1.一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,包括以下步骤:
将硅片进行制绒、扩散、刻蚀、镀介质膜,以制得镀膜硅片;
将镀膜硅片在预设温度下进行红外激光照射钝化处理;
对钝化处理后的镀膜硅片进行丝网印刷、烧结,得到成品perc太阳能电池。
2.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述将镀膜硅片在预设温度下进行红外激光照射钝化处理步骤之后还包括:
将红外激光照射钝化处理后的镀膜硅片进行快速冷却。
3.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述预设温度为200~350℃。
4.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述红外激光的辐射强度为20~60kw/m2。
5.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述红外激光照射钝化处理的时间为5~20s。
6.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述红外激光的光源波长为900~1100nm。
7.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述介质膜包括siox膜、sinox膜、sinx膜中的任意一种或多种。
8.根据权利要求1所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述镀膜硅片通过激光钝化工艺平台进行红外激光照射钝化处理;所述激光钝化工艺平台包括用于放置硅片的放置台面、用于对所述放置台面进行加热的加热装置、以及红外激光照射灯。
9.根据权利要求8所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述激光钝化工艺平台还包括用于对红外激光照射钝化处理后的镀膜硅片进行冷却的风冷装置。
10.根据权利要求8所述的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法,其特征在于,所述激光钝化工艺平台还包括设于所述放置台面、用于对所述放置台面进行冷却的水冷装置。