晶圆团簇失效报警方法和报警系统与流程

本发明涉及晶圆测试领域，特别是涉及一种晶圆团簇失效报警方法。本发明还涉及一种晶圆团簇失效报警系统。

背景技术：

cp(chipprobing)是把坏的die(晶粒)挑出来，可以减少封装和测试的成本，能更直接的获得wafer的良率。cp对整片wafer的每个die来测试，cp合格才会去封装。然后ft，确保封装后也合格。

晶圆测试过程中按照测试顺序failstop后，将失效晶粒按照失效项目分bin，完成全片测试后可生成晶圆的cpmap，测试报警系统通常按照bin失效比例或失效数目来定义。报警晶圆信息会通知工程师判断和处理。

现有技术存在以下缺陷：按照bin信息报警无法分辨团簇失效，而团簇失效往往预示产线出现突发问题，需要及时报警和反馈，现有状态是工程师确认cpmap来判断，无法实现生产中及时主动报警，并且工作效率有待提高。

技术实现要素：

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念,该简化形式的概念均为本领域现有技术简化，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

本发明要解决的技术问题是提供一种能及时主动发现晶圆团簇失效并发出报警的晶圆团簇失效报警方法。

本发明要解决的另一技术问题是提供一种能及时主动发现晶圆团簇失效并发出报警的晶圆团簇失效报警系统。

为解决上述技术问题，本发明提供的晶圆团簇失效报警方法，包括以下步骤：

s1)执行计划cp测试；

s2)生成bin坐标图；

s3)检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警方法，实施步骤s3)时，采用下步骤判断是否发生晶圆团簇失效；

s3.1)定位失效die；

s3.2)检测与所述失效die相邻的8个die是否发生失效；

s3.3)若所述相邻的8个die中有失效die，则重复步骤s3.2)直至所述相邻的8个die中不再存在失效die；

s3.4)确定失效die数量，并与设定阈值比较，若失效die数量大于设定阈值则发出报警。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警方法，还包括以下步骤：

s4)若发生晶圆团簇失效，则根据需求在晶圆团簇失效区域周围的非失效die上形成失效标记，将具有失效标记(例如涂色或电子标记)的非失效die定义为失效die的目的在于降低系统性风险。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警方法，所述失效标记形成在定位失效die相邻的所有非失效die上。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警方法，在晶圆团簇失效区域周围形成一圈以上的失效标记。

相应的，在形成一圈以上失效标记时，由于定位失效die相邻的所有非失效die已被定义为失效die,则定义的失效die又会具有相邻的非失效die，即将具有失效标记die的所有相邻的非失效die进行失效标记，即形成了第二圈失效标记，以此类推，可以形成多圈失效标记，进一步降低系统性风险。

为解决上述技术问题，本发明提供一种晶圆团簇失效报警系统，包括：

数据获取模块，其用于获取cp测试数据，并生成bin坐标图；

检测模块，其检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警系统，检测模块，采用下步骤判断是否发生晶圆团簇失效；

s3.1)定位失效die；

s3.2)检测与所述失效die相邻的8个die是否发生失效；

s3.3)若所述相邻的8个die中有失效die，则重复步骤s3.2)直至所述相邻的8个die中不再存在失效die；

s3.4)确定失效die数量，并与设定阈值比较，若失效die数量大于设定阈值则发出报警。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警系统，检测模块还根据需求在晶圆团簇失效区域周围的非失效die上形成失效标记，将具有失效标记(例如涂色或电子标记)的非失效die定义为失效die的目的在于降低系统性风险。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警系统，所述失效标记形成在定位失效die相邻的所有非失效die上。

可选择的，进一步改进所述的晶圆团簇失效报警系统，检测模块在晶圆团簇失效区域周围形成一圈以上的失效标记。

相应的，在形成一圈以上失效标记时，由于定位失效die相邻的所有非失效die已被定义为失效die,则定义的失效die又会具有相邻的非失效die，即将具有失效标记die的所有相邻的非失效die进行失效标记，即形成了第二圈失效标记，以此类推，可以形成多圈失效标记，进一步降低系统性风险。

本发明的晶圆团簇失效报警方法/系统的工作原理如下：

按计划执行cp测试，生成bin坐标图，定位失效die(获得失效die坐标)。每个die天然存在8个相邻的die，对失效die相邻的8个die(通过设计规则获得8组坐标)，判断该相邻的8个die是否存在失效die。

重复上述步骤，遍历所有失效die，这样所有存在相邻位置关系的失效die就会被联系起来，进而发现晶圆团簇失效，主动报警同时通知操作人员及时处理；

再通过失效标记将各失效die相邻的所有非失效die失效标记失效标记定义为失效die，相当于将失效die的范围扩大，通过略微牺牲良率能够大幅降低系统性风险。

本发明能及时主动发现晶圆团簇失效并发出报警，根据需求将晶圆团簇失效各失效die相邻的所有非失效die失效标记定义为失效die失效标记能降低系统性风险，能提高生产效率，避免损失。

附图说明

本发明附图旨在示出根据本发明的特定示例性实施例中所使用的方法、结构和/或材料的一般特性，对说明书中的描述进行补充。然而，本发明附图是未按比例绘制的示意图，因而可能未能够准确反映任何所给出的实施例的精确结构或性能特点，本发明附图不应当被解释为限定或限制由根据本发明的示例性实施例所涵盖的数值或属性的范围。下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：

图1是本发明第一实施例流程示意图。

图2是本发明第三实施例流程示意图一。

图3是本发明第三实施例流程示意图二。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容充分地了解本发明的其他优点与技术效果。本发明还可以通过不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点加以应用，在没有背离发明总的设计思路下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。本发明下述示例性实施例可以多种不同的形式来实施，并且不应当被解释为只限于这里所阐述的具体实施例。应当理解的是，提供这些实施例是为了使得本发明的公开彻底且完整，并且将这些示例性具体实施例的技术方案充分传达给本领域技术人员。

第一实施例；

如图1所示，本发明提供一种晶圆团簇失效报警方法，包括以下步骤：

s1)按计划执行cp测试；

s2)生成bin坐标图；

s3)检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试。

第二实施例；

本发明提供一种晶圆团簇失效报警方法，包括以下步骤：

s1)按计划执行cp测试；

s2)生成bin坐标图；

s3)检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试；

其中，实施步骤s3)时，采用下步骤判断是否发生晶圆团簇失效；

s3.1)定位失效die；

s3.2)检测与所述失效die相邻的8个die是否发生失效；

s3.3)若所述相邻的8个die中有失效die，则重复步骤s3.2)直至所述相邻的8个die中不再存在失效die；

s3.4)确定失效die数量，并与设定阈值比较，若失效die数量大于设定阈值则发出报警。

第三实施例；

如图2结合图3所示，本发明提供一种晶圆团簇失效报警方法，包括以下步骤：

s1)按计划执行cp测试；

s2)生成bin坐标图；

s3)检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试；

其中，实施步骤s3)时，参考图3所示，采用下步骤判断是否发生晶圆团簇失效；

s3.1)定位失效die，假设失效die的在bin坐标图中的坐标为(x,y)；

s3.2)检测与所述失效die相邻的8个die是否发生失效；

则，与该失效die(x,y)相邻的8个die的坐标为：

(x-1,y-1)，(x,y-1)，(x+1,y-1)，(x-1,y)，(x+1,y)，(x-1,y+1)，

(x,y+1)和(x+1,y+1)；

s3.3)若所述相邻的8个die中有失效die，则重复步骤s3.2)直至所述相邻的8个die中不再存在失效die；

s3.4)进而确定该晶圆上失效die数量，并与设定阈值比较，若失效die数量大于设定阈值则发出报警；

s4)若发生晶圆团簇失效，则根据需求在晶圆团簇失效区域周围的非失效die上形成失效标记，将具有失效标记的非失效die定义为失效die，所述失效标记形成在定位失效die相邻的所有非失效die上。

可选择的，进一步改进上述第三实施例，在晶圆团簇失效区域周围形成一圈以上的失效标记。

示例性的，在形成二圈以上失效标记时，由于定位失效die相邻的所有非失效die已被定义为失效die,则定义的失效die又会具有相邻的非失效die，即将具有失效标记die的所有相邻的非失效die进行失效标记，即形成了第二圈失效标记，以此类推，可以形成多圈失效标记，进一步降低系统性风险。

第四实施例；

本发明提供一种晶圆团簇失效报警系统，其能通过计算机编程技术手段在检测机台或将数据导出到pc机上实现，包括：

数据获取模块，其用于获取cp测试数据，并生成bin坐标图；

检测模块，其检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试。

第五实施例；

本发明提供一种晶圆团簇失效报警系统，其能通过计算机编程技术手段在检测机台或将数据导出到pc机上实现，包括：

数据获取模块，其用于获取cp测试数据，并生成bin坐标图；

检测模块，其检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，否则执行后续计划测试，其采用下步骤判断是否发生晶圆团簇失效；

s3.1)定位失效die；

s3.2)检测与所述失效die相邻的8个die是否发生失效；

s3.3)若所述相邻的8个die中有失效die，则重复步骤s3.2)直至所述相邻的8个die中不再存在失效die；

s3.4)确定失效die数量，并与设定阈值比较，若失效die数量大于设定阈值则发出报警。

第六实施例；

本发明提供一种晶圆团簇失效报警系统，其能通过计算机编程技术手段在检测机台或将数据导出到pc机上实现，包括：

数据获取模块，其用于获取cp测试数据，并生成bin坐标图；

检测模块，其检测失效die相邻die是否失效判断是否发生晶圆团簇失效，若发生晶圆团簇失效则发出报警，则根据需求在晶圆团簇失效区域周围的非失效die上形成失效标记，将具有失效标记的非失效die定义为失效die，所述失效标记形成在定位失效die相邻的所有非失效die上，其采用下步骤判断是否发生晶圆团簇失效；

s3.1)定位失效die；

s3.2)检测与所述失效die相邻的8个die是否发生失效；

s3.3)若所述相邻的8个die中有失效die，则重复步骤s3.2)直至所述相邻的8个die中不再存在失效die；

s3.4)确定失效die数量，并与设定阈值比较，若失效die数量大于设定阈值则发出报警。

可选择的，进一步改进上述第六实施例，在晶圆团簇失效区域周围形成一圈以上的失效标记。

示例性的，在形成二圈以上失效标记时，由于定位失效die相邻的所有非失效die已被定义为失效die,则定义的失效die又会具有相邻的非失效die，即将具有失效标记die的所有相邻的非失效die进行失效标记，即形成了第二圈失效标记，以此类推，可以形成多圈失效标记，进一步降低系统性风险。

除非另有定义，否则这里所使用的全部术语(包括技术术语和科学术语)都具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的意思相同的意思。还将理解的是，除非这里明确定义，否则诸如在通用字典中定义的术语这类术语应当被解释为具有与它们在相关领域语境中的意思相一致的意思，而不以理想的或过于正式的含义加以解释。

以上通过具体实施方式和实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。