硅片悬浮传输机构的制作方法

1.本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，特别是涉及一种硅片悬浮传输机构。


背景技术：

2.硅片是太阳能电池的基础元件，在生产制造太阳能电池时，通常需要将硅片从一个位置转移到另一个位置。其中，硅片通常放置在花篮中进行制绒工序，制绒完成后硅片需要转移到载板中进行镀膜工序，因此，硅片完成制绒工序后需要从花篮转移到载板中。通常，硅片从花篮中取出后放置到皮带上，通过皮带进行输送，之后再通过其他移载机构将硅片移载到载板上。然而，通过皮带输送的方式移载硅片时，由于硅片直接放置在皮带上，因此硅片的下表面容易粘上皮带印痕或者皮带上的污渍，从而影响硅片的质量。为此，有人提出采用气浮的方式承载硅片，然而气浮的方式容易将硅片吹跑或者吹偏，对气浮的控制要求较高。


技术实现要素：

3.有鉴于此，有必要提供一种硅片悬浮传输机构，通过气浮的方式承载硅片，并且能够降低对气浮的控制要求。
4.本发明提供一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台，所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔，以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台内，以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧；所述悬浮载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的止挡件，所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述悬浮载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。
5.在其中一个实施例中，所述悬浮平台上设有挡边部，所述挡边部围成用于容置硅片的容置槽，所述限位机构设于所述挡边部上，且所述止挡件能够转动至挡住硅片的边缘部分。
6.在其中一个实施例中，所述止挡件包括偏心轮部以及挡板部，所述偏心轮部连接有转轴，所述止挡件通过所述转轴可转动地安装于所述挡边部，所述挡板部连接于所述偏心轮部一侧且朝向所述容置槽设置，所述挡板部用于挡住硅片的边缘部分。
7.在其中一个实施例中，所述止挡件具有将硅片限制在所述容置槽内的限位状态和允许硅片移入或移出所述容置槽的开放状态；当所述止挡件处于限位状态时，所述挡板部远离所述偏心轮部的一端在所述悬浮载台上的投影位于所述容置槽内；当所述止挡件处于开放状态时，所述挡板部远离所述偏心轮部的一端在所述悬浮载台上的投影位于所述容置槽外。
8.在其中一个实施例中，所述挡边部上对应所述偏心轮部开设有置物槽，所述限位机构还包括顶杆、第一磁铁以及第二磁铁；所述顶杆可活动地设于所述置物槽内，所述顶杆能够朝靠近或远离所述偏心轮部的方向移动；所述第一磁铁设于所述顶杆朝向所述偏心轮部的一端，所述第二磁铁设于所述偏心轮部远离所述挡板部的一侧，所述第一磁铁与所述
第二磁铁之间相互吸引，当所述顶杆朝靠近所述顶杆的方向移动时，所述顶杆抵推所述偏心轮部以使所述止挡件沿第一方向转动；当所述顶杆朝远离所述偏心轮部的方向移动时，所述第一磁铁与所述第二磁铁之间的引力作用使得所述止挡件沿第二方向转动；当所述止挡件沿第一方向转动时，所述止挡件能够由开放状态转动至限位状态；当所述止挡件沿第二方向转动时，所述止挡件能够由限位状态转动至开放状态。
9.在其中一个实施例中，所述限位机构还包括第一弹性件，所述第一弹性件连接所述顶杆和所述挡边部，以使所述顶杆具有朝向所述偏心轮部移动的趋势。
10.在其中一个实施例中，所述置物槽内设有台阶，所述第一弹性件为压缩弹簧，所述顶杆靠近所述偏心轮部的一端设有凸环，所述第一弹性件套设于所述顶杆外侧，且所述第一弹性件的两端分别抵接于所述台阶和所述凸环。
11.在其中一个实施例中，所述限位机构还包括牵引件，所述牵引件连接于所述顶杆，以通过所述牵引件带动所述顶杆朝远离所述偏心轮部的方向移动。
12.在其中一个实施例中，所述限位机构还包括设于所述挡边部上的限位板，所述限位板位于所述偏心轮部远离所述容置槽且远离所述置物槽的一侧，当所述止挡件处于限位状态时，所述偏心轮部抵靠于所述限位板。
13.在其中一个实施例中，所述限位机构还包括第二弹性件，所述第二弹性件连接所述挡板部和所述挡边部，以使所述止挡件具有沿第一方向转动的趋势。
14.在其中一个实施例中，所述第二弹性件为拉伸弹簧。
15.在其中一个实施例中，所述悬浮载台内设有相互独立的第一腔和第二腔，所述气孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔与所述第一腔连通，所述第二孔与所述第二腔连通。
16.在其中一个实施例中，所述悬浮载台还设有第一进出孔，所述第一进出孔连通所述第一腔以通过所述第一进出孔向所述第一腔通入气体或往外抽吸所述第一腔内的气体；所述悬浮载台还设有第二进出孔，所述第二进出孔连通所述第二腔以通过所述第二进出孔向所述第二腔通入气体或往外抽吸所述第二腔内的气体。
17.本发明提供的硅片悬浮传输机构，通过设置气孔实现了硅片在悬浮载台一侧表面的悬浮，通过设置限位机构，且限位机构具有可活动的止挡件，可从硅片远离悬浮载台的一侧拦住硅片，从而使得硅片能够始终悬浮在悬浮载台设有气孔的一侧。如此，可降低对气浮控制的要求。
附图说明
18.图1为本发明一实施例的硅片悬浮传输机构的结构示意图；
19.图2为本发明一实施例的挡边部和限位机构的结构示意图；
20.图3为图2所示结构的分解图；
21.图4为本发明一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于限位状态；
22.图5为本发明一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于开放状态；
23.图6为本发明另一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于限位状态；
24.图7为本发明另一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于开放状态；
25.图8为本发明一实施例的悬浮载台的剖视图；
26.图9为本发明另一实施例的硅片悬浮传输机构的结构示意图。
27.附图标记：100、悬浮载台；101、气孔；1011、第一孔；1012、第二孔；102、容置槽；103、第一腔；104、第二腔；105、第一进出孔；106、第二进出孔；110、挡边部；111、置物槽；1111、台阶；121、第一部分；122、第二部分；200、限位机构；210、止挡件；211、偏心轮部；2111、轴孔；212、挡板部；213、转轴；220、顶杆；221、凸环；230、第一弹性件；240、牵引件；250、第一磁铁；260、第二磁铁；270、限位板；280、第二弹性件；900、硅片。
具体实施方式
28.下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
29.需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以直接设在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“固定于”另一个元件，它可以是直接固定在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。
30.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
31.请参阅图1，本发明提供一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台100，悬浮载台100的一侧表面设有多个气孔101，以通过气孔101往外吹出气体和/或将气体抽吸进悬浮载台100内，以使硅片900悬浮于悬浮载台100设有气孔101的一侧。
32.使用时，悬浮载台100设有气孔101的一侧表面可以朝上设置，也可以朝下设置，本发明对此不作限制。悬浮载台100设有气孔101的表面朝上设置时，通过控制气孔101往外吹气，并使得吹气的力等于硅片900的重力，即可实现将硅片900悬浮于悬浮载台100上方。或者，部分气孔101往外吹气，部分气孔101往内吸气，通过控制吹气和吸气的量同样可以实现将硅片900悬浮于悬浮载台100上方。悬浮载台100设有气孔101的表面朝下设置时，通过控制气孔101抽吸气体，并使得吸气的力等于硅片900的重力，即可实现将硅片900悬浮于悬浮载台100下方；或者，部分气孔101往外吹气，部分气孔101往内吸气，通过控制吹气和吸气的量同样可以实现将硅片900悬浮于悬浮载台100下方。由此可见，由于气孔101的设置，只需要控制吹气和/或吸气的量即可实现硅片900的悬浮。值得一提的是，以下实施例中提及硅片900悬浮于悬浮载台100上方时，均以悬浮载台100设有气孔101的表面朝上设置为例。
33.请参阅图1和图2，悬浮载台100上设有限位机构200，限位机构200具有可活动的止挡件210，止挡件210能够活动至从硅片900远离悬浮载台100的一侧挡住硅片900的边缘部分。如此，可避免硅片900被吹跑(对于悬浮载台100设有气孔101的表面朝上设置的情况而
言)或因重力掉落(对于悬浮载台100设有气孔101的表面朝下设置的情况而言)。也就是说，通过设置限位机构200能够挡住硅片900，使得硅片900能够始终悬浮在悬浮载台100设有气孔101的一侧。由于限位机构200的设置，即使气孔101吹出气体的力较大，也不会将硅片900吹跑或吹偏，可见，降低了对气浮控制的要求。由于止挡件210挡住的是硅片900的边缘部分，因此，止挡件210与硅片900之间接触较少，可以减少对硅片900的污染，保持硅片900表面的清洁。
34.进一步地，如图1所示，悬浮载台100上设有挡边部110，挡边部110围成用于容置硅片900的容置槽102，如此，当悬浮载台100移动时，能够带着硅片900一起移动，从而可实现硅片900的悬浮移载。限位机构200设于挡边部110上，且止挡件210能够转动至挡住硅片900的边缘部分。
35.请参阅图3和图4，止挡件210包括偏心轮部211以及挡板部212，偏心轮部211连接有转轴213，止挡件210通过转轴213可转动地安装于挡边部110。挡板部212连接于偏心轮部211一侧且朝向容置槽102延伸，挡板部212用于挡住硅片900的边缘部分。
36.一实施例中，偏心轮部211设有轴孔2111，转轴213穿设于轴孔2111中。当然，在其他实施例中，也可以是偏心轮部211的两侧凸设有转轴213。本发明对此不作限制。
37.请参阅图4和图5，止挡件210具有将硅片900限制在容置槽102内的限位状态和允许硅片900移入或移出容置槽102的开放状态。如图4所示，当止挡件210处于限位状态时，挡板部212远离偏心轮部211的一端在悬浮载台100上的投影位于容置槽102内，从而通过挡板部212可以拦住硅片900的边缘部分，防止硅片900移出容置槽102。如图5所示，当止挡件210处于开放状态时，挡边部110远离偏心轮部211的一端在悬浮载台100上的投影位于容置槽102外，从而挡边部110对硅片900不具有阻挡作用，硅片900能够移入容置槽102或移出容置槽102。
38.请参阅图3至图5，挡边部110上对应偏心轮部211开设有置物槽111，限位机构200还包括顶杆220、第一磁铁250、第二磁铁260。顶杆220可活动地设于置物槽111内，顶杆220能够朝靠近或远离偏心轮部211的方向移动。第一磁铁250设于顶杆220朝向偏心轮部211的一端，第二磁铁260设于偏心轮部211远离挡板部212的一侧，第一磁铁250与第二磁铁260之间相互吸引。当第一磁铁250朝靠近顶杆220的方向移动时，顶杆220抵推偏心轮部211以使止挡件210沿第一方向转动；当顶杆220朝远离偏心轮部211的方向移动时，第一磁铁250与第二磁铁260之间的引力作用使得止挡件210沿第二方向转动。当止挡件210沿第一方向转动时，止挡件210能够由开放状态转动至限位状态。当止挡件210沿第二方向转动时，止挡件210能够由限位状态转动至开放状态。如图4和图5所示实施例中，第一方向为逆时针方向，第二方向为顺时针方向。
39.限位机构还包括第一弹性件230，第一弹性件230连接顶杆220和挡边部110，以使顶杆220具有朝向偏心轮部211移动的趋势。
40.限位机构200还包括牵引件240，牵引件240连接于顶杆220，以通过牵引件240带动顶杆220朝远离偏心轮部211的方向移动。
41.可以理解的是，由于第一磁铁250与第二磁铁260之间的引力作用能够使得止挡件210沿第二方向转动，因此，止挡件210处于限位状态时，第一磁铁250和第二磁铁260之间具有一定距离，且随着止挡件210沿第二方向转动，第一磁铁250和第二磁铁260之间的距离逐
渐减小。如此，通过牵引件240拉动顶杆220并使得顶杆220沿远离偏心轮部211的方向移动时，在第一磁铁250和第二磁铁260的吸引力作用下，止挡件210沿第二方向转动，从而止挡件210可由限位状态转动至开放状态。此时，可将硅片900放入容置槽102内，或者将硅片900从容置槽102取出。之后，松开牵引件240，在第一弹性件230的弹力作用下，顶杆220朝向偏心轮部211移动从而抵推偏心轮部211并使得止挡件210沿第一方向转动，从而止挡件210转动至限位状态。由于止挡件210受到重力作用、顶杆220的推力作用，以及第一磁铁250和第二磁铁260之间的磁力作用，因此，通过设置合适的重力、推力以及磁力，可使止挡件210保持在限位状态，从而该限位机构200能够拦截硅片900，以使硅片900悬浮在悬浮载台100一侧。
42.一实施例中，请参阅图4，置物槽111内设有台阶1111，第一弹性件230为压缩弹簧，顶杆220靠近偏心轮部211的一端设有凸环221，第一弹性件230套设于顶杆220外侧，且第一弹性件230的两端分别抵接于台阶1111和凸环221。如此，结构非常简单，容易加工，且易于装配，第一弹性件230能够给顶杆220提供朝向偏心轮部211移动的力。
43.一实施例中，牵引件240为拉绳，结构简单，容易连接顶杆220，且易于操作。
44.请参阅图2至图5，一实施例中，限位机构200还包括设于挡边部110上的限位板270，该限位板270位于偏心轮部211远离容置槽102且远离置物槽111的一侧。当止挡件210处于限位状态时，偏心轮部211抵靠于限位板270以限制止挡件210沿第一方向转动，如此，通过设置限位板270可限制止挡件210继续沿第一方向转动，从而使得止挡件210保持在限位状态。第一弹性件230的弹力如果过大，容易使止挡件210沿第一方向转动时转动超过限位状态，从而压迫硅片900，使得硅片900朝容置槽102底部移动，如此，存在硅片900接触容置槽102底壁的可能。为了避免这一情况，本实施例设置有限位板270，如此，可以限制止挡件210的转动范围，使得止挡件210转动至限位状态时不再继续沿第一方向转动，从而可避免止挡件210压迫硅片900而使硅片900接触容置槽102底壁的情况。
45.请参阅图6和图7，一实施例中，限位机构200还包括第二弹性件280，该第二弹性件280连接挡板部212和挡边部110，以使止挡件210具有沿第一方向转动的趋势。设置第二弹性件280给止挡件210提供了由开放状态转动至限位状态的力。如此，即使第一弹性件230提供的弹性力稍有不足，第二弹性件280仍可以提供足够的弹性力，从而使得止挡件210由开放状态转动至限位状态。而由于限位板270的设置，止挡件210不会转动过位，从而，止挡件210能够很好地保持在限位状态，从而有利于对硅片900限位。该限位机构200能够从硅片900远离悬浮载台100的一侧拦住硅片900，使得硅片900能够稳定地悬浮在悬浮载台100设有气孔101的一侧，从而该硅片悬浮传输机构在应用时既可让悬浮载台100设有气孔101的一侧朝上，也可让悬浮载台100设有气孔101的一侧朝上，应用非常灵活，适用性高。
46.本实施例中，第二弹性件280为拉伸弹簧，结构简单，易于安装。
47.请参阅图8，为了更好地实现气孔101的吹气和/或抽气的控制，悬浮载台100内设有相互独立的第一腔103和第二腔104。气孔101包括第一孔1011和第二孔1012，第一孔1011与第一腔103连通，第二孔1012与第二腔104连通，如此，第一孔1011和第二孔1012可以分别独立控制，第一孔1011既可以往外吹气，也可以往内吸气，同样地，第二孔1012既可以往外吹气，也可以往内吸气。如此，控制非常方便。
48.进一步地，悬浮载台100还设有第一进出孔105，第一进出孔105连通第一腔103以
通过第一进出孔105向第一腔103通入气体或往外抽吸第一腔103内的气体。由于第一腔103连通第一孔1011，因此，通过第一进出孔105吹气或抽气时，即可实现第一孔1011往外吹气或往内抽气。
49.悬浮载台100还设有第二进出孔106，第二进出孔106连通第二腔104以通过第二进出孔106向第二腔104通入气体或往外抽吸第二腔104内的气体。由于第二腔104连通第二孔1012，因此，通过第二进出孔106吹气或抽气时，即可实现第二孔1012往外吹气或往内抽气。
50.悬浮载台100可以根据需要设置成多种形状。第一孔1011和第二孔1012的布置方式可以根据悬浮载台100的形状进行合理设置。一实施例中，悬浮载台100呈矩形，第一孔1011和第二孔1012呈矩阵状分布于悬浮载台100上。请参阅图9，一实施例中，悬浮载台100包括相连的第一部分121和第二部分122，第一部分121呈长方形，第二部分122设于第一部分121的长度方向的两侧，且第二部分122沿第一部分121的宽度方向远离第一部分121延伸。如此，悬浮载台100形状规则，有利于承载硅片900。进一步地，第二部分122对称设置于第一部分121的两侧。本实施例中，第一部分121的两侧均设有两个第二部分122。第一孔1011和第二孔1012可以分别设置于第一部分121和第二部分122。具体地，多个第一孔1011设置于第一部分121，多个第二孔1012设置于第二部分122，相应地，第一部分121设有第一腔103，第二部分122设有第二腔104，每个第二部分122上的第二腔104独立设置。如此，悬浮载台100结构简单，容易加工。如此，通过第一孔1011往外吹气，并通过第二孔1012往内吸气时，或者通过第二孔1012往外吹气，并通过第一孔1011往内吸气时，均能够很好地控制硅片900保持平衡。
51.以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
52.本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围内。