一种基于单晶硅外延片生产输送推片机的制作方法

本实用新型涉及单晶硅外延片领域，尤其涉及一种基于单晶硅外延片生产输送推片机。

背景技术：

外延是半导体工艺当中的一种，在bipolar工艺中，硅片最底层是p型衬底硅(有的加点埋层)；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等，最后基本形成纵向npn管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。

单晶硅外延片在生产过程中，需要将安插在外延片承载盒中单晶硅外延片取出输送至下一工序，目前，大多安插在外延片承载盒中的单晶硅外延片取出需要依靠人工手动抽出，不仅耗费时间，同时在一定程度上降低了生产效率。

因此，有必要提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，解决了大多单晶硅外延片取出需要依靠人工手动抽出，不仅耗费时间，同时在一定程度上降低了生产效率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机包括传送带和推片箱，所述推片箱内壁的正面和背面之间滑动连接有底板，所述底板的顶部通过固定架固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的一端固定连接有固定轴，所述底板的顶部且位于所述第一电机的背面固定连接有固定板，所述固定轴的一端贯穿所述固定板并延伸至所述固定板的背面，所述固定轴延伸至所述固定板背面的一端固定连接有固定块，所述固定块的底部设置有连接杆，所述连接杆的一端贯穿所述固定块并延伸至所述固定块的顶部，所述连接杆延伸至所述固定块顶部的一端固定连接有t型块，所述连接杆的外表面设置有弹簧，所述t型块的背面转动连接有连接块，所述连接块的背面固定连接有l型板，所述底板顶部的两侧均固定连接有竖板，两个所述竖板相对的一侧之间固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面滑动连接有滑动套，所述滑动套的底部固定连接有竖杆，所述竖杆贯穿所述连接块并延伸至所述连接块的底部；

第一电机通过现有技术与外部控制开关连接，固定轴与固定板的贯穿处为转动连接，连接杆与固定块的贯穿处为滑动连接，弹簧处于固定块和t型块之间，l型板的顶部固定连接有凸板，竖杆与连接块的贯穿处为滑动连接,传送带顶部的正面和背面的边缘处设置有挡板。

优选的，所述推片箱内壁的底部固定连接有隔板，所述隔板的两侧均转动连接有转动板，两个所述转动板相离的一侧均转动连接有推杆，所述隔板的两侧均设置有第一滑槽，所述隔板的两侧均设置有第二滑槽,每个转动板上的两个推杆分别位于该转动板的两头，第一滑槽位于转动板的正面，第二滑槽位于转动板的背面。

优选的，两个所述第一滑槽的内部均滑动连接有第一滑块，两个所述第二滑槽的内部均滑动连接有第二滑块，两个所述第一滑块相离的一侧与两个所述第二滑块相离的一侧均转动连接有顶杆，所述推片箱内壁的底部固定连接有第二电机,第二电机为伺服电机，第二电机通过现有技术与外部控制开关连接，四个顶杆的一端均转动连接在底板的底部。

优选的，所述推片箱的左侧通过支撑架固定连接有液压缸，所述液压缸伸缩杆的一端固定连接有直齿板，所述推片箱的左侧通过两个支撑板转动连接有转动杆,所述转动杆的外表面固定连接有齿轮，所述转动杆的两端均固定连接有连接板,直齿板的齿牙面和齿轮啮合。

优选的，所述推片箱的正面和背面均滑动连接有滑动杆，两个所述滑动杆的左侧均固定连接有横杆，两个所述横杆的一端均固定连接有方型板，两个所述方型板的内部均滑动连接有连接轴,两个连接板相离的一侧分别和同侧的连接轴转动连接。

优选的，所述推片箱的正面和背面均滑动连接有直杆，两个所述直杆的一端均固定连接有橡胶块，两个所述直杆的底部均转动连接有转动轴,两个转动轴的一端分别和两个滑动杆的顶部转动连接。

优选的，所述推片箱的顶部设置有通槽，所述推片箱的顶部设置有外延片承载盒，所述外延片承载盒的内部设置有外延片。

与相关技术相比较，本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机具有如下有益效果：

(1)、本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，通过第一电机带动固定轴，固定轴带动固定块转动，固定块带动连接杆转动，连接杆通过t型块带动连接块，连接块在竖杆上滑动并带动竖杆沿着固定杆的方向移动，竖杆带动l型板将外延片推出外延片承载盒送至传送带上，以此提高生产效率，降低人工工作强度；

(2)、本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，通过液压缸带动直齿板，直齿板通过齿轮带动转动杆，转动杆带动连接板转动，连接板通过连接轴带动横杆移动，横杆推动转动轴，转动轴推动直杆，从而带动橡胶块将外延片承载盒夹紧，防止推片时外延片承载盒移位阻碍推片效率。

附图说明

图1为本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示推片箱右视的内部结构示意图；

图3为图1所示推片箱俯视的结构示意图；

图4为图1所示转动板和推杆的三维结构示意图。

图中标号：1、传送带；2、推片箱；3、底板；4、第一电机；5、固定轴；6、固定板；7、固定块；8、连接杆；9、t型块；10、弹簧；11、连接块；12、l型板；13、竖板；14、固定杆；15、滑动套；16、竖杆；17、隔板；18、转动板；19、推杆；20、第一滑槽；21、第二滑槽；22、第一滑块；23、第二滑块；24、顶杆；25、第二电机；26、液压缸；27、直齿板；28、转动杆；29、齿轮；30、连接板；31、滑动杆；32、横杆；33、方型板；34、连接轴；35、直杆；36、橡胶块；37、转动轴；38、通槽；39、外延片承载盒；40、外延片。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示推片箱右视的内部结构示意图；图3为图1所示推片箱俯视的结构示意图；图4为图1所示转动板和推杆的三维结构示意图。基于单晶硅外延片生产输送推片机包括传送带1和推片箱2，所述推片箱2内壁的正面和背面之间滑动连接有底板3，所述底板3的顶部通过固定架固定连接有第一电机4，所述第一电机4输出轴的一端固定连接有固定轴5，所述底板3的顶部且位于所述第一电机4的背面固定连接有固定板6，所述固定轴5的一端贯穿所述固定板6并延伸至所述固定板6的背面，所述固定轴5延伸至所述固定板6背面的一端固定连接有固定块7，所述固定块7的底部设置有连接杆8，所述连接杆8的一端贯穿所述固定块7并延伸至所述固定块7的顶部，所述连接杆8延伸至所述固定块7顶部的一端固定连接有t型块9，所述连接杆8的外表面设置有弹簧10，所述t型块9的背面转动连接有连接块11，所述连接块11的背面固定连接有l型板12，所述底板3顶部的两侧均固定连接有竖板13，两个所述竖板13相对的一侧之间固定连接有固定杆14，所述固定杆14的外表面滑动连接有滑动套15，所述滑动套15的底部固定连接有竖杆16，所述竖杆16贯穿所述连接块11并延伸至所述连接块11的底部；

第一电机4通过现有技术与外部控制开关连接，固定轴5与固定板6的贯穿处为转动连接，连接杆8与固定块7的贯穿处为滑动连接，弹簧10处于固定块7和t型块9之间，l型板12的顶部固定连接有凸板，竖杆16与连接块11的贯穿处为滑动连接,传送带1顶部的正面和背面的边缘处设置有挡板。

所述推片箱2内壁的底部固定连接有隔板17，所述隔板17的两侧均转动连接有转动板18，两个所述转动板18相离的一侧均转动连接有推杆19，所述隔板17的两侧均设置有第一滑槽20，所述隔板17的两侧均设置有第二滑槽21,每个转动板18上的两个推杆19分别位于该转动板18的两头，第一滑槽20位于转动板18的正面，第二滑槽21位于转动板18的背面。

两个所述第一滑槽20的内部均滑动连接有第一滑块22，两个所述第二滑槽21的内部均滑动连接有第二滑块23，两个所述第一滑块22相离的一侧与两个所述第二滑块23相离的一侧均转动连接有顶杆24，所述推片箱2内壁的底部固定连接有第二电机25,第二电机25为伺服电机，第二电机25通过现有技术与外部控制开关连接，四个顶杆24的一端均转动连接在底板3的底部。

所述推片箱2的左侧通过支撑架固定连接有液压缸26，所述液压缸26伸缩杆的一端固定连接有直齿板27，所述推片箱2的左侧通过两个支撑板转动连接有转动杆28,所述转动杆28的外表面固定连接有齿轮29，所述转动杆28的两端均固定连接有连接板30,直齿板27的齿牙面和齿轮29啮合。

所述推片箱2的正面和背面均滑动连接有滑动杆31，两个所述滑动杆31的左侧均固定连接有横杆32，两个所述横杆32的一端均固定连接有方型板33，两个所述方型板33的内部均滑动连接有连接轴34,两个连接板30相离的一侧分别和同侧的连接轴34转动连接。

所述推片箱2的正面和背面均滑动连接有直杆35，两个所述直杆35的一端均固定连接有橡胶块36，两个所述直杆35的底部均转动连接有转动轴37,两个转动轴37的一端分别和两个滑动杆31的顶部转动连接。

所述推片箱2的顶部设置有通槽38，所述推片箱2的顶部设置有外延片承载盒39，所述外延片承载盒39的内部设置有外延片40。

本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机的工作原理如下：

通过第一电机4带动固定轴5，固定轴5带动固定块7转动，固定块7带动连接杆8转动，连接杆8通过t型块9带动连接块11，连接块11在竖杆16上滑动并带动竖杆16沿着固定杆14的方向移动，竖杆16带动l型板12将外延片40推出外延片承载盒39送至传送带1上；

当最底层的外延片40被推出后，通过第二电机25带动两个转动板18转动，转动板18转动推动推杆19，推杆19将第一滑块22和第二滑块23逐渐远离，从而带动顶杆24将底板3顶起，使l型板12能够将上一层的外延片40推出；

通过液压缸26带动直齿板27，直齿板27通过齿轮29带动转动杆28，转动杆28带动连接板30转动，连接板30通过连接轴34带动横杆32移动，横杆32推动转动轴37，转动轴37推动直杆35，从而带动橡胶块36将外延片承载盒39夹紧，防止推片时外延片承载盒39移位阻碍推片。

与相关技术相比较，本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机具有如下有益效果：

通过第一电机4带动固定轴5，固定轴5带动固定块7转动，固定块7带动连接杆8转动，连接杆8通过t型块9带动连接块11，连接块11在竖杆16上滑动并带动竖杆16沿着固定杆14的方向移动，竖杆16带动l型板12将外延片40推出外延片承载盒39送至传送带1上，以此提高生产效率，降低人工工作强度；

通过液压缸26带动直齿板27，直齿板27通过齿轮29带动转动杆28，转动杆28带动连接板30转动，连接板30通过连接轴34带动横杆32移动，横杆32推动转动轴37，转动轴37推动直杆35，从而带动橡胶块36将外延片承载盒39夹紧，防止推片时外延片承载盒39移位阻碍推片效率。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。