集成电路装置的制作方法

本实用新型大体上涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种集成电路装置。

背景技术：

在半导体制造工艺中，注塑工艺是一个重要的工艺步骤。通常，实施注塑工艺所用的机台包括：进料区、传送区、封胶区、装载区、模具区、卸载区、承载区、去料区以及下料区等。特别地，针对进料区和传送区，首先容纳有导线框架条的弹夹进入进料区；接着，通过进料区的推杆将弹夹中的导线框架条转移到传送区的传送机构上；最后，经由传送区的夹爪将传送机构上的导线框架条送至传送区的承载台上。

然而，现有的进料区存在着诸多问题。例如，在将导线框架条由进料区转移到传送区时，目前通常采用人工观察调整的方式调节导线框架条与传送机构的位置以确保导线框架条与传送机构不发生错位，从而使导线框架条被顺利地转移到传送区的传送机构上。然而，这种人工观察调整受诸多因素的影响。例如，在实际操作时，如果导线框架条与传送机构发生的错位不足够明显，人工观察的方式将很难察觉这个问题。而一旦导线框架条与传送机构发生错位，那么进料区的导线框架条就无法顺利转移到传送区，影响了后续的工艺制程，严重时甚至会损坏导线框架条。此外，进料区中的弹夹也需要紧贴与升降机构连接的侧板，以确保进料区的推杆顺利地将导线框架条从弹夹推出。目前采用的方法是使用停止气缸来顶住弹夹，使其紧贴与升降机构连接的侧板。然而，停止气缸通常为单向检测，当气缸本身伸出不到位时，即使停止气缸没有顶住弹夹也不会报警；此时，由于弹夹未能紧贴与升降机构连接的侧板，推杆将无法顺利地将导线框架条从弹夹推出，从而严重影响后续工艺。

另外，现有的传送区也存在着诸多问题。首先，在传送区的夹爪将导线框架条由传送机构送至传送区的承载台上时，承载台所在平面可能与传送机构所在平面产生错位，导致发生卡料。此外，如果传送区的导线框架条存在翘曲，也会发生卡料。

因此，有必要对现有的进料区和传送区进行改进。

技术实现要素：

本实用新型的实施例的目的之一在于提供一种集成电路装置，其可有效地防范机台发生卡料，从而提升产品的良率。

根据本实用新型的一实施例，一种集成电路装置，其包括：载台、侧板以及升降机构。载台具有第一表面以及与第一表面相对的第二表面，第一表面经配置以承载容纳有导线框架条的弹夹。侧板与载台间隔开一距离并与载台垂直。升降机构连接到侧板的内表面且包括托手，托手经配置以承载来自载台的第一表面的弹夹。其中，载台的第二表面上设置有第一传感器，第一传感器经配置以检测承载于托手之上的弹夹的外侧表面上的开槽位置，且侧板的与内表面相对的外表面上设置有第二传感器，第二传感器经配置以检测弹夹的位置。

根据本实用新型的另一实施例，集成电路装置还包括设置在载台的所述第一表面上的推板。

根据本实用新型的又一实施例，集成电路装置还包括推料机构。推料机构经配置以将容纳于弹夹中的导线框架条推出弹夹。

根据本实用新型的又一实施例，推料机构包括推杆。经由所述推杆将容纳于弹夹中的导线框架条推出弹夹。

根据本实用新型的又一实施例，集成电路装置还包括停止机构。停止机构设置在载台的第二表面上且经配置以使弹夹紧贴侧板。

根据本实用新型的又一实施例，集成电路装置还包括第一挡板以及与第一挡板的相对设置的第二挡板。其中，第一挡板和第二挡板设置在载台的第一表面上，并与侧板和推板形成容纳弹夹的容置空间。

根据本实用新型的又一实施例，侧板的外表面上还设置有互相平行的第一凸条和第二凸条。第二传感器设置在第一凸条和第二凸条之间。

根据本实用新型的一实施例还提供一种集成电路装置，其包括：传送机构、承载机构以及横梁。传送机构经配置以传送导线框架条。承载机构经配置以接收并承载来自传送机构的导线框架条。横梁至少位于承载机构的上方且经配置以与承载机构协同操作。其中，该集成电路装置进一步包含：第三传感器、第四传感器以及第五传感器。第三传感器设置在传送机构的第一侧表面上。第四传感器设置在承载机构的第二侧表面上。第五传感器设置于横梁下方。

根据本实用新型的另一实施例，集成电路装置还包括夹持机构。夹持机构将导线框架条从传送机构移动到承载机构。

根据本实用新型的又一实施例，集成电路装置还包括阻挡机构。阻挡机构位于承载机构的远离传送机构的一端之上。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的集成电路装置通过检测注塑工艺中的进料区以及传送区，使得导线框架条能够顺利地从位于进料区中的弹夹转移到传送区，并经由传送区转移到后续区域进行注塑工艺。

附图说明

图1为根据本实用新型一实施例的进料区装置的侧向结构示意图。

图2为图1所示的进料区装置的俯视结构示意图。

图3为弹夹的示意图。

图4为根据本实用新型一实施例的传送区装置的侧向结构示意图。

图5为图4所示的传送区装置的俯视结构示意图。

具体实施方式

为更好的理解本实用新型的精神，以下结合本实用新型的部分优选实施例对其作进一步说明。

在本实用新型中，除非经特别指定或限定之外，当在结构中第一特征位于第二特征“之上”或“之下”，该结构可包含实施例，其中该第一特征与该第二特征直接接触，且该结构也可包含另一实施例，其中该第一特征不与该第二特征直接接触，而是通过在两者之间形成的额外特征相接触。此外，当第一特征位于第二特征“之上”、在第二特征的“上面”或是“在第二特征的顶部”，其可包括实施例，其中该第一特征直接地或倾斜地位于第二特征“之上”、在第二特征的“上面”或是“在第二特征的顶部”，或仅只代表该第一特征的高度高于第二特征的高度；而当第一特征位于第二特征“之下”、在第二特征的“下面”或是“在第二特征的底部”时，其可包括实施例，其中该第一特征直接地或倾斜地位于第二特征“之下”、在第二特征的“下面”或是“在第二特征的底部”，或仅只代表该第一特征的高度低于第二特征的高度。本实用新型所提到的方向用语，例如上方、下方、左侧、右侧、正面、反面、侧面、水平、横向、垂直等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。

以下详细地讨论本实用新型的各种实施方式。尽管讨论了具体的实施，但是应当理解，这些实施方式仅用于示出的目的。相关领域中的技术人员将认识到，在不偏离本实用新型的精神和保护范围的情况下，可以使用其他部件和配置。

图1为弹夹的示意图。图2为根据本实用新型一实施例的进料区装置的结构示意图。图3为图1所示的进料区装置的俯视图。

如图1所示，弹夹10包括内表面102与外表面104。弹夹10用于存放若干条导线框架条(未示出)。弹夹10的内表面102的一侧上具有第一凹槽106a，弹夹10的内表面102的另一侧上具有第二凹槽106b。第一凹槽106a与第二凹槽106b在同一水平面上。导线框架条(未示出)的一端放置于第一凹槽106a上，另一端放置于第二凹槽106b上。弹夹10的两侧的外表面104上都具有开槽108。开槽108的位置略高于第一凹槽106a和第二凹槽106b的位置，使得当导线框架条承载于弹夹10中时，外部光线可从弹夹10一侧的开槽108位置射入弹夹10内部，并从弹夹10另一侧的对应开槽108位置射出。

参见图1至图3，进料区装置20包括：载台202、侧板204以及升降机构206。

载台202具有第一表面208a以及与第一表面208a相对的第二表面208b。载台202的第一表面208a用于承载容纳有导线框架条(未示出)的弹夹10。载台202的第二表面208b上设置有第一传感器210，其用于检测弹夹10的外表面104上的开槽108的位置。在一些实施例中，第一传感器210可为反射型传感器，其可具有一可发出led光的发射端以及一可接收光的接收端。当不存在被检测物体时，进入反射型传感器的接收端的光量仅为环境光；而当存在被检测物体时，反射型传感器发出的led光达到该被检测物体后，由于光的反射作用，因此进入反射型传感器的接收端的光量是环境光以及该反射光的叠加，使得接收的光量显著地大于环境光。然而，第一传感器210也可为其他类型的传感器，只要其可以实现检测弹夹10的外表面104上的开槽108的位置即可，在此不做限定。

侧板204与载台202间隔开一距离，并大体上与载台202垂直。侧板204的外表面212上设置有第二传感器214(如图3所示)，其用于检测弹夹10的靠近。在一些实施例中，第二传感器214可为接触式传感器。当弹夹10接触到该接触式传感器时，该接触式传感器产生信号，表示弹夹10与该接触式传感器的接触。在一些实施例中，侧板204的外表面212上还设置有相互平行的第一凸条216a和第二凸条216b。第二传感器214设置于第一凸条216a和第二凸条216b之间，并与第一凸条216a和第二凸条216b平齐。

升降机构206连接到侧板204的内表面218。升降机构206包括托手220，托手220用于承载来自载台202的第一表面208a的弹夹10。

在本实用新型一实施例中，进料区装置20还包括推板222。推板222设置于载台202的第一表面208a上。弹夹10设置于侧板204和推板222之间。推板222的作用在于：将载台202的第一表面208a上的弹夹10推向侧板204，使得弹夹10抵靠侧板204并承载在升降机构206的托手220上。

在本实用新型另一实施例中，进料区装置20还包括推料机构224。推料机构224可将承载于升降机构206的托手220上的弹夹10中的导线框架条推送到传送区装置中。在一些实施例中，推料机构224可包括推杆226，其经由推杆226将弹夹10中的导线框架条推送到传送区装置中。

在本实用新型另一实施例中，进料区装置20还包括停止机构228。停止机构228可用于在将弹夹10中的导线框架条推送到传送区装置的过程中，顶住弹夹10，使其抵靠侧板204而不发生偏移。在一些实施例中，停止机构228可为停止气缸。应可理解，停止机构228也可为其他机构，只要能实现顶住弹夹10使其抵靠侧板204而不发生偏移的功能即可。

在本实用新型又一实施例中，进料区装置20还包括第一挡板230以及与第一挡板230的位置相对的第二挡板232。第一挡板230和第二挡板232都设置在载台202的第一表面208a上。第一挡板230、第二挡板232、侧板204以及推板222共同形成容纳弹夹10的一容置空间(例如矩形空间)。第一挡板230和第二挡板232的作用在于：在推板222将弹夹10推向侧板204的过程中，防止弹夹10的位置发生偏移。

当使用根据本实用新型一实施例的进料区装置20进行操作时：首先，升降机构206向上移动到其托手220与载台202上表面平齐的位置；接着，推板222将弹夹10推送到侧板204，使得弹夹10抵靠侧板204并被承载于升降机构206的托手220上；随后，升降机构206带动弹夹10下降到推料位置，使弹夹10中所要传送的第一条导线框架条与传送区装置的传送机构平齐；接着，停止机构228从载台202的下方向着侧板204方向运动并顶住弹夹10；随后，设置于侧板204的外表面212上的第二传感器214检测弹夹10是否已经接触到侧板204，如果第二传感器214检测到弹夹10没有接触到侧板204，则表示停止机构228伸出不到位，弹夹10没有接触到侧板204，于是机台发出异常警报并停止工作；如果第二传感器214检测到弹夹10接触到侧板204表明检测正常的情况下，第一传感器210检测弹夹10的外表面104上的开槽108的位置；当第一传感器210的接收端接收到的光量大于环境光时，表明第一传感器210检测的并非弹夹10的外表面104上的开槽108的位置，即，弹夹10的位置发生异常，此时机台发出警报并停止工作；当第一传感器210的接收端接收到的光量仅包含环境光时，表明第一传感器210检测的是弹夹10的外表面104上的开槽108的位置，即，弹夹10的位置正常，则推料机构224开始工作，将承载于升降机构206的托手220上的弹夹10中的第一条导线框架条推送到传送区装置中；随后，推料机构224返回初始位置，且停止机构228松开弹夹10，升降机构206将弹夹10下降到下一个推料位置以对弹夹10中的下一条导线框架条继续执行操作。

以此方式，本实用新型一实施例的进料区装置20通过在将弹夹10中的导线框架条推送到传送区装置中之前检测弹夹10是否已经接触侧板204，确保当用于将弹夹10顶住侧板204的停止机构228伸出不到位时可以及时发现异常并停止机台操作和发出警报，从而避免了因弹夹10未能完全抵靠侧板204而造成的后续传送导线框架条卡料问题，即：无法将弹夹10中的导线框架条推送到传送区装置中。另外，本实用新型一实施例的进料区装置20还通过检测弹夹10的外表面104上的开槽108的位置，确保推料机构224能够准确地将弹夹10中的导线框架条推出并传送到传送区装置中，避免了因弹夹10中的导线框架条与推料机构224的位置不对准而导致的卡料问题。

图4为根据本实用新型一实施例的传送区装置的侧向结构示意图。图5为图4所示的传送区装置的俯视结构示意图。

如图4和图5所示，传送区装置30包括传送机构302、承载机构304、第三传感器306、第四传感器308、横梁310以及第五传感器312。传送区装置30用于接收来自如图1至图3所示的进料区装置20中的导线框架条301。

传送机构302具有上表面313以及第一侧表面314。上表面313用于承载来自进料区装置20的导线框架条301。

承载机构304具有上表面316、与第一侧表面314的位置共面的第二侧表面318以及与第二侧表面318相对的第三侧表面320。上表面316用于承载来自传送机构302的导线框架条301。承载机构304是可旋转的，且分别为第一部分322和第二部分324。第一部分322和第二部分324可分别承载导线框架条301。来自传送机构302的导线框架条301首先承载于第一部分322上，接着承载机构304旋转180度，使得第二部分324与传送机构302的位置对准，从而准备接收来自传送机构302的下一条导线框架条(未示出)。

第三传感器306设置于第一侧表面314上，第四传感器308设置于第二侧表面318以及第三侧表面320上。第三传感器306和第四传感器308用于检测传送机构302和承载机构304的位置，判断传送机构302的上表面313和承载机构304的第一部分322和/或第二部分324的上表面316是否处于同一平面，以使导线框架条301可以顺利地从传送机构302转移到承载机构304。在一些实施例中，第三传感器306和第四传感器308皆为对射传感器。例如：当光从第三传感器306向第四传感器308发出时，如果此时第四传感器308接收到的光等同于从第三传感器306发出的光，则表示传送机构302与承载机构304的位置没有发生偏移，两者处于同一平面，于是导线框架条301可以顺利地从传送机构302转移到承载机构304；然而，当第四传感器308接收到的光小于从第三传感器306发出的光时，则表示传送机构302与承载机构304的位置发生了偏移，两者不处于同一平面，此时如果继续将导线框架条301从传送机构302转移到承载机构304将会发生卡料，因此需要触发机台停止工作并报警。

横梁310设置于承载机构304的上方。第五传感器312设置于横梁310下方，以用于对承载于承载机构304上的导线框架条301的表面执行检测。当承载于承载机构304上的导线框架条301的表面发生翘曲时，第五传感器312可以检测到该翘曲，进而使得机台发出警报并停止工作。在一些实施例中，第五传感器312可为激光位移传感器。激光位移传感器中预先存储一设定值，该设定值可设置为当承载于承载机构304上的导线框架条301的表面不发生翘曲时，该表面到第五传感器312的距离；接着，持续测量该第五传感器312到承载于承载机构304上的导线框架条301的不同表面位置的距离；当该距离小于设定值时，则表示导线框架条301的该处表面发生了翘曲，需要触发机台停止工作并报警以防止卡料；而当该距离等于设定值时，则表示导线框架条301的该处表面没有发生翘曲。

在本实用新型一实施例中，导线框架条301可经由夹持机构或传送带从传送机构302移动到承载机构304。

在本实用新型另一实施例中，传送区装置30还包括阻挡机构315。阻挡机构315用于防范导线框架条301移动超出承载机构304的边界而导致的毁料风险。在图4和图5中，阻挡机构315可为阻挡块。应可理解，阻挡机构315也可为其他结构形式，只要其能实现防止导线框架条301移动超出承载机构304的边界即可。

当使用根据本实用新型一实施例的传送区装置30进行操作时：首先，夹持机构或传送带将导线框架条301由进料区装置20移动到传送区装置30的传送机构302上；接着，第三传感器306和第四传感器308检测传送机构302和承载机构304是否位于同一水平面；在确认两者在同一水平面的情况下，夹持机构或传送带将导线框架条301由传送机构302移动到承载机构304的第一部分322上；接着，位于横梁310上方的第五传感器312检测位于承载机构304的第一部分322上的导线框架条的表面是否存在翘曲；在不存在翘曲的情况下，承载机构304旋转180度，承载机构304的第二部分324准备从传送机构302接收下一条导线框架条；接着，第三传感器306和第四传感器308检测传送机构302和承载机构304是否位于同一水平面；在确认两者在同一水平面的情况下，夹持机构或传送带将该下一条导线框架条由传送机构302移动到承载机构304的第二部分324上；随后，位于横梁310上方的第五传感器312检测位于承载机构304的第二部分324上的该下一条导线框架条的表面是否存在翘曲；在不存在翘曲的情况下，承载机构304将承载于其上的导线框架条301和该下一条导线框架条送入后续的封胶区装置中。

以此方式，本实用新型一实施例的传送区装置30通过在将导线框架条301由传送机构302移动到承载机构304之前检测传送机构302和承载机构304是否位于同一平面，确保当传送机构302与承载机构304不在同一平面时可及时发现异常并停止机台操作和发出警报，从而避免了因传送机构302与承载机构304不在同一平面而导致的导线框架条301在传送过程中的卡料，即：无法将导线框架条301由传送机构302移动到承载机构304。另外，本实用新型一实施例的传送区装置30还通过检测位于承载机构304上的导线框架条301的表面，判断其表面是否存在翘曲，避免了发生翘曲的导线框架条301直接进入后续工艺步骤(例如封胶区步骤)中而发生卡料。

需要说明的是，在本说明书通篇中对“本实用新型一实施例”或类似术语的参考意指连同其它实施例一起描述的特定特征、结构或特性包含于至少一个实施例中且可未必呈现在所有实施例中。因此，短语“本实用新型一实施例”或类似术语在本说明书通篇中的各处的相应出现未必指同一实施例。此外，可以任何适合方式来组合任何特定实施例的所述特定特征、结构或特性与一或多个其它实施例。

本实用新型的技术内容及技术特点已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰。因此，本实用新型的保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请权利要求书所涵盖。