一种石英舟的制作方法

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，具体涉及一种石英舟。

背景技术：

晶圆是指半导体集成电路制作所用的晶片，其形状为圆形，在晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的产品。

晶圆在生产过程中需要轮流用到多种装载夹具(如晶圆传递盒和石英舟等)。其中在高温合金炉生产时需要使用专用的石英舟，其与产线产品所使用的晶圆传递盒在结构和尺寸存在较大差异，因此，晶圆单片在晶圆传递盒和石英舟之间转移时需要人工使用吸笔夹取和转移，这样既造成了人工成本浪费，又容易因工作人员操作不当而导致晶圆被划伤或损坏，进而影响产品质量。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种提高晶圆转移效率，避免晶圆在转移过程中发生损坏的石英舟。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种石英舟，包括固定杆和支撑杆；

所述固定杆有两个，所述固定杆上开设有多个上固定槽，两个所述固定杆上相互远离的一侧均设有凸沿，其中一个所述固定杆的凸沿上开设有定位孔，另一个所述固定杆的凸沿上设有定位柱；

所述支撑杆有两个，所述支撑杆位于固定杆下方并与支撑杆相互平行，相邻的所述支撑杆之间的间距小于相邻的固定杆之间的间距，所述支撑杆上开设有多个与上固定槽一一对应的下固定槽。

具体的，还包括连接杆和支脚；

所述连接杆垂直于支撑杆和固定杆并位于支撑杆和固定杆之间，所述支撑杆的端部通过连接杆与固定杆的端部固定连接；

两个所述支撑杆的底部分别固定连接有支脚，位于两个所述支撑杆底部的支脚呈八字形。

具体的，位于两个所述支撑杆底部的支脚之间的夹角为40°。

具体的，相邻的所述固定杆的间距为104.2±0.5mm，相邻的所述支撑杆的间距为55±0.5mm，所述固定杆和支撑杆之间的纵向间距为24.5±0.5mm。

本实用新型的有益效果在于：成批的晶圆能够直接在晶圆传递盒和石英舟之间转移，无需人工使用吸笔对晶圆单片逐个进行转移，不仅提高了晶圆的转移效率，节约了人工成本，同时还能够避免人工转移过程中对晶圆造成损害，进而提高晶圆的良品率。

附图说明

图1为本实用新型具体实施方式石英舟的正视图；

图2为本实用新型具体实施方式石英舟的侧视图；

图3为本实用新型具体实施方式石英舟的俯视图；

图4为本实用新型具体实施方式固定杆或支撑杆的结构示意图；

图5为本实用新型具体实施方式晶圆传递盒的结构示意图；

标号说明：

1、固定杆；11、凸沿；12、定位孔；13、定位柱；2、支撑杆；3、连接杆；4、支脚；5、晶圆。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

参照附图1至5，本实用新型的一种石英舟，包括固定杆1和支撑杆2；

所述固定杆1有两个，所述固定杆1上开设有多个上固定槽，两个所述固定杆1上相互远离的一侧均设有凸沿11，其中一个所述固定杆1的凸沿11上开设有定位孔12，另一个所述固定杆1的凸沿11上设有定位柱13；

所述支撑杆2有两个，所述支撑杆2位于固定杆1下方并与支撑杆2相互平行，相邻的所述支撑杆2之间的间距小于相邻的固定杆1之间的间距，所述支撑杆2上开设有多个与上固定槽一一对应的下固定槽。

本实用新型的工作原理为：在将晶圆5从晶圆传递盒上转移至石英舟上时，先将石英舟上的定位柱13对准晶圆传递盒上的对应孔洞，使石英舟和晶圆传递盒之间对齐，随后翻转晶圆传递盒，使其内部承载的晶圆5一一落入固定杆1的上固定槽和承载杆的下固定槽内，同时石英舟的定位孔12被晶圆传递盒上对应的定位接口卡接定位，从而使晶圆传递盒和石英舟的凸沿11之间形成无缝对接，避免晶圆5转移过程中散落至外部。

由上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：成批的晶圆能够直接在晶圆传递盒和石英舟之间转移，无需人工使用吸笔对晶圆单片逐个进行转移，不仅提高了晶圆的转移效率，节约了人工成本，同时还能够避免人工转移过程中对晶圆造成损害。

进一步的，还包括连接杆3和支脚4；

所述连接杆3垂直于支撑杆2和固定杆1并位于支撑杆2和固定杆1之间，所述支撑杆2的端部通过连接杆3与固定杆1的端部固定连接；

两个所述支撑杆2的底部分别固定连接有支脚4，位于两个所述支撑杆2底部的支脚4呈八字形。

由上述描述可知，当石英舟放置在高温合金炉的陶瓷杆上时，连接杆底端刚好能够架设在两侧的陶瓷杆上，而支撑杆底部的支脚能够由两个陶瓷杆之间向外侧抵住陶瓷杆，从而保证石英舟稳定且不会发生晃动，同时还能够确保石英舟上的晶圆能够位于高温合金炉管的正中心位置。

进一步的，位于两个所述支撑杆2底部的支脚4之间的夹角为40°。

进一步的，相邻的所述固定杆1的间距为104.2±0.5mm，相邻的所述支撑杆2的间距为55±0.5mm，所述固定杆1和支撑杆2之间的纵向间距为24.5±0.5mm。

实施例一

一种石英舟，包括固定杆1和支撑杆2；

所述固定杆1有两个，所述固定杆1上开设有多个上固定槽，两个所述固定杆1上相互远离的一侧均设有凸沿11，其中一个所述固定杆1的凸沿11上开设有定位孔12，另一个所述固定杆1的凸沿11上设有定位柱13；

所述支撑杆2有两个，所述支撑杆2位于固定杆1下方并与支撑杆2相互平行，相邻的所述支撑杆2之间的间距小于相邻的固定杆1之间的间距，所述支撑杆2上开设有多个与上固定槽一一对应的下固定槽。

还包括连接杆3和支脚4；

所述连接杆3垂直于支撑杆2和固定杆1并位于支撑杆2和固定杆1之间，所述支撑杆2的端部通过连接杆3与固定杆1的端部固定连接；

两个所述支撑杆2的底部分别固定连接有支脚4，位于两个所述支撑杆2底部的支脚4呈八字形，位于两个所述支撑杆2底部的支脚4之间的夹角为40°；

相邻的所述固定杆1的间距为104.2±0.5mm，相邻的所述支撑杆2的间距为55±0.5mm，所述固定杆1和支撑杆2之间的纵向间距为24.5±0.5mm。

综上所述，本实用新型提供的有益效果在于：成批的晶圆能够直接在晶圆传递盒和石英舟之间转移，无需人工使用吸笔对晶圆单片逐个进行转移，不仅提高了晶圆的转移效率，节约了人工成本，同时还能够避免人工转移过程中对晶圆造成损害。当石英舟放置在高温合金炉的陶瓷杆上时，连接杆底端刚好能够架设在两侧的陶瓷杆上，而支撑杆底部的支脚能够由两个陶瓷杆之间向外侧抵住陶瓷杆，从而保证石英舟稳定且不会发生晃动，同时还能够确保石英舟上的晶圆能够位于高温合金炉管的正中心位置。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。