一种离子注入机用检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及离子注入机用检测装置技术领域，具体为一种离子注入机用检测装置。


背景技术：

2.离子注入机是高压小型加速器中的一种，离子注入机主要由离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔五部分组成，离子注入机的检测装置可以检测离子注入剂量的均匀性，便于随时检测调整离子的注入剂量。
3.而现有的离子注入机用的检测装置通常是检测端卡合连接在离子注入机的一端，因此长时间工作振动或者碰撞移动的情况下，容易导致检测端与离子注入机的端口分离，从而导致离子注入剂量测量不准或者难以测量，影响离子注入机的正常工作效率，引发材料丢失等安全隐患，因此需要一种离子注入机用检测装置。


技术实现要素：

4.（一）解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子注入机用检测装置，具有稳定连接等优点，解决了检测端连接脱离的问题。
6.（二）技术方案
7.为实现上述稳定连接的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，所述检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，所述检测端外壁的一侧固定设有定位扣，所述定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个所述定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，两个定位杆外壁的另一端均螺纹设有卡扣，两个所述定位环的两端均穿插设有第一螺丝，且两个定位环的两端分别与两个第一螺丝外壁的两端穿插连接，两个所述第一螺丝外壁的两端均螺纹设有第一螺帽。
8.优选的，所述检测端外壁一端的两侧均固定设有定位块。
9.优选的，所述检测装置本体顶部的一端固定设有定位架，所述定位架的顶端与检测端外壁的底端卡合连接。
10.优选的，所述检测装置本体顶部另一端的两侧均固定设有滑轨，两个所述滑轨均滑动设有定位条，其中一个所述定位条的一端固定设有第一夹环，所述第一夹环的一端与另一个定位条的一端固定连接，所述第一夹环顶部的两端均穿插设有卡条，两个所述卡条外壁的一端均穿插设有第二夹环，且两个卡条外壁的一端分别与第二夹环顶部的两端穿插连接。
11.优选的，两个所述定位条的一端均固定设有限位块，两个所述定位条的一侧和两个滑轨的一侧均等距离开设有多个通孔，两个所述定位条一端开设的通孔分别与两个滑轨一端开设的通孔通过固定条穿插连接。
12.优选的，其中一个滑轨一侧的顶端固定设有连杆，所述连杆的一端与另一个滑轨
一侧的一端固定连接。
13.（三）有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种离子注入机用检测装置，具备以下有益效果：
15.1、该离子注入机用检测装置，通过检测端外壁固定设有定位扣，定位扣一侧的两端通过定位杆固定两个定位环，两个定位环卡合在检测口外壁的两端，两个定位环的两端通过第一螺丝和第一螺帽固定对应连接，使得检测口稳定在检测端的一侧，使得检测装置本体的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。
16.2、该离子注入机用检测装置，通过把检测装置本体的检测端卡合在第一夹环的顶端，两个卡条的卡合把第二夹环夹持在检测端外壁的顶端，上下和左右滑动两个定位条，使得第一夹环和第二夹环带动检测端稳定在离子注入机的检测口处，检测端不易偏移更加便于和检测口的连接，且通过定位条的调节使得检测装置适用于更多种类的离子注入机，提高检测装置的适用性。
附图说明
17.图1为本实用新型结构示意图；
18.图2为本实用新型的固定结构示意图；
19.图3为本实用新型的定位结构示意图。
20.图中：1、检测装置本体；2、定位架；3、检测端；4、滑轨；5、定位扣；6、定位杆；7、定位环；8、卡扣；9、第一螺丝；10、第一螺帽；11、定位块；12、连杆；13、通孔；14、定位条；15、固定条；16、限位块；17、第一夹环；18、第二夹环；19、卡条。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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3，本实用新型提供了一种离子注入机用检测装置的技术方案：包括检测装置本体1，检测装置本体1一侧的一端固定设有检测端3，检测端3外壁的一侧固定设有定位扣5，检测装置本体1顶部的一端固定设有定位架2，定位架2的顶端与检测端3外壁的底端卡合连接，不需要检测时，定位架2便于固定检测端3。
23.根据图2所示，包括检测端3外壁一端的两侧均固定设有定位块11，定位扣5一侧的两端均固定设有定位杆6，两个定位杆6外壁的一端均滑动设有定位环7，两个定位杆6外壁的另一端均螺纹设有卡扣8，两个定位环7的两端均穿插设有第一螺丝9，且两个定位环7的两端分别与两个第一螺丝9外壁的两端穿插连接，两个第一螺丝9外壁的两端均螺纹设有第一螺帽10，定位环7内壁的直径与检测口的外壁直径相同，通过两个卡扣8的固定，使得两个定位环7固定在检测口的外壁不易偏移。
24.根据图3所示，包括检测装置本体1顶部另一端的两侧均固定设有滑轨4，两个滑轨
4均滑动设有定位条14，其中一个定位条14的一端固定设有第一夹环17，第一夹环17的一端与另一个定位条14的一端固定连接，第一夹环17顶部的两端均穿插设有卡条19，两个卡条19外壁的一端均穿插设有第二夹环18，且两个卡条19外壁的一端分别与第二夹环18顶部的两端穿插连接，两个定位条14的一端均固定设有限位块16，两个定位条14的一侧和两个滑轨4的一侧均等距离开设有多个通孔13，两个定位条14一端开设的通孔13分别与两个滑轨4一端开设的通孔13通过固定条15穿插连接，其中一个滑轨4一侧的顶端固定设有连杆12，连杆12的一端与另一个滑轨4一侧的一端固定连接，所有开设的通孔13大小相同，第一夹环17和第二夹环18中间的圆孔与检测端3的外壁相同。
25.在使用时，本实用新型一种离子注入机用检测装置，使用时，当需要检测离子注入机的离子注入剂量时，工作人员把检测装置本体1的检测端3卡合在第一夹环17的顶端，通过两个卡条19的卡合把第二夹环18夹持在检测端3外壁的顶端，上下和左右滑动两个定位条14，使得第一夹环17和第二夹环18带动检测端3稳定在离子注入机的检测口处，通过两个固定条15卡合住滑轨4一侧的通孔13，把离子注入机的检测口与检测端3的一端对应，通过定位块11把检测口和检测端3连接住，通过检测端3外壁固定设有定位扣5，定位扣5一侧的两端通过定位杆6固定两个定位环7，两个定位环7卡合在检测口外壁的两端，两个定位环7的两端通过第一螺丝9和第一螺帽10固定对应连接，使得检测口稳定在检测端3的一侧。
26.综上所述，该离子注入机用检测装置具有稳定连接的作用，通过检测端3外壁固定设有定位扣5，定位扣5一侧的两端通过定位杆6固定两个定位环7，两个定位环7卡合在检测口外壁的两端，两个定位环7的两端通过第一螺丝9和第一螺帽10固定对应连接，使得检测口稳定在检测端3的一侧，使得检测装置本体1的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。