裸芯顶出器及包括其的裸芯粘合装置的制作方法

1.本发明涉及裸芯顶出器及包括其的裸芯粘合装置。更具体地说，本发明涉及用于在裸芯粘合程序中将裸芯从切割带中分离出来的裸芯顶出器以及包括该裸芯顶出器的裸芯粘合装置。


背景技术：

2.通常，藉由重复执行一系列制造程序，半导体设备可在用作半导体基板的硅晶圆上形成。如上所述形成的半导体设备可藉由切割程序被个体化并可藉由裸芯粘合程序粘合到基板。
3.裸芯粘合装置包括用于从由切割过程分成多个裸芯的晶圆上拾取裸芯的裸芯拾取模块，以及用于将裸芯粘合到诸如印刷电路板或引线框架的基板上的裸芯粘合模块。裸芯拾取模块可包括用于支承附接晶圆的切割带的台架单元，用于将裸芯自切割带分离的裸芯顶出器，以及用于从切割带上拾取裸芯的真空拾取器。
4.裸芯顶出器可包括具有用于真空吸附切割带的下表面的真空孔的罩，以及设置在该罩中、配置为可沿垂直方向移动穿过该罩的上部的顶出器单元。具体地，顶出器单元可提升裸芯，使切割带上的裸芯与切割带分离。例如，韩国专利no.10-2009922公开了一种裸芯顶出器，其包括多个布置成伸缩状的顶出器构件。
5.具体地，具有板状(例如圆盘状)的支承构件可分别设置在顶出器构件的下端部分，并且可以在支承构件之间设置弹性构件。当顶出器构件被顶出器驱动部升起时，顶出器构件可通过弹性构件从外到内依次升起。然而，当顶出器构件从外向内依次升起时，裸芯可能被过度升起，这可能导致对裸芯的损坏。


技术实现要素：

6.本发明的实施方式提供了能够在将裸芯与切割带分离的同时防止裸芯损坏的裸芯顶出器以及包括该裸芯顶出器的裸芯粘合装置。
7.根据本发明的方面，裸芯顶出器可以包括罩，其设置在切割带下方；顶出器单元，其配置为升高通过罩以将附接在切割带上的裸芯与切割带分离；顶出器驱动部，其配置为升高顶出器单元；以及止动构件，其设置在顶出器单元下方并配置为限制顶出器单元向下运动。具体地，顶出器单元可以包括多个顶出器构件，这些顶出器构件在升高方向上延伸并配置为具有伸缩结构，并且顶出器构件可以配置为同时被顶出器驱动部提升，然后由顶出器驱动部和止动构件从外到内依次降低。
8.根据本发明的一些实施例，顶出器单元进一步包含多个凸缘，其分别设置在顶出器构件的下端部分，并且沿顶出器构件的升高方向布置；至少一个弹性构件，其设置在凸缘中除了最上凸缘之外的剩余凸缘之间；升降头，其设置在凸缘中的最下凸缘的下方；以及连接构件，其连接最上凸缘和升降头。在这种情况下，顶出器驱动部可与升降头连接。
9.根据本发明的一些实施例，顶出器单元可以进一步包括至少一个第二止动构件，
该止动构件限制了凸缘中除最上凸缘和最下凸缘之外的至少一个剩余凸缘被至少一个弹性构件提升的高度。
10.根据本发明的一些实施例，裸芯顶出器可以进一步包括止动驱动部，在顶出器驱动部提升顶出器构件之后，止动驱动部升高止动构件以调节止动构件的高度。
11.根据本发明的另一个方面，裸芯顶出器可以包括罩，其设置为与切割带的下表面接触；多个顶出器构件，其配置为升高通过罩，以便将附接在切割带的上表面的裸芯与切割带分离，并且具有沿升高方向延伸的伸缩结构；多个凸缘，其分别设置在顶出器构件的下端部分并沿顶出器构件的升高方向布置；多个弹性构件，其设置在凸缘中除最上凸缘之外的剩余凸缘之间；升降头，其设置在凸缘中的最下凸缘的下方；多个连接销，其穿过凸缘中除最上凸缘之外的剩余凸缘，并连接最上凸缘和升降头；顶出器驱动部，其与升降头连接，并配置为升高顶出器构件；止动构件，其设置在最下凸缘的下方，并配置为限制最下凸缘的向下运动；以及止动驱动部，在顶出器驱动部提升顶出器构件之后，止动驱动部升高止动构件以调节止动构件的高度。
12.根据本发明的一些实施例，罩可以具有顶出器构件插入其中的开口，并且顶出器构件插入开口，使得顶出器构件的上表面与罩的上表面平齐。
13.根据本发明的一些实施例，顶出器构件可同时被顶出器驱动部提升。
14.根据本发明的一些实施例，弹性构件可以具有向下逐渐增加的弹力，使得顶出器构件中除最内侧顶出器构件之外的剩余顶出器构件从外到内依次降低。
15.根据本发明的一些实施例，顶出器驱动部可以包括连接到升降头并向下延伸的第一驱动轴；以及配置为升高第一驱动轴的第一驱动单元。
16.根据本发明的一些实施例，止动驱动部可以包括连接到止动构件并向下延伸的第二驱动轴；以及配置为升高第二驱动轴的第二驱动单元。
17.根据本发明的一些实施例，第二驱动轴可以具有围绕第一驱动轴的管状形状。
18.根据本发明的一些实施例，顶出器驱动部可进一步包括第一引导构件，其设置在第一驱动轴和第二驱动轴之间，并配置为沿升高方向引导第一驱动轴。
19.根据本发明的一些实施例，裸芯顶出器可进一步包括顶出器主体，其与罩的下部连接，并具有围绕第二驱动轴的管状形状。
20.根据本发明的一些实施例，止动驱动部可以进一步包括第二引导构件，其设置在第二驱动轴和顶出器主体之间，并配置为沿升高方向引导第二驱动轴。
21.根据本发明的一些实施例，第一驱动单元可以包括用于升高第一驱动轴的第一凸轮构件；用于旋转第一凸轮构件的第一马达；安装在第一驱动轴的下部上的第一支架；以及安装在第一支架上并设置在第一凸轮构件上的第一凸轮从动件。
22.根据本发明的一些实施例，顶出器驱动部可以进一步包括第三引导构件，其配置为沿升高方向引导第一支架。
23.根据本发明的一些实施例，第二驱动单元可以包括用于升高第二驱动轴的第二凸轮构件；用于旋转第二凸轮构件的第二马达；安装在第二驱动轴的下部上的第二支架；以及安装在第二支架上并设置在第二凸轮构件上的第二凸轮从动件。
24.根据本发明的一些实施例，第一支架可以包括联接到第一驱动轴的下部的连接块；从连接块向下延伸的一对延伸部分；以及安装部分，其将延伸部分的下端相互连接，且
第一凸轮从动件安装在其上。在这种情况下，第二凸轮构件和第二凸轮从动件可以设置在延伸部分之间。
25.根据本发明的一些实施例，罩可以包括罩主体，其具有圆管形状并与顶出器主体联接；盖子，其与罩主体的上部联接并具有用于真空吸附切割带的下表面的真空孔；以及第三止动构件，其从罩主体的内表面突出以防止凸缘与罩主体分离。
26.根据本发明的另一个方面，裸芯粘合装置可以包括裸芯顶出器，其用于将附接在切割带上的裸芯与切割带分离；以及裸芯粘合模块，其用于将由裸芯顶出器分离的裸芯粘合到基板上。在这种情况下，裸芯顶出器可以包括罩，其设置在切割带下方；顶出器单元，其配置为升高通过罩以将裸芯与切割带分离；顶出器驱动部，其配置为升高顶出器单元；以及止动构件，其设置在顶出器单元的下方，并配置为限制顶出器单元向下运动。具体地，顶出器单元可以包括多个顶出器构件，其沿升高方向延伸，并配置为具有伸缩结构，而且顶出器构件可以配置为同时被顶出器驱动部提升，然后由顶出器驱动部和止动构件从外到内依次降低。
27.上述对本发明的概述并不旨在描述每个说明的实施例或本发明的每种实施方式。后面的详细描述和权利要求更具体地例证了这些实施例。
附图说明
28.本发明的实施例可根据以下结合附图的描述更详细地理解，其中：
29.图1是根据本发明的实施例的裸芯粘合装置的示意性平面图；
30.图2是如图1所示的裸芯拾取模块的示意性主视图；
31.图3是如图2所示的裸芯顶出器的示意性剖视图；
32.图4是如图2所示的裸芯顶出器的顶出器驱动部和止动驱动部的示意性剖视图；
33.图5是如图4中所示的顶出器驱动部和止动驱动部的示意性侧视图；
34.图6是如图4所示的第一驱动单元的示意性主视图；
35.图7是如图4所示的第一驱动单元的示意性侧视图；
36.图8是如图4所示的第二驱动单元的示意性主视图；
37.图9是如图4所示的第二驱动单元的示意性侧视图；
38.图10是如图5所示的第三引导构件的示意性后视图；以及
39.图11至17是说明如图3和图4所示的裸芯顶出器的操作的示意性剖视图。
40.虽然各种实施例适合于各种修改和替代形式，但其具体细节已在附图中以示例方式显示，并将进行详细描述。然而，应理解本发明并不旨在将所要求保护的本发明限于记载的特定实施例。相反地，其旨在涵盖落入由权利要求限定的主题的实质和范围内的所有修改、等同物和替代物。
具体实施方式
41.在下文中，参考附图更详细地描述了本发明的实施例。然而，本发明不限于下面描述的实施例，并且本发明可以各种其他形式实施。提供以下实施例不是为了完全完成本发明，而是为了向本领域技术人员充分表达本发明的范围。
42.在说明书中，当提及一个组件在另一个组件或层之上或者连接至另一个组件或层
时，它可直接在另一个组件或层之上或者直接连接至另一个组件或层，或者也可存在介于中间的组件或层。与此不同，应理解，当提及一个组件直接在另一个组件或层之上或直接连接至另一个组件或层时，这意味着不存在介于中间的组件。而且，尽管在本发明的各种实施例中使用像是第一、第二和第三的术语来描述各种区域和层，但是区域和层并不限于这些术语。
43.以下使用的术语仅用于描述特定实施例，但并不限制本发明。另外，除非本文中另外定义，否则包括技术或科学术语的所有术语可具有与本领域技术人员通常理解相同的含义。
44.参照理想实施例的示意图描述了本发明的实施例。因此，可从附图的形式预期制造方法和/或允许误差的变化。因此，本发明的实施例并非描述成限于附图中的特定形式或区域，而是包括形式上的偏差。这些区域可以是完全示意性的，它们的形式可以不描述或描绘任何给定区域中的准确形式或结构，并且不旨在限制本发明的范围。
45.图1是根据本发明的实施例的裸芯粘合装置的示意性平面图，图2是如图1所示的裸芯拾取模块的示意性主视图。
46.参照图1和图2，根据本发明的实施例，可使用裸芯粘合装置10将通过切割过程个体化的裸芯22粘合到诸如印刷电路板或引线框架的基板30上。
47.裸芯粘合装置10可包括裸芯拾取模块300，其用于从分成裸芯22的晶圆20上拾取裸芯22，以及裸芯粘合模块400，其用于将由裸芯拾取模块300拾取的裸芯22粘合在基板30上。例如，裸芯拾取模块300可以将拾取的裸芯22转移到裸芯台架310上，而裸芯粘合模块400可以拾取裸芯台架310上的裸芯22并将裸芯22粘合到基板30上。
48.晶圆20可以包括切割带24，裸芯22附接到该切割带24上，以及具有基本圆环形状的安装框架26，切割带24安装到其上。例如，切割带24可以附接到安装框架26的下表面，并且裸芯22可以附接到切割带24的上表面。
49.裸芯拾取模块300可以包括用于支承晶圆20的晶圆台架320。用于支承切割带24的支承环322、用于保持安装框架26的夹具324以及用于在垂直方向上移动夹具324的夹具驱动单元326可以设置在晶圆台架320上。具体地，如图2所示，支承环322可以在裸芯22和安装框架26之间支承切割带24，而夹具驱动部326可以通过降低夹具324来扩张切割带24，安装框架26被夹具324夹持。
50.用于选择性地将裸芯22与切割带24分离的裸芯顶出器100可以设置在由支承环322支承的切割带24的下方。裸芯顶出器100可真空吸附切割带24的下表面，并且裸芯顶出器100可以包括顶出器单元110，其用于提升裸芯22中待拾起的裸芯22，从而使得裸芯22与切割带24分离。
51.裸芯拾取模块300可以包括设置在晶圆台架320上方的真空拾取器330，以拾取由裸芯顶出器100从切割带24分离的裸芯22，以及用于沿垂直方向和水平方向移动真空拾取器330的拾取器驱动部332。例如，虽然没有在附图中示出，但真空拾取器330可以包括具有用于真空吸附裸芯22的真空孔的夹头。裸芯台架310可以布置成与晶圆台架320水平间隔开，由真空拾取器330拾取的裸芯22可以由拾取器驱动部332转移到裸芯台架310上。此外，用于检测裸芯22中待拾取的裸芯22的摄像单元340可以设置在晶圆台架320的上方。
52.尽管在图中未示出，但裸芯粘合装置10可以包括用于水平移动晶圆台架320的台
架驱动部(未示出)。台架驱动部可以调节晶圆台架320的位置，以使裸芯22中待拾取的裸芯22位于裸芯顶出器100上。
53.进一步地，如图1所示，裸芯粘合装置10可以包括盒式装载口42，在该盒式装载口上放置包含多个晶圆20的盒体40；晶圆转移单元44，其用于将晶圆20从盒体40转移到晶圆台架320上；以及晶圆导轨46，其用于引导晶圆20的转移。具体地，台架驱动部可以移动晶圆台架320，使其与晶圆导轨46的端部相邻，然后晶圆转移单元44可以将晶圆20从盒体40转移到晶圆台架320上。尽管没有详细示出，但晶圆转移单元44可以包括用于夹持安装框架26的夹持器以及用于水平移动夹持器的夹持驱动部。
54.裸芯粘合模块400可以拾取转移到裸芯台架310上的裸芯22，并将裸芯22粘合到基板30上。例如，裸芯粘合模块400可以包括用于拾取和粘合裸芯22的粘合头410、用于沿垂直方向和水平方向移动粘合头410的头驱动部412以及用于支承基板30的基板台架420。虽然在附图中没有示出，但粘合头410可以包括具有用于真空吸附裸芯22的真空孔和将裸芯22压到基板30上的粘合工具(未示出)。基板台架420可以包括加热器(未示出)，其用于将基板30加热到预定的粘合温度。
55.基板30可以从第一料盘50供应，并且可以在执行裸芯粘合过程之后容纳在第二料盘60中。例如，裸芯粘合装置10可以包括用于处理第一料盘50的第一料盘处理单元52和用于处理第二料盘60的第二料盘处理单元62。此外，裸芯粘合装置10可以包括第一料盘50放置在其上的第一料盘装载端口54、第二料盘60放置在其上的第二料盘装载端口64、用于在第一料盘装载端口54和第一料盘处理单元52之间转移第一料盘50的第一料盘转移单元56，以及用于在第二料盘装载端口64和第二料盘处理单元62之间转移第二料盘60的第二料盘转移单元66。
56.此外，裸芯粘合装置10可以包括基板转移单元70。基板转移单元70可以将基板30从第一料盘50转移到基板台架420上，并在执行裸芯粘合程序后将基板30从基板台架420转移到第二料盘60。基板转移单元70可以包括用于引导基板30转移的基板导轨72、用于夹持基板30的夹持器74、用于移动夹持器74的夹持器驱动部76、用于将基板30移动到基板导轨72上的第一推杆78，以及用于将基板30移入第二料盘60的第二推杆80。
57.图3是如图2所示的裸芯顶出器的示意性剖视图，图4是如图2所示的裸芯顶出器的顶出器驱动部和止动驱动部的示意性剖视图，以及图5是如图4所示的顶出器驱动部和止动驱动部的示意性侧视图。
58.参照图3至图5，裸芯顶出器100可以设置在由晶圆台架320支承的切割带24的下方。根据本发明的实施例，裸芯顶出器100可以包括设置为与切割带24的下表面接触的罩110，以及配置为升高通过罩110以使附接在切割带24上的裸芯22与切割带24分离的顶出器单元120。
59.顶出器单元120可以包括多个顶出器构件122，这些顶出器构件122沿升高方向延伸并且被配置为具有伸缩结构。例如，顶出器构件122可以各自具有沿垂直方向延伸的矩形管形状，并且可以布置成伸缩式结构。顶出器单元120可以从外到内包括第一顶出器构件122a、第二顶出器构件122b、第三顶出器构件122c和第四顶出器构件122d。罩110可以具有顶出器构件122插入其中的开口112a，以及多个用于真空吸附切割带24的下表面的真空孔112b。
60.裸芯顶出器100可以包括设置在顶出器单元120下方并配置为沿垂直方向升高顶出器单元120的顶出器驱动部140，以及设置在顶出器单元120下方并配置为限制顶出器单元120向下运动的止动构件165。具体地，根据本发明的实施例，顶出器构件122可以同时被顶出器驱动部140提升，然后通过顶出器驱动部140和止动构件165从外到内依次降低。
61.顶出器单元120可以包括分别设置在顶出器构件122的下端部分并沿顶出器构件122的升高方向(即垂直方向)布置的多个凸缘124、设置在除凸缘124中最上凸缘124a之外的剩余凸缘124b、124c和124d之间的弹性构件126、设置在凸缘124中最下凸缘124d下方的升降头128、以及连接最上凸缘124a和升降头128的连接构件130。例如，螺旋弹簧可用作弹性构件126，而连接销可用作连接构件130。
62.凸缘124可以具有盘状。例如，顶出器单元120可以包括围绕第一顶出器构件122a的下部的第一凸缘124a，围绕第二顶出器构件122b的下部的第二凸缘124b，围绕第三顶出器构件122c的下部的第三凸缘124c，围绕第四顶出器构件122d的下部的第四凸缘124d。如图3所示，使用了四个顶出器构件122和四个凸缘124，但顶出器构件122和凸缘124的数量可以不同程度地改变，因此，本发明的范围将不受顶出器构件122和凸缘124的数量限制。
63.连接销130可用于连接最上凸缘124a和升降头128。连接销130的下部可穿过除最上凸缘124a之外的剩余凸缘124b、124c和124d，并且可以以螺栓紧固的方法联接到升降头128，并且连接销130的上部可以通过紧固构件132(例如螺栓)安装到最上凸缘124a。
64.顶出器单元120可以包括第二止动构件134，其用于限制剩余凸缘，即除了最上凸缘124a和最下凸缘124d(即凸缘124中的第一凸缘124a和第四凸缘124d)之外的第二凸缘124b和第三凸缘124c，被弹性构件126提升的高度。例如，可以用螺栓作为第二止动构件134，第二止动构件134可以穿过除最上凸缘124a和最下凸缘124d之外的剩余凸缘124b和124c，并可紧固至设置于剩余凸缘124b和124c下方的凸缘124c和124d。即，第二止动构件134可以穿过第二凸缘124b和第三凸缘124c，并可紧固至第三凸缘124c和第四凸缘124d，如图3所示。具体地，第二凸缘124b和第三凸缘124c可以有平底的沉头孔，第二止动构件134的头部插入其中，沉头孔可以形成为比第二止动构件134的头部高度更深，使得即使凸缘124彼此紧密接触时，第二止动构件134的头部也不会向上凸出。
65.顶出器驱动部140可以设置在顶出器单元120的下方，并且可以与升降头128的下部连接。例如，升降头128可以具有盘状，并且最下凸缘124d可以设置在升降头128上。顶出器驱动部140可以提升升降头128，并且最下凸缘124d可以因此被顶出器驱动部140提升。此外，最上凸缘124a可以通过连接销130与最下凸缘124d同时提升，而第二凸缘124b和第三凸缘124c可以通过弹性构件126与最上凸缘124a和最下凸缘124d同时提升。因此，与凸缘124相连的顶出器构件122可以同时被顶出器驱动部140提升。
66.最上凸缘124a的高度可由连接销130的长度决定。此外，除最上凸缘124a之外的剩余凸缘124b、124c和124d之间的距离可通过弹性构件126和第二止动构件134持续保持。此时，最上凸缘124a和第二凸缘124b之间的距离可以与剩余凸缘124b、124c和124d之间的距离相同。
67.顶出器驱动部140可以包括连接到升降头128并向下延伸的第一驱动轴144，以及配置为使第一驱动轴144升高的第一驱动单元150。例如，具有盘状的驱动头142可以联接到第一驱动轴144的上端部分，并且升降头128可以联接到驱动头142的上表面。
68.具体地，配置为围绕第一驱动轴144的上部的电磁铁146可以设置在驱动头142的下方，并且可以提供电磁力以将升降头128联接到驱动头142的上表面。作为另一个示例，永久磁铁(未示出)可用于将升降头128联接到驱动头142。在这种情况下，永久磁铁可以设置在驱动头142中。
69.根据本发明的实施例，裸芯顶出器100可以包括用于升高止动构件165的止动驱动部170，以在顶出器驱动部140提升顶出器构件122之后调节止动构件165的高度。
70.在顶出器构件122同时被顶出器驱动部140提升之后，止动驱动部170可以将止动构件165提升到预定的高度。其后，顶出器驱动部140可以降低顶出器单元120。在最下凸缘124d(即第四凸缘124d)置于止动构件165上之后，最上凸缘124a(即第一凸缘124a)可通过连接销130和顶出器驱动部140降低，然后第二凸缘124b和第三凸缘124c可以降低。在这种情况下，弹性构件126可以有向下逐渐增加的弹力。
71.例如，设置在第二凸缘124b和第三凸缘124c之间的第一弹性构件126a可以具有比设置在第三凸缘124c和第四凸缘124d之间的第二弹性构件126b更小的弹力。因此，在第一凸缘124a开始下降后，第二凸缘124b和第三凸缘124c可以依次下降。因此，除了最里面的顶出器构件122d之外，剩余顶出器构件122a、122b和122c可以从外到内依次下降。即，连接到第一凸缘124a的第一顶出器构件122a、连接到第二凸缘124b的第二顶出器构件122b和连接到第三凸缘124c的第三顶出器构件122c可以按顺序降低。
72.止动构件165可以具有围绕升降头128和驱动头142的圆管形状，并且止动驱动部170可以包括与止动构件165连接并且向下延伸的第二驱动轴174，以及用于升高第二驱动轴174的第二驱动单元180。例如，盘状的止动头172可以与第二驱动轴174的上端部分联接，并且止动构件165可以通过多个紧固构件176(例如多个螺栓)安装到止动头172的上表面。
73.根据本发明的实施例，第二驱动轴174可以具有围绕第一驱动轴144的圆管形状，并且用于沿升降方向(即垂直方向)引导第一驱动轴144的第一引导构件148可以设置在第一驱动轴144和第二驱动轴174之间。例如，在第一驱动轴144和第二驱动轴174之间可以设置第一线性球轴套。
74.罩110可以包括盘状的盖子112(在盖子112中形成有开口112a和真空孔112b)，以及具有圆管形状的罩主体114。在这种情况下，盖子112可以联接到罩主体114的上部。进一步地，裸芯顶出器100可以包括顶出器主体200，其与罩110的下部连接，即与罩主体114的下部连接，并具有围绕第二驱动轴174的管状形状。例如，顶出器主体200可以包括中间管202和下管204，并且第一驱动轴144和第二驱动轴174可以向下延伸穿过顶出器主体200。在这种情况下，用于在罩110和顶出器主体200之间进行联接的永久磁铁206可以安装在中间管202上。
75.根据本发明的实施例，配置为在升高方向上引导第二驱动轴174的第二引导构件178可以设置在第二驱动轴174和顶出器主体200之间，例如，在第二驱动轴174和下管204之间。例如，第二线性球轴套可以设置在第二驱动轴174和顶出器主体200之间。
76.第一驱动单元150可以包括用于升高第一驱动轴144的第一凸轮构件152、用于旋转第一凸轮构件152的第一马达154、安装在第一驱动轴144的下部的第一支架156、以及安装到第一支架156并设置在第一凸轮构件152上的第一凸轮从动件158。第二驱动单元180可以包括用于升高第二驱动轴174的第二凸轮构件182、用于旋转第二凸轮构件182的第二马
达184、安装在第二驱动轴174的下部的第二支架186、以及安装到第二支架186并设置在第二凸轮构件182上的第二凸轮从动件188。在这种情况下，第一凸轮从动件158和第二凸轮从动件188可以有滚子形状。
77.裸芯顶出器100可以包括底座支架230，顶出器主体200以及第一驱动单元150和第二驱动单元180安装在其上。例如，底座支架230可以包括顶出器主体200安装在其上的水平支架232，以及第一马达154和第二马达184安装在其上的垂直支架234。
78.图6是如图4所示的第一驱动单元的示意性主视图，图7是如图4所示的第一驱动单元的示意性侧视图。图8是如图4所示的第二驱动单元的示意性主视图，图9是如图4所示的第二驱动单元的示意性侧视图。图10是如图5所示的第三引导构件的示意性后视图。
79.参照图6至图10，第一支架156可以包括联接到第一驱动轴144的下部的连接块156a、从连接块156a向下延伸的一对延伸部分156b，以及将延伸部分156b的下端彼此连接并且第一凸轮从动件158安装到其上的安装部分156c。第二支架186可以包括具有圆管形状并与第二驱动轴174的下部联接的连接构件186a，从连接构件186a向下延伸的一对连接杆186b，以及与连接杆186b的下端部分联接并且第二凸轮从动件188安装到其上的滚子块186c。
80.第二凸轮构件182和第二凸轮从动件188可以设置在第一支架156的延伸部分156b之间。具体地，第二凸轮从动件188可以沿升高方向(即垂直方向)由第一支架156的延伸部分156b的内表面引导，从而防止第二驱动轴174旋转。即，第一支架156的延伸部分156b可以作为用于沿垂直方向引导第二驱动轴174的引导构件，从而能够防止止动构件165旋转。
81.根据本发明的实施例，裸芯顶出器100可以包括用于沿升高方向(即垂直方向)引导第一支架156的第三引导构件208。例如，如图5和图10所示，第三引导构件208可以包括安装在顶出器主体200的下部(即下管204的下部)的一对引导滚子210，以便与第一支架156的侧面部分紧密接触。具体地，引导滚子210可以与第一支架156的延伸部分156b的侧表面紧密接触，从而防止第一支架156旋转。因此，能够防止顶出器单元120和第一驱动轴144旋转。
82.再次参考图3至图5，第二弹性构件160可以设置在第一引导构件148和第一支架156之间，以便第一凸轮从动件158与第一凸轮构件152紧密接触，并且第三弹性构件190可以设置在第二引导构件178和第二支架186之间，以便第二凸轮从动件188与第二凸轮构件182紧密接触。例如，可以使用螺旋弹簧作为第二弹性构件160和第三弹性构件190。
83.罩110可以包括从罩主体114的内表面突出的第三止动构件116，以防止凸缘124从罩主体114分离。例如，可使用卡环作为第三止动构件116。卡环116可以安装在罩主体114的内表面上，并且顶出器单元120可以设置在卡环116的上方。当更换罩110和顶出器单元120时，第三止动构件116可用于同时将罩110和顶出器单元120与顶出器主体200和顶出器驱动部140分离。此时，可切断对电磁铁146的供电，因此，罩110和顶出器单元120可以很容易地与顶出器主体200和顶出器驱动部140分离。
84.可以在罩110和顶出器主体200内部提供用于真空吸收切割带24的下表面的真空压力。例如，下管204可以连接到真空源220，例如真空泵或真空顶出器，并且可以具有用于在罩110和中间管202内部提供真空压力的第二真空孔204a。此外，如图3所示，用于防止真空泄漏的密封构件可以设置在罩110和中间管202之间，中间管202和下管204之间，下管204和第二驱动轴174之间，以及止动头172和第一驱动轴144之间。
85.进一步地，可以在顶出器构件122中最内侧的顶出器构件122d(即第四顶出器构件122d)内部设置用于真空吸附切割带24的下表面的真空压力。例如，顶出器单元120可以包括具有圆管并从最下凸缘124d向下延伸的延伸部分124e，并且延伸部分124e的内部可以与最内侧顶出器构件122d的内部连接。升降头128可以有延伸部分124e插入其中的第一通孔128a。第一驱动轴144可具有圆管形状，并可通过第一支架156的连接块156a连接到用于提供真空压力的真空源222，例如，真空泵或真空顶出器，如图5所示。第一支架156的连接块156a可以有第三真空孔156d，其用于连接真空源222和第一驱动轴144。驱动头142可以有第二通孔142a，其用于连接升降头128的第一通孔128a和第一驱动轴144。真空压力可通过第一支架156的连接块156a、第一驱动轴144、驱动头142和升降头128提供给最内侧的顶出器构件122d。
86.具体地，如图3所示，顶出器构件122可以插入到开口112a中，以便顶出器构件122的上表面与罩110的上表面(即盖子112的上表面)平齐。因此，通过真空孔112b和最内侧顶出器构件122d提供的真空压力，可以将切割带24真空吸到罩110和顶出器构件122上。
87.根据本发明的实施例，用于使切割带22充胀的压缩空气可以供应到最内侧的顶出器构件122d中。例如，用于供应压缩空气的压缩空气源224，例如，储存压缩空气的空气罐，可以通过第一支架156的连接块156a连接到第一驱动轴144，如图5所示。此外，如图3所示，为了防止压缩空气泄漏，可以在升降头128和驱动头142之间，以及在第一通孔128a的内表面和延伸部分124e之间设置密封构件。
88.图11至17是说明如图3和图4中所示的裸芯顶出器的操作的示意性剖视图。
89.参照图11，顶出器构件122和凸缘144可以同时被顶出器驱动部140提升，并且顶出器构件122可以从罩110的上表面向上突出。虽然在图中没有示出，但裸芯22可由顶出器构件122提升，因此，裸芯22的边缘部分可以与切割带24分离。具体地，顶出器构件122提升的高度可以进行微调，以防止对裸芯22的损坏。例如，顶出器构件122提升的高度可以在大约几十微米和几百微米之间调节，并且可以根据裸芯22的尺寸适当调节，以防止对裸芯22的损坏。
90.参照图12，止动构件165可由止动驱动部170提升。例如，止动驱动部170可以提升止动构件165，使得止动构件165与最下凸缘124d的下表面接触。然而，止动构件165的高度可以不同地改变，因此本发明的范围将不受止动构件165的提升高度限制。另外，止动构件165可以与顶出器单元120同时提升。
91.参照图13，顶出器驱动部140可以在止动构件165升起后降低顶出器单元120。具体地，在最内侧顶出器构件122d和最下凸缘124d被止动构件165支承的状态下，升降头128可由顶出器驱动部140降低，因此，连接到升降头128的最上凸缘124a和最外侧顶出器构件122a可以被连接销130降低。然后，如图14和15所示，连接到第二凸缘124b的第二顶出器构件122b和连接到第三凸缘124c的第三顶出器构件122c可依次降低。因此，切割带24可以沿边缘部分向裸芯22的中心部分的方向与裸芯22分离。
92.参照图16，在除最内侧顶出器构件122d之外的剩余顶出器构件122a、122b和122c被降低之后，裸芯22可以由最内侧顶出器构件122d支承。切割带24可以通过罩110内提供的真空压力和最内侧顶出器构件122d与裸芯22分离。然后，如图17所示，压缩空气可从压缩空气源224供应到最内侧顶出器构件122d的内部，因此，切割带24可被压缩空气向上充胀。结
果，裸芯22可以与切割带24充分分离。然后，裸芯22可由真空拾取器330拾起并转移到裸芯台架310上。
93.根据本发明的实施例，顶出器构件122可以同时提升，然后从外到内依次降低。因此，与传统的裸芯顶出器相比，裸芯22被提升的高度可以减小，并且在拾起裸芯22时可以防止裸芯22被顶出器构件122损坏。具体地，在顶出器构件122和凸缘124被提升后，止动构件165可以限制顶出器构件122的下降高度。即，可以根据裸芯22的大小，不同程度地改变顶出器构件122的提升高度和下降高度，因此，可以更有效地执行各种类型的裸芯22的拾取步骤。
94.尽管已参考特定实施例描述了本发明的示例性实施例，但并不限于此。因此，本领域技术人员应容易地理解，在不脱离所附权利要求的精神和范围的情况下，可以对其进行各种修改和变化。