半导体材料氮化镓(gan)由于具有禁带宽度大、电子迁移率高、击穿场强高、导热性能好等特点，且具有很强的自发和压电极化效应，相较于第一代半导体材料和第二代半导体材料更适合于制造高频、高压和耐高温的大功率电子器件，尤其是在射频和电源领域优势明显。
3.目前5g通信对于半导体器件的带宽和高频要求很高，而栅极结构设计和工艺流程与半导体器件的频率特性有密切的关系，栅极的尺寸直接影响半导体器件的工作频率。因此，在半导体器件的设计和制备过程中，栅极的设计尤为重要，对半导体器件的可靠性和工作性能的稳定性，起到关键作用。
4.因此，如何进一步提高半导体栅极可靠性，实现半导体器件性能稳定的栅极设计，并可用于实现大规模商业生产制备，成为目前急需解决的问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本发明实施例提供一种半导体器件及其制备方法，以提供一种栅极可靠性高、半导体器件性能稳定的半导体器件，可以用于射频微波、电源电子等领域。
6.第一方面，本发明实施例提供了一种半导体器件，包括有源区以及围绕所述有源区的无源区；所述半导体器件还包括：
7.衬底；
8.位于所述衬底一侧的多层半导体层；
9.位于所述多层半导体层远离所述衬底一侧的源极、栅极和漏极，所述栅极位于所述源极和所述漏极之间；
10.沿第一方向，所述栅极依次包括第一端部、中间部和第二端部，所述中间部、所述源极和所述漏极均位于所述有源区，所述第一端部和/或所述第二端部延伸至所述无源区；所述第一方向与所述源极、所述栅极和所述漏极的延伸方向平行；
11.沿第二方向，至少位于所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部的延伸宽度大于所述中间部的延伸宽度；所述第二方向与所述源极指向所述漏极方向平行。
12.可选的，延伸至所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部向所述源极一侧弯曲。
13.可选的，延伸至所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部靠近所述源极或所述漏极至少一侧的边缘轮廓线包括第一曲线，所述第一曲线中任意两点所在的圆弧对应的圆心位于所述第一曲线的同一侧。
14.可选的，所述第一曲线包括第一点和第二点，所述第二点位于所述第一点靠近所述无源区的一侧；
15.所述第二点对应的曲率半径大于所述第一点对应的曲率半径。
16.可选地，所述第一曲线包括第一曲线起始点和第一曲线终止点；
17.所述源极包括位于靠近所述栅极一侧的第一源极拐角和第二源极拐角，所述第一源极拐角和/或所述第二源极拐角为倒角；所述倒角包括倒角起始点和倒角终止点；
18.所述第一曲线起始点与所述倒角起始点的连线与所述第二方向平行；
19.所述第一曲线终止点位于所述倒角终止点远离所述漏极的一侧，或者，所述第一曲线终止点与所述倒角终止点的连线与所述第一方向平行。
20.可选的，所述边缘轮廓线还包括与所述第一曲线平滑连接的第二曲线，所述第二曲线位于所述第一曲线靠近所述无源区的一侧；
21.所述第一曲线中任意两点和所述第二曲线中任意两点所在的圆弧对应的圆心分别位于所述边缘轮廓线的不同侧。
22.可选的，所述第一曲线中任意一点对应的曲率半径大于所述中间部在所述第二方向上的延伸宽度；
23.其中，所述第一曲线中任意一点对应的曲率半径为r，所述中间部在所述第二方向上的延伸宽度为d，1.5*d≤r≤20*d。
24.可选的，所述半导体器件还包括位于所述栅极远离所述多层半导体层一侧的场板结构，所述场板结构与所述栅极形成平板电容。
25.可选的，延伸至所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部的形状包括锤头状、圆形、半圆形、灯泡形、矩形和l形中的至少一种。
26.可选的，延伸至所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部的延伸宽度为l，所述中间部的延伸宽度为d，其中，1.2*d≤l≤30*d。
27.第二方面，本发明实施例还提供了一种半导体器件的制备方法，用于制备权利要求1-9任一项所述的半导体器件，所述制备方法包括：
28.提供衬底；
29.在所述衬底一侧制备多层半导体层；
30.在所述多层半导体层远离所述衬底的一侧制备源极、栅极和漏极，所述栅极位于所述源极和所述漏极之间；
31.沿第一方向，所述栅极依次包括第一端部、中间部和第二端部，所述中间部、所述源极和所述漏极均位于所述有源区，所述第一端部和/或所述第二端部延伸至所述无源区；所述第一方向与所述源极、所述栅极和所述漏极的延伸方向平行；
32.沿第二方向，延伸至所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部的延伸宽度大于所述中间部的延伸宽度；所述第二方向与所述源极指向所述漏极方向平行。
33.本发明实施例提供的半导体器件及其制备方法，通过设置栅极的第一端部和/或第二端部延伸至无源区，且沿源极指向漏极的方向，至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度大于中间部的延伸宽度。如此至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度较大，延伸宽度较大的栅极的第一端部和/或第二端部有利于显影液从至少一个端部向中间部渗透，可以修正因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，显著降低显影难度，保证源漏两端拐角位置处对应的栅极形状与中间部的形状相同或者相差较小，保证栅极结构稳定，性能稳定，进一步可以避免因栅极形变影响半导体器件的
功率和频率，保证半导体器件性能稳定。
附图说明
34.图1是现有技术中一种半导体器件的结构示意图；
35.图2是本发明实施例提供的一种半导体器件的结构示意图；
36.图3是本发明实施例提供的一种半导体器件的俯视结构示意图；
37.图4是图3中cc区域的放大结构示意图；
38.图5是本发明实施例提供的一种栅极的俯视结构示意图；
39.图6是本发明实施例提供的另一种栅极的俯视结构示意图；
40.图7是本发明实施例提供的一种半导体器件的剖面结构示意图；
41.图8是本发明实施例提供的一种半导体器件的制备方法的流程示意图。
具体实施方式
42.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
43.图1是现有技术中一种半导体器件的结构示意图，如图1所示，半导体器件包括源极10、栅极11和漏极12，栅极11位于源极10和漏极12之间。由于现有的半导体器件中栅极11一般通过光刻工艺制备，且栅极11的宽度很小，在光刻时由于源极10和漏极12的存在，在显影时显影液进入难度较大，源漏两端拐角处之间的栅极11容易因为光的衍射发生畸变，造成源漏两端拐角位置处的栅极11的宽度与其他位置的栅极宽度不一致，造成栅极性能不稳定，进而影响半导体器件的性能。
44.基于上述问题，本发明实施例提供一种半导体器件，包括有源区以及围绕有源区的无源区；半导体器件还包括：衬底；位于衬底一侧的多层半导体层；
45.位于多层半导体层远离衬底一侧的源极、栅极和漏极，栅极位于源极和漏极之间；沿第一方向，栅极依次包括第一端部、中间部和第二端部，中间部、源极和漏极均位于有源区，第一端部和/或第二端部延伸至无源区；第一方向与源极、栅极和漏极的延伸方向平行；沿第二方向，至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度大于中间部的延伸宽度；第二方向与源极指向漏极方向平行。采用上述技术方案，通过设置至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度较大，延伸宽度较大的栅极的第一端部和/或第二端部有利于显影液从至少一个端部向中间渗透，降低显影难度，可以修订因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，显著降低显影难度，保证源漏两端拐角位置处对应的栅极形状与中间部的形状相同或者相差较小，保证栅极结构稳定，性能稳定，进一步可以避免因栅极形变影响半导体器件的功率和频率，保证半导体器件性能稳定。
46.以上是发明的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
47.图2是本发明实施例提供的一种半导体器件的结构示意图，如图2所示，本发明实施例提供的半导体器件20包括有源区aa以及围绕有源区aa的无源区bb；半导体器件20还包
括：
48.衬底21；
49.位于衬底21一侧的多层半导体层22；
50.位于多层半导体层22远离衬底21一侧的源极23、栅极24和漏极25，栅极24位于源极23和漏极25之间；
51.沿第一方向(如图中所示的x方向)，栅极24依次包括第一端部241、中间部242和第二端部243，中间部242、源极23和漏极25均位于有源区aa，第一端部241和/或第二端部243延伸至无源区bb；第一方向与源极23、栅极24和漏极25的延伸方向平行；
52.沿第二方向(如图中所示的y方向)，至少位于无源区bb的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度大于中间部的延伸宽度；第二方向与源极23指向漏极25方向平行。
53.示例性的，如图2所示，源极23、栅极24和漏极25沿第一方向延伸，沿第二方向排列。其中，源极23和漏极25均位于有源区aa内，栅极24包括有源区aa内的部分以及位于无源区bb内的部分。具体的，沿第一方向，栅极24依次包括第一端部241、中间部242和第二端部243，其中，中间部242位于有源区aa内，第一端部241和/或第二端部243位于无源区bb内，图2仅以第二端部243位于无源区bb内为例进行说明。如图2所示，设置至少位于无源区bb内的第二端部243在第二方向上的延伸宽度大于中间部242在第二方向上的延伸宽度，如此，至少位于无源区bb的第二端部243的延伸宽度较大，延伸宽度较大的栅极的第二端部243有利于显影液从第二端部243向中间部242渗透，降低栅极24的显影难度，可以修正因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，显著降低显影难度，保证源漏两端拐角位置处对应的栅极形状与中间部242的形状相同或者相差较小，保证栅极24结构稳定，性能稳定，进一步可以避免因栅极形变影响半导体器件的功率和频率，保证半导体器件性能稳定。
54.可选的，衬底基板21的材料可由硅、蓝宝石、碳化硅、砷化镓、氮化镓、金刚石等中的其中一种材料或多种材料形成，还可以是其他适合生长氮化镓的材料。
55.多层半导体层22位于衬底基板21一侧，多层半导体层22具体可以为iii-v族化合物的半导体材料，例如可由砷化镓、铝镓砷、氮化镓、铝镓氮或铟镓氮中的一种或者一种以上的材料形成。
56.可以理解的是，沿第二方向(如图中所示的y方向)，至少位于无源区bb的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度大于中间部242的延伸宽度，其中，延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243，其可以向源极23方向延伸，如图2所示；也可以向漏极25方向延伸(图中未示出)；还可以同时向源极23方向和漏极25方向延伸(图中未示出)。本发明实施例对如何增加延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243的宽度不进行限定，只需保证至少位于无源区bb的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度大于中间部242的延伸宽度，可以对源漏两端拐角位置处对应的栅极进行修正即可。
57.需要说明的是，本发明实施例仅以第二端部243延伸至无源区bb为例进行说明，可以理解的是，也可以设置第一端部241延伸至无源区bb，还可以设置第一端部241和第二端部243同时延伸至无源区bb，本发明实施例对此不进行限定。进一步的，当第一端部241和第二端部243同时延伸至无源区bb时，第一端部241和第二端部243的形状可以相同也可以不同，本发明实施例对此同样不进行限定。只需保证栅极24中的至少一个端部延伸至无源区
bb，通过延伸至无源区bb的栅极端部对源漏两端拐角位置处对应的栅极的宽度进行调整，修正因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，提升栅极稳定性，避免因栅极形变影响半导体器件的功率和频率，提升半导体器件稳定性即可。
58.还需要说明的是，本发明实施例对第一端部241与中间部242的分界位置以及第二端部243与中间部242的分界位置不进行限定，对于延伸至无源区bb的端部来说，且端部的起点可以位于有源区aa，也可以位于无源区bb，本发明实施例对此不进行限定。举例来说，以图2为例，对于延伸至无源区bb的第二端部243来说，可以理解为第二端部243延伸宽度与中间部242的延伸宽度发生变化的位置作为第二端部243的起始位置，由于第一端部241同样位于有源区aa，且第一端部241的延伸宽度与中间部242的延伸宽度相同，因此在不同情况下，第一端部241的与中间部242的分界位置可以不同，仅需保证第一端部241位于中间部242靠近无源区bb的一侧即可。
59.综上所述，本发明实施例提供的半导体器件，通过设置栅极的第一端部和/或第二端部延伸至无源区，且沿源极指向漏极的方向，至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度大于中间部的延伸宽度。如此至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度较大，延伸宽度较大的栅极的第一端部和/或第二端部有利于显影液从至少一个端部向中间渗透，降低显影难度，可以修正因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，显著降低显影难度，保证源漏两端拐角位置处对应的栅极形状与中间部的形状相同或者相差较小，保证栅极结构稳定，性能稳定，进一步可以避免因栅极形变影响半导体器件的功率和频率，保证半导体器件性能稳定。
60.可选的，继续参考图2所示，沿第二方向(如图中所示的y方向)，延伸至无源bb区的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度为l，中间部242的延伸宽度为d，其中，1.2*d≤l≤30*d。
61.示例性的，图2以第二端部243延伸至无源区bb为例进行说明。合理设置位于延伸至无源区bb的第二端部243的延伸宽度，可以保证延伸至无源区bb的第二端部243对源漏两端拐角位置处对应的栅极24进行适度修正，弥补或者完全消除因光的衍射造成的栅极宽度减小的问题；同时还不会造成过度修正，不会产生因过度修正造成源漏两端拐角位置处对应的栅极24宽度加宽的问题，保证位于有源区aa内的栅极24的栅宽一致或者基本一致，保证栅极24结构稳定，栅极24的性能稳定，进一步保证半导体器件的性能稳定。
62.进一步的，经过研究发现，设置延伸至无源bb区的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度大于l与中间部242的延伸宽度d满足1.2*d≤l≤30*d，可以保证对源漏两端拐角位置处对应的栅极24进行适度修正，其中，l可以等于1.2*d、1.5*d、2*d、3*d、3.5*d、5*d、10*d、15*d或者30*d，本发明实施例对具体数值不再枚举，且对延伸至无源bb区的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度大于l与中间部242的延伸宽度d的具体对应关系不进行限定，只需保证1.2*d≤l≤30*d，保证可以对源漏两端拐角位置处对应的栅极24进行适度修正即可。
63.可选的，延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243的形状可以包括锤头状、圆形、半圆形、灯泡形、矩形和l形中的至少一种，本发明实施例对此不进行限定，只需保证沿第二方向(如图中所示的y方向)，至少位于无源区bb的第一端部241和/或第二端部243的延伸宽度大于中间部的延伸宽度即可，保证可以对对源漏两端拐角位置处对应的栅极24
进行修正，保证栅极24结构稳定、性能稳定。本发明中延伸至所述无源区bb的所述第一端部241和/或所述第二端部243在靠近所述源极23或所述漏极25的至少一侧具有边缘轮廓线，该边缘轮廓线包括第一曲线，所述第一曲线中任意两点所在的圆弧对应的圆心位于所述第一曲线的同一侧。
64.在上述实施例的基础上，本发明实施例提供的半导体器件20中，源极23包括位于靠近栅极24一侧的第一源极拐角231和第二源极拐角232，第一源极拐角231和/或第二源极拐角232为倒角；漏极25包括靠近栅极24一侧的第一漏极拐角251和第二漏极拐角252，第一漏极拐角251和/或第二漏极拐角252为倒角。
65.示例性的，图3是本发明实施例提供的一种半导体器件的俯视结构示意图，如图3所示，在半导体器件20中，以第一源极拐角231、第二源极拐角232、第一漏极拐角251和第二漏极拐角252均为圆弧形倒角为例进行说明。设置第一源极拐角231、第二源极拐角232、第一漏极拐角251和第二漏极拐角252为圆弧形倒角，保证第一源极拐角231、第二源极拐角232、第一漏极拐角251和第二漏极拐角252在拐角位置处平滑过渡，圆弧形倒角相比直角不仅可以降低光在第一源极拐角231、第二源极拐角232、第一漏极拐角251和第二漏极拐角252处的衍射强度，减弱因光的衍射问题造成的对栅极栅宽的影响，降低栅极在源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，还可以避免应力集中，保证栅极结构稳定，性能稳定，进一步保证半导体器件性能稳定。
66.进一步的，当第一源极拐角231和/或第二源极拐角232为圆弧形倒角，第一漏极拐角251和/或第二漏极拐角252为圆弧形倒角时，圆弧形倒角的曲率半径可以为0.2-2μm。合理设置圆弧形倒角的曲率半径，一方面保证对现有源极23和漏极25的结构改动较小，对非拐角位置影响较小；另一方面还可以保证与现有源极23和漏极25的尺寸匹配，保证倒角制备工艺简单。
67.可选的，继续参考图3所示，延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243向源极23一侧弯曲。
68.示例性的，图3以第二端部243延伸至无源区bb，且第二端部243向源极23一侧弯曲，如此可以降低栅源之间的电场尖峰。
69.进一步的，图4是图3中cc区域的放大结构示意图，结合图3和图4所示，延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243靠近源极23一侧的边缘轮廓线包括第一曲线，第一曲线中任意两点所在的圆弧对应的圆心位于第一曲线的同一侧；第一曲线包括第一曲线起始点和第一曲线终止点；源极23包括位于靠近栅极24一侧的第一源极拐角231和第二源极拐角232，第一源极拐角231和/或第二源极拐角232为倒角；倒角包括倒角起始点和倒角终止点；第一曲线起始点与倒角起始点的连线与第二方向平行；第一曲线终止点位于倒角终止点远离漏极的一侧，或者，第一曲线终止点与倒角终止点的连线与第一方向平行。
70.示例性的，图3和图4仅以第二端部243延伸至无源区bb，且第二端部243向源极23一侧弯曲，且第二端部243靠近源极23一侧的边缘轮廓线包括第一曲线2431为例进行说明。首先，将第一源极拐角231和第二源极拐角232设计为倒角，倒角相比直角可以降低光在第一源极拐角231和第二源极拐角232处的衍射强度，减弱因光的衍射问题造成的对栅极栅宽的影响。进一步的，设置第二端部243包括第一曲线2431，且第一曲线2431中任意两点所在的圆弧对应的圆心位于第一曲线的同一侧，并且第一曲线2431的第一曲线起始点a与倒角
起始点c对应，第一曲线2431的第一曲线终止点b与倒角终止点d对应，如此，第二端部243的第一曲线边缘与源极拐角的倒角相对，第二端部243从源极倒角弯曲起始处对应位置开始向源极侧弯曲(即第二端部243从源极倒角弯曲起始弯曲)，如此可以有效缓解栅源间因源极拐角导致的电场尖峰。进一步的，第一曲线2431的第一曲线起始点a与倒角起始点c对应可以理解为第一曲线起始点a与倒角起始点c之间的连线与第二方向(如图中所示的y方向)平行；第一曲线2431的第一曲线终止点b与倒角终止点d对应可以理解为第一曲线终止点b位于倒角终止点d远离漏极25的一侧，或者，第一曲线终止点b与倒角终止点d的连线与第一方向(如图中所示的x方向)平行，如此保证第一曲线2431完全包络源极倒角，保证可以有效缓解栅源间因源极拐角导致的电场尖峰。
71.可选的，图5是本发明实施例提供的一种栅极的俯视结构示意图，结合图3、图4和图5所示，第一曲线2431包括第一点和第二点，第二点位于第一点靠近无源区的一侧；第二点对应的曲率半径大于第一点对应的曲率半径。
72.示例性的，图5以第一点位第一曲线起始点a，第二点为第一曲线终止点b为例进行说明。如图5所示，第二点对应的曲率r2半径大于第一点对应的曲率半径r1，如此，沿有源区aa指向无源区bb的方向，第一曲线2341与源极倒角之间的距离逐渐增加，进一步优化栅极24与源极23之间的电场。
73.可选的，继续参考图5所示，延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243靠近源极23一侧的边缘轮廓线包括第一曲线，第一曲线中任意两点所在的圆弧对应的圆心位于第一曲线的同一侧，且第一曲线中任意一点对应的曲率半径大于中间部在第二方向上的延伸宽度；且第一曲线中任意一点对应的曲率半径为r，中间部242在第二方向上的延伸宽度为d，1.5*d≤r≤20*d。
74.示例性的，图5以第二端部243延伸至无源区bb，且第二端部243靠近源极23一侧的边缘轮廓线包括第一曲线2431，第一曲线2431中的任意两点以第一曲线起始点a和第一曲线终止点b为例进行说明。如图5所示，第一曲线起始点a和第一曲线终止点b对应的圆心均位于第一曲线2431靠近源极23的一侧，且第一曲线2431中任意一点对应的曲率半径大于中间部242在第二方向上的延伸宽度d，降低显影液从栅极的端部向中间不的渗透难度，降低显示难度，保证可以对源漏两端拐角位置处对应的栅极24进行适度补偿，弥补或者完全消除因光的衍射造成的栅极宽度减小的问题。
75.进一步的，经过发明人大量验证，设置第一曲线2431中任意一点对应的曲率半径r(例如r1或者r2)与中间部242在第二方向上的延伸宽度为d满足1.5*d≤r≤20*d，合理设置向源极23一侧延伸的栅极24的端部的形状，如此可以适度增加显影液从栅极24的端部向栅极24的中间部242渗透的程度，适度降低显示难度，保证可以对源漏两端拐角位置处对应的栅极24进行适度修正，其中，r可以等于1.5*d、2*d、5*d、10*d、15*d或者20*d，本发明实施例对具体数值不再枚举，且对第一曲线2431中任意一点对应的曲率半径rl与中间部242的延伸宽度d的具体对应关系不进行限定，只需保证1.5*d≤r≤20*d，保证可以对源漏两端拐角位置处对应的栅极24进行适度修正即可。
76.图6是本发明实施例提供的另一种栅极的俯视结构示意图，如图6所示，延伸至无源区bb的第一端部241和/或第二端部243靠近所述源极23或者漏极25至少一侧的边缘轮廓线还包括与第一曲线平滑连接的第二曲线，第二曲线位于第一曲线靠近无源区bb的一侧；
effect transistor，简称dhfet)、结型场效应晶体管(junction field-effect transistor，简称jfet)，金属半导体场效应晶体管(metal-semiconductor field-effect transistor，简称mesfet)，金属绝缘层半导体异质结场效应晶体管(metal-semiconductor heterojunction field-effect transistor，简称mishfet)或者其他场效应晶体管。
85.基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种半导体器件的制备方法，图8是本发明实施例提供的一种半导体器件制备方法的流程示意图，如图8所示，本发明实施例提供的半导体器件的制备方法可以包括：
86.s110、提供衬底。
87.示例性的，衬底的材料可以为si、sic、氮化镓或者蓝宝石，还可以是其他适合生长氮化镓的材料。衬底的制备方法可以是常压化学气相沉积法、亚常压化学气相沉积法、金属有机化合物气相沉淀法、低压力化学气相沉积法、高密度等离子体化学气相沉积法、超高真空化学气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法、触媒化学气相沉积法、混合物理化学气相沉积法、快速热化学气相沉积法、气相外延法、脉冲激光沉积法、原子层外延法、分子束外延法、溅射法或蒸发法。
88.s120、在所述衬底一侧制备多层半导体层。
89.示例性的，多层半导体层位于衬底一侧，多层半导体层具体可以为iii-v族化合物的半导体材料，多层半导体层中形成有2deg。
90.s130、在所述多层半导体层远离所述衬底的一侧制备源极、栅极和漏极，所述栅极位于所述源极和所述漏极之间；沿第一方向，所述栅极依次包括第一端部、中间部和第二端部，所述第一端部和/或所述第二端部延伸至所述无源区；沿第二方向，延伸至所述无源区的所述第一端部和/或所述第二端部的延伸宽度大于所述中间部的延伸宽度。
91.示例性的，第一方向与源极、栅极和漏极的延伸方向平行，第二方向与源极指向所述漏极方向平行。沿第一方向，栅极依次包括第一端部、中间部和第二端部，中间部、源极和漏极均位于半导体器件的有源区，第一端部和第二端部中的至少一个端部延伸至无源区，且至少位于无源区的第一端部和/或第二端部在第二方向上的延伸宽度大于中间部在第二方向上的延伸宽度，如此，延伸宽度较大的栅极的第一端部和/或第二端部有利于显影液从至少一个端部向中间部渗透，可以修正因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，显著降低显影难度，保证源漏两端拐角位置处对应的栅极形状与中间部的形状相同或者相差较小，保证栅极结构稳定，性能稳定，进一步可以避免因栅极形变影响半导体器件的功率和频率，保证半导体器件性能稳定。
92.综上，本发明实施例提供的半导体器件的制备方法，通过制备栅极的第一端部和/或第二端部延伸至无源区，且沿源极指向漏极的方向，至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度大于中间部的延伸宽度。如此至少位于无源区的第一端部和/或第二端部的延伸宽度较大，延伸宽度较大的栅极的第一端部和/或第二端部有利于显影液从至少一个端部向中间部渗透，可以修正因光的衍射造成的源漏两端拐角位置处对应的栅极形状畸变，显著降低显影难度，保证源漏两端拐角位置处对应的栅极形状与中间部的形状相同或者相差较小，保证栅极结构稳定，性能稳定，进一步可以避免因栅极形变影响半导体器件的功率和频率，保证半导体器件性能稳定。
93.注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，
本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。