一种化学刻蚀和显影专用的花篮的制作方法

1.本实用新型属于刻蚀花篮技术领域，具体涉及一种化学刻蚀和显影专用的花篮。


背景技术：

2.光刻是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀将光掩模上的图形转移到所在衬底上，刻蚀最常用分为：干法刻蚀和湿法刻蚀，湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程，是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。
3.湿法刻蚀通常将所需刻蚀器件先固定在刻蚀花篮中再放入刻蚀液中浸泡，而现有的刻蚀花篮固定和取出不方便，在刻蚀后常常会破坏元件，造成损失，并且排气散热不好，当刻蚀元件在刻蚀液中会放出热量和气体，容易造成腐蚀不均匀现象。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种化学刻蚀和显影专用的花篮，旨在解决现有技术中取出不方便，在刻蚀后常常会破坏元件，排气散热不好，腐蚀不均匀的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学刻蚀和显影专用的花篮，包括花篮主体，所述花篮主体的内侧壁开设有放置槽，所述花篮主体的一侧开设有刻蚀口，所述花篮主体的外表面开设有滑槽，所述滑槽的内部活动连接有放置板，所述放置板的一侧固定连接有拨板，所述花篮主体的一侧开设有活动孔，所述活动孔的内部活动连接有隔板，所述隔板的一侧固定连接有辅助块。
6.为了使得该一种化学刻蚀和显影专用的花篮达到放置方便的目的，作为本实用新型一种优选的，所述放置板和拨板的数量均为两个。
7.为了使得该一种化学刻蚀和显影专用的花篮达到耐高温抗氧化的作用，作为本实用新型一种优选的，所述花篮主体的材质为聚四氟乙烯。
8.为了使得该一种化学刻蚀和显影专用的花篮达到散热导流的效果，作为本实用新型一种优选的，所述花篮主体的正面和背面均开设有导流孔。
9.为了使得该一种化学刻蚀和显影专用的花篮达到便于取出的作用，作为本实用新型一种优选的，所述花篮主体上表面的两侧固定连接有固定块。
10.为了使得该一种化学刻蚀和显影专用的花篮达到固定发方便的目的，作为本实用新型一种优选的，所述固定块的一侧开设有固定孔。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、该化学刻蚀和显影专用的花篮，通过滑槽、放置板、拨板、活动孔和隔板的设置，在使用时，先拨动拨板将放置板移动在滑槽的顶端，再将刻蚀元件放置在放置槽内，向下拨动拨板使刻蚀元件完全进入刻蚀花篮内，再将隔板推进活动孔内后放进刻蚀液中，刻蚀完成后，推开隔板向上拨动拨板使刻蚀元件从花篮主体伸出，避免了夹持元件造成的破坏，大大提高了工作效率。
13.、该化学刻蚀和显影专用的花篮，通过刻蚀口和导流孔的设置，将花篮主体放入刻蚀液后，刻蚀口能很好的增加散热速度，避免了刻蚀过程中散热和排气不畅造成的刻蚀不均匀，刻蚀完后成取出时，导流孔能增大刻蚀液的流出，避免可刻蚀液体表面张力对刻蚀元件的损伤。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
15.图1为本实用新型的正视结构示意图；
16.图2为本实用新型中的左视结构示意图；
17.图3为本实用新型中的图2中a处放大结构示意图。
18.图中：1、花篮主体；2、放置槽；3、刻蚀口；4、滑槽；5、放置板；6、拨板；7、活动孔；8、隔板；9、辅助块；10、导流孔；11、固定块；12、固定孔。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例
21.请参阅图1
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3，本实用新型提供以下技术方案：一种化学刻蚀和显影专用的花篮，包括花篮主体1，花篮主体1的内侧壁开设有放置槽2，花篮主体1的一侧开设有刻蚀口3，花篮主体1的外表面开设有滑槽4，滑槽4的内部活动连接有放置板5，放置板5的一侧固定连接有拨板6，花篮主体1的一侧开设有活动孔7，活动孔7的内部活动连接有隔板8，隔板8的一侧固定连接有辅助块9。
22.在本实用新型的具体实施例中，在使用时，先拨动拨板6将放置板5移动在滑槽4的顶端，再将刻蚀元件放置在放置槽2内，向下拨动拨板6使刻蚀元件完全进入刻蚀花篮主体1内，再将隔板8推进活动孔7内后放进刻蚀液中，刻蚀完成后，推开隔板8，向上拨动拨板6使刻蚀元件从花篮主体1伸出，避免了夹持元件造成的破坏，大大提高了工作效率。
23.具体的，放置板5和拨板6的数量均为两个。
24.本实施例中：在使用时，两个放置板5使刻蚀元件更稳定的移动在花篮主体1内，拨板6容易放置和取出。
25.具体的，花篮主体1的材质为聚四氟乙烯。
26.本实施例中：聚四氟乙烯具有优良的化学稳定性、耐腐蚀、有密封性、高润滑不粘性、电绝缘性和良好的抗老化能力、耐温优异，聚四氟乙烯本身对人没有毒性。
27.具体的，花篮主体1的正面和背面均开设有导流孔10。
28.本实施例中：当花篮主体1从刻蚀液中取出时，导流孔10能增大刻蚀液的流出，避免可刻蚀液体表面张力对刻蚀元件的损伤。
29.具体的，花篮主体1上表面的两侧固定连接有固定块11。
30.本实施例中：在使用时，固定块11容易对花篮主体1的固定，使刻蚀更稳定。
31.具体的，固定块11的一侧开设有固定孔12。
32.本实施例中：在使用时，固定孔12方便花篮主体1的移动和放置。
33.本实用新型的工作原理及使用流程：该一种化学刻蚀和显影专用的花篮在使用时，在使用时，先拨动拨板6将放置板5移动在滑槽4的顶端，再将刻蚀元件放置在放置槽2内，向下拨动拨板6使刻蚀元件完全进入刻蚀花篮主体1内，再将隔板8推进活动孔7内后放进刻蚀液中，刻蚀口3能很好的增加散热速度，避免了刻蚀过程中散热和排气不畅造成的刻蚀不均匀，刻蚀完成后，推开隔板8，向上拨动拨板6使刻蚀元件从花篮主体1伸出，避免了夹持元件造成的破坏，导流孔10能增大刻蚀液的流出，避免可刻蚀液体表面张力对刻蚀元件的损伤，大大提高了工作效率。
34.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。