一种离子注入机用抽真空装置的制作方法

1.本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机用抽真空装置。


背景技术：

2.离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，离子注入机在加速过程中需要在真空环境中加速。
3.离子注入机需要在高压小型加速器中将离子加速，在加速器中越接近真空，加速器的加速效果越明显，现有的离子注入机加速器在需要真空环境时，往往外接抽真空装置，外接的真空装置真空效果不明显而且当撤离外接的真空装置时会漏入空气在离子注入机加速器内。


技术实现要素：

4.（一）解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子注入机用抽真空装置，解决了现有的离子注入机加速器在需要真空环境时，往往外接抽真空装置，外接的真空装置真空效果不明显而且当撤离外接的真空装置时会漏入空气在离子注入机加速器内的问题。
6.（二）技术方案
7.为实现上述离子注入机真空效果明显和防止空气回流的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用抽真空装置，包括离子注入机本体，所述离子注入机本体的一侧中间与抽气杆的一侧固定连接，所述抽气杆的内壁与方型滑块的外壁滑动连接，所述方型滑块的一侧中间与第一连接杆的一侧中间位置固定连接，所述第一连接杆的另一侧与半圆形底座外壁的中间固定连接，所述半圆形底座的顶端外侧开设有半圆形滑槽，所述半圆形滑槽的内壁与第一转轴外壁的底部滑动连接，所述第一转轴外壁的顶部与第二连接杆的一侧固定连接，所述第二连接杆的另一侧与第二转轴外壁的顶部固定连接，所述第二转轴的底端中心轴处固定连接有传力柱。
8.优选的，所述离子注入机本体的一侧开设有第一出风口，所述第一出风口的内壁铰接有第一出风盖。
9.优选的，所述抽气杆内壁一端的两侧均固定连接有限位板，两个所述限位板相互靠近的一侧分别与第一连接杆的两侧滑动连接，所述抽气杆的顶端开设有第二出风口，所述第二出风口的内壁铰接有第二出风盖。
10.优选的，所述离子注入机本体一侧的底部固定连接有固定杆，所述固定杆顶端的一侧中间与第二转轴外壁的底部转动连接。
11.优选的，所述离子注入机本体一侧的底端固定连接有方形底座，方形底座顶端的中间固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过传力带与传力柱的外壁传动连接。
12.优选的，所述方形底座顶端的一角处固定连接有开关面板，所述开关面板的表面
设有伺服电机的开关，所述开关面板和伺服电机与外接电源电性连接。
13.优选的，所述半圆形底座顶端的中间开设有连接槽。
14.（三）有益效果
15.与现有技术相比，本实用新型提供了一种离子注入机用抽真空装置，具备以下有益效果：
16.1、该离子注入机用抽真空装置，通过半圆形滑槽的内壁与第一转轴d 外壁滑动连接，第一转轴外壁的顶部固定连接着第二连接杆，第二连接杆的另一侧固定连接有第二转轴，当第二转轴转动时，第二转轴通过第二连接杆带动第一转轴在半圆形底座的半圆形滑槽内转动，最终使第一连接杆跟随半圆形底座进行往复运动，第一连接杆往复运动的同时便在抽气杆内对离子注入机本体的加速器内进行抽取空气，解决了外接的真空装置真空效果不明显的问题。
17.2、该离子注入机用抽真空装置，通过离子注入机本体的一侧开设有第一出风口，第一出风口的内壁铰接有第一出风盖，当结束对离子注入机本体的抽取真空时，外接气压使第一出风盖紧紧压住第一出风口，解决了当撤离外接的真空装置时会漏入空气在离子注入机加速器内的问题。
附图说明
18.图1为本实用新型结构示意图；
19.图2为本实用新型第一出风盖的结构示意图；
20.图3为本实用新型抽气杆的结构示意图；
21.图4为本实用新型半圆形底座的结构示意图。
22.图中：1、离子注入机本体；2、抽气杆；3、方型滑块；4、第一连接杆；5、半圆形滑槽；6、半圆形底座；7、第一转轴；8、第二连接杆；9、第二转轴；10、传力柱；11、传力带；12、伺服电机；13、开关面板；14、方形底座；15、第一出风盖；16、第二出风盖；17、限位板；18、连接槽；19、第一出风口；20、第二出风口；21、固定杆。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1
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4，本实用新型提供了一种离子注入机用抽真空装置的技术方案：
25.根据图1
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4所示，包括离子注入机本体1，离子注入机本体1的一侧中间与抽气杆2的一侧固定连接，抽气杆2的内壁与方型滑块3的外壁滑动连接，抽气杆2与方型滑块3之间不会有气体流出，方型滑块3的一侧中间与第一连接杆4的一侧中间位置固定连接，第一连接杆4的另一侧与半圆形底座6外壁的中间固定连接，半圆形底座6的顶端外侧开设有半圆形滑槽5，半圆形滑槽5的内壁与第一转轴7外壁的底部滑动连接，第一转轴7外壁的顶部与第二连接杆8的一侧固定连接，第二连接杆8的另一侧与第二转轴9外壁的顶部固定连接，第二转轴9的底端中心轴处固定连接有传力柱10，离子注入机本体1一侧的底部固定连接有固
定杆21，固定杆21顶端的一侧中间开设有转轴，转轴的内壁与第二转轴9外壁的底部转动连接，离子注入机本体1一侧的底端固定连接有方形底座14，方形底座14顶端的中间固定连接有伺服电机12，伺服电机12的输出端通过传力带11与传力柱10的外壁传动连接，方形底座14顶端的一角处固定连接有开关面板13，开关面板13的表面设有伺服电机12的开关，开关面板13和伺服电机12与外接电源电性连接。
26.根据图2
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4所示，离子注入机本体1的一侧开设有第一出风口19，第一出风口19的尺寸小于抽气杆2一侧的尺寸，第一出风口19的内壁铰接有第一出风盖15，第一出风盖15尺寸与第一出风口19的尺寸相同，当第一出风盖15滑动至第一出风口19的内壁时，第一出风口19不会有气体流出，抽气杆2内壁一端的两侧均固定连接有限位板17，两个限位板17相互靠近的一侧分别与第一连接杆4的两侧滑动连接，两个限位板17对第一连接杆4进行限位，使第一连接杆4只能进行往复运动，抽气杆2的顶端开设有第二出风口20，第二出风口20的内壁铰接有第二出风盖16，当第二出风盖16滑动至第二出风口20的内壁时，第二出风口20不会有气体流出，半圆形底座6顶端的中间开设有连接槽18，第二连接杆8的外壁通过连接槽18与固定杆21转动连接。
27.在使用时，本实用新型一种离子注入机用抽真空装置，使用时，将抽气杆2的一侧固定连接在离子注入机本体1开设的第一出风口19上，打开方形底座14上固定连接的开关面板13，开关面板13启动伺服电机12转动，伺服电机12通过传力带11传动传力柱10进行转动，传力柱10转动使带动固定连接的第二转轴9转动，第二转轴9通过固定连接的第二连接杆8带动第一转轴7在半圆形底座6开设的半圆形滑槽5内滑动，最终使半圆形底座6带着固定连接的第一连接杆4和方型滑块3在抽气杆2内滑动，当第一连接杆4向离子注入机本体1滑动时，抽气杆2内的空气被方型滑块3从抽气杆2顶端的第二出风口20排出，此时离子注入机本体1开设的第一出风口19被铰接的第一出风盖15盖住，使气体无法流入离子注入机本体1内，当第一连接杆4向离子注入机本体1滑出时，第一出风盖15打开，离子注入机本体1内的空气从第一出风口19内抽出，此时第二出风口20关闭，完成对离子注入机本体1的真空抽取。
28.综上所述，第一连接杆4做往复运动的同时将离子注入机本体1的气体从第一出风口19抽出，再将气体从第二出风口20排出，排出的同时第一出风口19紧紧关闭，放置空气的流入，往复循环即可将离子注入机本体1的气体全部排出，达成真空效果。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。