具有蓝膜组件的固晶机及固晶方法与流程

1.本技术涉及固晶机的技术领域，尤其涉及一种具有蓝膜组件的固晶机及固晶方法。


背景技术：

2.现代电子信息技术飞速发展，对电子产品的小型化、便携化、多功能、高可靠和低成本等都提出了越来越高的要求。目前，电子封装为满足各种电子产品的要求，已逐渐摆脱作为微电子制造后工序的从属地位而相对独立，针对各种电子产品的特殊要求，发展了多种多样的封装技术，涌现出了大量的新理论、新材料、新工艺、新设备和新的电子产品；电子封装测试技术正在与芯片设计和制造一起，共同推动着信息化社会的发展。
3.现有技术中的，电子封装测试技术的固晶机点胶和固晶分开设计，例如，点胶结构设置到某一位置，固晶结构设置在某一位置，载体结构设置在点胶结构和固晶结构之间。上述的结构不利于实现集成化，工作效率较低。


技术实现要素：

4.本技术提供了一种具有蓝膜组件的固晶机及固晶方法，以解决现有技术中的固晶机的集成化和工作效率较低的问题。
5.为实现上述目的，一方面本技术提供了一种具有蓝膜组件的固晶机，包括：安装架模块；点胶模块，点胶模块设置在安装架模块上；待料模块，待料模块设置在安装架模块上；固晶模块，固晶模块设置在安装架模块上，固晶模块包括固晶头结构、机械臂结构和蓝膜组件，机械臂安装在安装架模块上，固晶头结构安装在机械臂结构上，机械臂结构可驱动固晶头结构移动，蓝膜组件包括蓝膜结构和顶针结构，顶针结构与蓝膜结构可相对移动以使顶针结构可顶起蓝膜结构上的芯片；下料模块，下料模块设置在安装架模块上；输送模块，输送模块设置在安装架模块上，并可驱动载板在点胶模块、待料模块、固晶模块和下料模块移动。
6.进一步地，安装架模块包括底座组件、导轨组件和流道组件，导轨组件固定在底座组件上，流道组件可移动地设置在导轨组件上，载板可支撑在流道组件上。
7.进一步地，流道组件包括限位支撑架结构，限位支撑架结构包括第一限位支撑板和第二限位支撑板，第一限位支撑板和第二限位支撑板之间具有可调整的预定距离以形成流道，第一限位支撑板和第二限位支撑板均沿载板的移动方向延伸。
8.进一步地，第一限位支撑板包括第一限位板和第一支撑板，第一支撑板位于第一限位板的靠近第二限位支撑板的一侧，第一支撑板的上表面低于第一限位板的上表面以形成第一台阶面，第二限位支撑板包括第二限位板和第二支撑板，第二支撑板位于第二限位板的靠近第一限位支撑板的一侧，第二支撑板的上表面低于第二限位板的上表面以形成第二台阶面。
9.进一步地，流道组件还包括流道驱动结构，流道驱动结构与限位支撑架结构相连，
以驱动限位支撑架结构改变流道的预定距离。
10.进一步地，流道驱动结构包括第一电机、丝杆和两个连接部，第一电机的输出轴与丝杆相连，丝杆的两端分别与两个连接部通过螺纹相连，第一限位支撑板和第二限位支撑板分别固定连接在两个连接部上。
11.进一步地，固晶机还包括第一压板结构和第一顶板结构，第一压板结构与限位支撑架固定连接，第一顶板结构设置在安装架模块上，第一压板结构与第一顶板结构相对应地设置，第一压板结构与点胶模块相配合。
12.进一步地，第一顶板结构包括第二电机、第一凸轮、第一传动部和第一顶板，第二电机和第一凸轮相连，以驱动第一凸轮转动，第一凸轮与第一传动部的底部相配合，第一传动部的顶部与第一顶板固定连接，第一顶板与第一压板结构具有相互靠近的抵压位置或者第一顶板与第一压板结构具有相互远离的脱离位置。
13.进一步地，第一传动部包括第一配合块和第一连接板，第一配合块的底面具有与第一凸轮相配合的弧形面。
14.进一步地，第一顶板结构还包括第一弹性件，第一弹性件的一端与底座组件相连，第一弹性件的第二端与第一顶板结构相连以使第一传动部与第一凸轮相接触。
15.进一步地，第一压板结构包括第一压板和第二弹性件，第二弹性件设置在第一压板上，当第一顶板与第一压板结构处于抵压位置时，第一顶板和第二弹性件共同抵压载板。
16.进一步地，第二弹性件包括第一弹片，第一弹片固定在第一压板上。
17.进一步地，第一弹片包括第一连接板和第一压脚，第一压脚的第一端与第一连接板的侧边相连，第一压板具有镂空孔，第一连接板连接在第一压板的远离第一顶板结构的表面，第一压脚的第二端穿过镂空孔。
18.进一步地，第一连接板的平面与第一压脚的平面的角度大于90
°
小于180度，第一压脚的第二端具有向外的翻边，翻边与第一压脚通过弧形连接部相连。
19.进一步地，输送模块包括第三电机、传送带、从动轮和载板夹持结构，第三电机和从动轮分别设置在安装模块的两端，传送带与第三电机和从动轮相配合，载板夹持结构设置在传送带上。
20.进一步地，载板夹持结构包括夹持安装座、固定夹持部、移动夹持部和夹持驱动部，夹持安装座安装在传送带上，固定夹持部固定设置在夹持安装座上，夹持驱动部设置在夹持安装座上，夹持驱动部与移动夹持部相连，以驱动移动夹持部靠近固定夹持部处于夹持位置，或者驱动移动夹持部远离固定夹持部处于松开位置。
21.进一步地，固晶头结构包括固晶头和固晶头连接座，固晶头连接座固定在机械臂结构上，固晶头通过磁力安装在固晶头连接座上。
22.进一步地，固晶头包括固晶头主体和固晶头安装座，固晶头安装座具有安装孔，固晶头主体安装在安装孔内。
23.进一步地，固晶头安装座包括铁磁体、第一安装段、限位段和第二安装段，限位段位于第一安装段和第二安装段之间，铁磁体位于第一安装段的远离限位段的一侧，限位段的外径大于第一安装段的外径。
24.进一步地，固晶头连接座包括座体和连接管，连接管设置在座体的侧壁上，并可与固晶头主体相连通。
25.进一步地，安装孔由第二安装段的远离限位段的端部至第一安装段，第一安装段的侧壁具有连通孔，连通孔连通安装孔和连接管。
26.进一步地，固晶头连接座还包括磁铁，座体包括容纳空间，磁铁设置在容纳空间内。
27.进一步地，铁磁体和第一安装段位于容纳空间内，第一安装段与容纳空间的壁面之间具有相互配合的限位部。
28.进一步地，固晶模块还包括取固晶头结构和固晶头储放结构，取固晶头结构和固晶头储放结构均设置在安装架模块上。
29.根据本技术的另一方面，还提供了一种固晶方法，采用上述的固晶机，其步骤包括：
30.s10点胶；
31.s20点胶后检测；
32.s30点胶后检测合格的进行固晶。
33.进一步地，固晶包括以下步骤：
34.s31顶针结构针对蓝膜结构进行对位，并移动到所取的芯片位置；
35.s32固晶头结构对蓝膜结构进行对位，并移动到所取的芯片位置；
36.s33顶针结构吸附蓝膜结构的蓝膜；
37.s34顶针结构顶出芯片的同时，固晶头结构的固晶头吸住芯片；
38.s35固晶头结构对载体进行对位，固晶头将移动到对应位置并完成固晶。
39.本技术实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：
40.本技术的技术方案，载体在输送模块的输送下依次通过点胶模块进行点胶，然后进入待料模块进行检测，例如检测点胶是否合格，通过待料模块后在输送模块的驱动下进入固晶模块，固晶模块中机械臂结构驱动固晶头结构在蓝膜组件上拾取芯片，并固定到载板上，固晶模块完成固晶后通过下料模块，通过本方案的流水线的作业完成了点胶、检测、固晶，这样大大地提高了固晶机的工作效率。本技术的技术方案有效地解决了现有技术中的固晶机的集成化和工作效率较低的问题。
附图说明
41.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。
42.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
43.图1示出了本技术实施例的固晶机的立体结构示意图；
44.图2示出了图1的固晶机的流道结构的示意图；
45.图3示出了图1的固晶机的第一压板结构的示意图；
46.图4示出了图1的固晶机的流道驱动结构的示意图；
47.图5示出了图1的固晶机的固晶模块的局部放大示意图；
48.图6示出了图1的固晶机的固晶模块的配合示意图；
49.图7示出了图6的固晶模块的固晶头储放结构的示意图；
50.图8示出了图1的固晶机的固晶结构的示意图；
51.图9示出了图8的固晶结构的固晶头的示意图；
52.图10示出了图1的固晶机的蓝膜组件的结构示意图；
53.图11示出了图10的蓝膜组件的顶针结构的安装结构示意图；
54.图12示出了图10的蓝膜组件的顶针结构的结构示意图。
55.其中，上述附图包括以下附图标记：
56.10、安装架模块；11、底座组件；12、导轨组件；13、流道组件；131、限位支撑架结构；132、流道驱动结构；20、点胶模块；30、待料模块；40、固晶模块；41、固晶头结构；411、固晶头；412、固晶头连接座；42、机械臂结构；43、蓝膜组件；431、蓝膜结构；432、顶针结构；44、固晶头储放结构；50、下料模块；60、输送模块；70、第一压板结构；71、第一压板；72、第二弹性件；80、第一顶板结构。
具体实施方式
57.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
58.如图1至图12所示，本实施例的一种固晶机，包括：安装架模块10、点胶模块20、待料模块30、固晶模块40、下料模块50和输送模块60。点胶模块20设置在安装架模块10上。待料模块30设置在安装架模块10上。固晶模块40设置在安装架模块10上，固晶模块40包括固晶头结构41和机械臂结构42，机械臂安装在安装架模块10上，固晶头结构41安装在机械臂结构42上，机械臂结构42可驱动固晶头结构41移动，蓝膜组件43包括蓝膜结构431和顶针结构432，顶针结构432与蓝膜结构431可相对移动以使顶针结构432可顶起蓝膜结构431上的芯片。下料模块50设置在安装架模块10上。输送模块60设置在安装架模块10上，并可驱动载板在点胶模块20、待料模块30、固晶模块40和下料模块50移动。
59.本实施例的技术方案，载体在输送模块60的输送下依次通过点胶模块20进行点胶，然后进入待料模块30进行检测，例如检测点胶是否合格。通过待料模块30后在输送模块60的驱动下进入固晶模块40，固晶模块中机械臂结构驱动固晶头结构在蓝膜组件上拾取芯片，并固定到载板上，固晶模块完成固晶工作后通过下料模块50，通过本方案的流水线的作业完成了点胶、检测、固晶，这样大大地提高了固晶机的工作效率。本实施例的技术方案有效地解决了现有技术中的固晶机的集成化和工作效率较低的问题。载板包括载板本体和载板本体上的物体。
60.需要说明的是，蓝膜组件43固定在安装架模块10上，蓝膜结构431和顶针结构432共用一个蓝膜安装座，蓝膜安装座安装在安装架模块10上，顶针结构432通过行走结构安装在蓝膜安装座上，顶针结构432的行走可以扩大顶针结构432的工作范围，这样顶针结构432的工作效率更高，可利用的空间更大。蓝膜结构431为四个，四个蓝膜结构组成正方形，顶针结构432闲置的时候，设置在四个蓝膜结构431的中间。
61.如图10所示，一种蓝膜组件43包括蓝膜上料平台(蓝膜结构431)、顶针结构432。其
中蓝膜上料平台为固定结构，顶针结构432可根据对位情况进行x、y、z方向调节(图11的左、右、前、后、上、下)。
62.蓝膜上料平台中，可通过安装环、适配套、工具扣安装不同规格的晶圆，且可同时安装多个不同规格晶圆。蓝膜上料平台两端设置有抽屉式滑轨，人机操控时，可方便抽拉，更换并安装晶圆。抽屉式滑轨的两端各设置有定位气缸，保持蓝膜上料平台与大理石平面平行。蓝膜上料平台前段设置有方形拉手，方便抽拉。对位气缸上设置有速度调节阀与气缸感应器，可辅助抽屉式滑轨运动。
63.顶针结构包括伺服马达、直线模组，伺服马达与直线模组通过同步带与同步带轮连接，安装板与直线模组滑块连接且滑块带动整个顶针结构进行第一次的z方向运动。步进马达利用联轴器、安装板与顶罩连接，顶罩内侧安装有顶针，顶罩可保护顶针损伤或有异物破坏。顶罩顶部有多个吸附孔，当取晶时，顶罩吸住蓝膜，步进马达带动顶针头进一步做z向运动，起到高效、高精度顶出芯片。
64.顶针结构左右两侧设置有y向直线导轨、直线电机动子，背板与y向安装板连接，y向安装板与y向滑块连接，滑块带动顶针结构做y方向运动。直线电机动子内侧设置有光栅尺与光栅尺读头，减少误差。顶针结构432包括前后设置有x向直线导轨、直线电机动子。直线电机动子内侧设置有光栅尺与光栅尺读头，减少误差。x向直线导轨滑块带动整个顶针结构做x方向运动。
65.如图1和图2所示，在本实施例的技术方案中，安装架模块10包括底座组件11、导轨组件12和流道组件13，导轨组件12固定在底座组件11上，流道组件13可移动地设置在导轨组件12上，载板可支撑在流道组件13上。流道组件13在导轨组件12上移动，可以适应不同大小，不同型号的载板，这样的固晶机通用性更强。需要说明的是，导轨组件12的延伸方向与流道组件13的延伸方向相垂直。本实施例的固晶机还包括导向结构，导向结构固定在安装架模块10上，流道组件13和导向结构相配合，使得流道组件13在调整流道的宽度的时候，运动的更加平稳。导轨组件包括多个，各导轨组件与限位支撑架结构131相适配，并位于限位支撑架结构131的底部。
66.如图2所示，在本实施例的技术方案中，流道组件13包括限位支撑架结构131，限位支撑架结构131包括第一限位支撑板和第二限位支撑板，第一限位支撑板和第二限位支撑板之间具有可调整的预定距离以形成流道，第一限位支撑板和第二限位支撑板均沿载板的移动方向延伸。限位结构包括第一限位支撑板和第二限位支撑板，通过调整第一限位支撑板和第二限位支撑板之间的距离可以实现适应不同大小的载板，这样的结构制作成本较低，操作方便。需要说明的是，导向结构：多个导向杆，第一限位支撑板和第二限位支撑板均穿过各导向杆，各导向杆的延伸方向与导轨组件12相平行。
67.如图2所示，在本实施例的技术方案中，第一限位支撑板包括第一限位板和第一支撑板，第一支撑板位于第一限位板的靠近第二限位支撑板的一侧，第一支撑板的上表面低于第一限位板的上表面以形成第一台阶面，第二限位支撑板包括第二限位板和第二支撑板，第二支撑板位于第二限位板的靠近第一限位支撑板的一侧，第二支撑板的上表面低于第二限位板的上表面以形成第二台阶面。第一台阶面和第二台阶面的配合可以实现对载板的支撑，这样可以对载板实现向上的支撑力，减小了输送模块60的受力。第一限位板的侧面和第二限位板的侧面配合避免了载板脱离流道，使得载板能够更好的沿着预定轨道移动。
本实施例的第一限位支撑板和第二限位支撑板的结构简单，容易操作。需要说明的是，第一台阶面和第二台阶面的高度相同。第一限位板包括第一限位板段、第二限位板段、第三限位板段和第四限位板段，第二限位板包括第五限位板段、第六限位板段、第七限位板段和第八限位板段。第一支撑板包括第一支撑板段、第二支撑板段、第三支撑板段和第四支撑板段，第二支撑板包括第五支撑板段、第六支撑板段、第七支撑板段和第八支撑板段。第一限位板段和第一支撑板段相连接在一起，第二限位板段和第二支撑板段相连接在一起，第三限位板段和第三支撑板段相连接在一起，以此类推。第一限位板段、第一支撑板段、第五限位板段和第五支撑板段的长度相同，均和点胶模块20相对应地设置；第二限位板段、第二支撑板段、第六限位板段和第六支撑板段的长度相同，并和待料模块30相对应地设置；第三限位板段、第三支撑板段、第七限位板段和第七支撑板段的长度相同，并和固晶模块40相对应地设置；第四限位板段、第四支撑板段、第八限位板段和第八支撑板段的长度相同，并和下料模块50想对应地设置。
68.如图2和图4所示，在本实施例的技术方案中，流道组件13还包括流道驱动结构132，流道驱动结构132与限位支撑架结构131相连，以驱动限位支撑架结构131改变流道的预定距离。上述结构的设置操作方便。
69.如图2和图4所示，在本实施例的技术方案中，流道驱动结构132包括第一电机、丝杆和两个连接部，第一电机的输出轴与丝杆相连，丝杆的两端分别与两个连接部通过螺纹相连，第一限位支撑板和第二限位支撑板分别固定连接在两个连接部上。上述结构的流道驱动结构132加工成本较低，施加的作用力比较均衡。具体地，丝杆与两个连接部相连的两端均具有相同的螺纹，这样使得丝杆对两个连接部的作用力比较均衡，能够实现两个连接部的同步、同时移动，两个连接部分别带动第一限位支撑板和第二限位支撑板同步、同时的移动。当载板的大小改变需要调整流道的宽度的时候，载板的两侧第一限位板和第二限位板同时、同步的靠向载板，这样无论从受力还是移动距离都提高了工作的精度。
70.如图1和图3所示，在本实施例的技术方案中，固晶机还包括第一压板结构70和第一顶板结构80，第一压板结构70与限位支撑架固定连接，第一顶板结构80设置在安装架模块10上，第一压板结构70与第一顶板结构80相对应地设置，第一压板结构70与点胶模块20相配合。通过第一压板结构70和第一顶板结构80对载板的固定，可以实现载板的多个方向的限位和固定，这样进一步保证了对载板工作时的精度。第二压板结构和第二顶板结构设置在固晶模块40相对应的位置。
71.如图1、图3和图4所示，在本实施例的技术方案中，第一顶板结构80包括第二电机、第一凸轮、第一传动部和第一顶板，第二电机和第一凸轮相连，以驱动第一凸轮转动，第一凸轮与第一传动部的底部相配合，第一传动部的顶部与第一顶板固定连接，第一顶板与第一压板结构70具有相互靠近的抵压位置或者第一顶板与第一压板结构70具有相互远离的脱离位置。第一凸轮的结构保证了第一顶板在抵压载板的时候，施加作用力比较缓和，同样的道理，当第一顶板由抵压位置到脱离位置的时候也是平缓的离开。
72.如图4所示，在本实施例的技术方案中，第一传动部包括第一配合块和第一连接板，第一配合块的底面具有与第一凸轮相配合的弧形面。第一配合块的底面具有与第一凸轮相配合的弧形面，使得第一配合块和第一凸轮之间的接触面比较大，这样第一配合块和第一凸轮的配合比较稳定。另外，第一配合块为弧形面的结构还能够保证第一传动部按照
想要的速度移动。
73.在本实施例的技术方案中，第一顶板结构80还包括第一弹性件，第一弹性件的一端与底座组件11相连，第一弹性件的第二端与第一顶板结构80相连以使第一传动部与第一凸轮相接触。第一弹性件的设置保证了第一凸轮和第一配合块能够在外力的作用下具有相互抵压的作用力，即第一传动部在弹簧力的作用下一直保持有向下的作用力。第一弹性件包括两个弹簧，两个弹簧对称的位于第一凸轮的两侧，以使第一传动部和第一凸轮之间的作用力平衡、均匀。具体地，两个弹簧处于拉伸状态。
74.如图3所示，在本实施例的技术方案中，第一压板结构70包括第一压板71和第二弹性件72，第二弹性件72设置在第一压板71上，当第一顶板与第一压板结构70处于抵压位置时，第一顶板和第二弹性件72共同抵压载板。第二弹性件72的设置使得载板在第一顶板结构80和第一压板结构70共同抵压的时候，载板不会被刚性抵压，载板具有缓冲作用力，这样的结构保证了载板不容易受到破坏。
75.如图3所示，在本实施例的技术方案中，第二弹性件72包括第一弹片，第一弹片固定在第一压板71上。上述结构紧凑，使用方便。
76.如图3所示，在本实施例的技术方案中，第一弹片包括第一连接板和第一压脚，第一压脚的第一端与第一连接板的侧边相连，第一压板71具有镂空孔，第一连接板连接在第一压板71的远离第一顶板结构80的表面，第一压脚的第二端穿过镂空孔。上述结构紧凑，加工成本较低。具体地，第一连接板和第一压脚为一体成型结构。
77.如图3所示，在本实施例的技术方案中，第一连接板的平面与第一压脚的平面的角度大于90
°
小于180度，第一压脚的第二端具有向外的翻边，翻边与第一压脚通过弧形连接部相连。第一连接板的平面与第一压脚的平面的角度大于90度小于180度，这样保证了第一弹片使用的便利性，例如当第一弹片向下移动的时候通过第一连接板的平面和第一压脚的平面的角度增大可以实现对载板的作用力和弹性力。第二弹片包括第二连接板和两个第二压脚，两个第二压脚相对设置在第二连接板的两侧，第一连接板和第二连接板的结构相同，第一压脚和第二压脚的结构相同，当镂空孔为多个时，相邻的镂空孔具有连接桥，第二连接板连接是在连接桥上，第二连接板的两端均具有第二压脚，这样第二连接板的两侧都能够对载板形成弹性抵压。第一弹片用于两端的镂空孔的位置，第二弹片用于相邻的两个镂空孔的中间的连接桥的位置。
78.在本实施例的技术方案中，下料模块50包括防静电推杆，防静电推杆将载板推离流道组件，而且防静电推杆还可以防止静电对载板的伤害。
79.如图1所示，在本实施例的技术方案中，输送模块60包括第三电机、传送带、从动轮和载板夹持结构，第三电机和从动轮分别设置在安装模块的两端，传送带与第三电机和从动轮相配合，载板夹持结构设置在传送带上。传送带可以保证输送模块60的跨度较大，本实施例的技术方案，载板夹持结构可以为多个，多个载板夹持结构提高了效率，例如点胶模块20和固晶模块40可以同时工作，同时对不同的载板进行移动。第二顶板结构包括第四电机、第二凸轮、第二传动部和第二顶板。
80.在本实施例的技术方案中，载板夹持结构包括夹持安装座、固定夹持部、移动夹持部和夹持驱动部，夹持安装座安装在传送带上，固定夹持部固定设置在夹持安装座上，夹持驱动部设置在夹持安装座上，夹持驱动部与移动夹持部相连，以驱动移动夹持部靠近固定
夹持部处于夹持位置，或者驱动移动夹持部远离固定夹持部处于松开位置。载板夹持结构与载板相配合的位置采用peek(聚醚醚酮)材质，上述结构的载板夹持结构操作方便。移动夹持部和气缸相连或者液压缸相连或者电推杆相连均是可以的。
81.如图5至图9所示，在本实施例的技术方案中，固晶头结构41包括固晶头411和固晶头连接座412，固晶头连接座412固定在机械臂结构42上，固晶头411通过磁力安装在固晶头连接座412上。机械臂结构42可以带动固晶头411工作，这样使得固晶工作比较精准、自动化程度较高。固晶头411与固晶头连接座412通过磁力连接，这样的连接方式大大地提高了装拆效率，固晶头411与固晶头连接座412通过磁力相吸连接固定，减少了装拆螺钉等工序。
82.在本实施例的技术方案中，固晶头411包括固晶头主体和固晶头安装座，固晶头安装座具有安装孔，固晶头主体安装在安装孔内。固晶头主体和固晶头安装座的结构便于维修，便于设置配合结构，例如固晶头安装座设置铁磁体。
83.如图9所示，在本实施例的技术方案中，固晶头安装座包括铁磁体、第一安装段、限位段和第二安装段，限位段位于第一安装段和第二安装段之间，铁磁体位于第一安装段的远离限位段的一侧，限位段的外径大于第一安装段的外径。铁磁体方便固晶头主体与固晶头安装座的配合连接，限位段使得固晶头安装座的底部边缘与限位段的上表面相抵。限位段为圆板，第一安装段的上部为圆锥台状，下部为圆柱状，如图9所示。第二安装段与固晶头主体通过销钉固定，第二安装端的侧壁具有销钉通孔，固晶头主体的侧壁具有与销钉孔相对应设置的凹槽，销钉穿过销钉通孔穿入凹槽。
84.如图8所示，在本实施例的技术方案中，固晶头连接座412包括座体和连接管，连接管设置在座体的侧壁上，并可与固晶头主体相连通。上述结构紧凑，连接方便。连接管吸附的负压在0.1kpa至0.8kpa之间。
85.如图8和图9所示，在本实施例的技术方案中，安装孔由第二安装段的远离限位段的端部至第一安装段，第一安装段的侧壁具有连通孔，连通孔连通安装孔和连接管。上述结构紧凑，安装方便，固晶头主体为中空管。
86.如图8和图9所示，在本实施例的技术方案中，固晶头连接座412还包括磁铁，座体包括容纳空间，磁铁设置在容纳空间内。上述结构紧凑，装拆效率较高。本实施例的磁铁为永久磁铁，铁磁体为永久磁铁，通过两个磁铁相吸实现固晶头411与固晶头安装座的连接，当拆除的时候通过外力将固晶头411从固晶头安装座上拆除。磁铁也可以为电磁铁，当需要拆除的时候通过对电磁铁断电，在重力或者外力的作用下对固晶头411进行拆除。
87.如图8和图9所示，在本实施例的技术方案中，铁磁体和第一安装段位于容纳空间内，第一安装段与容纳空间的壁面之间具有相互配合的限位部。这使得固晶头411与固晶头连接座412的配合精度较高。第一安装段具有与圆锥台段相配合的圆锥台，这样座体和固晶头411配合的精度更高，上述结构加工成本较低。容纳空间由远离固晶头411的一侧至靠近固晶头411的一侧依次包括第一圆柱段、第二圆柱段、圆锥台段和圆柱段，磁铁安装在座体内。第一安装座的侧壁具有防呆面，座体的侧壁具有与防呆面相配合的平面，与防呆面相对应的座体的侧壁处具有固定孔，采用销轴使得第一安装端与座体固定在一起。
88.如图8和图9所示，在本实施例的技术方案中，固晶模块40还包括取固晶头结构和固晶头储放结构44，取固晶头结构和固晶头储放结构44均设置在安装架模块10上。上述结构进一步提高了固晶机的自动化程度。当需要更换固晶头411的时候，通过取固晶头结构将
固晶头411取下，然后再通过磁力将固晶头储放结构的固晶头411自动安装。取固晶头结构可以为单独设置的结构，也可以为系统的结构，例如连接管吹出正压的气体，通过正压气体的作用力将固晶头411取下。
89.需要说明的是，本实施例的固晶机具有多个摄像机，例如待料模块30的位置设置有相机(根据需要也可以为摄像机)对点胶的结果进行检测，点胶模块20和固晶模块均设置有相机，对点胶和固晶进行检测。本实施例还设置有移动的相机，可以根据需要移动到需要检测的位置。
90.本技术还提供了一种固晶方法，采用上述的固晶机，其步骤包括：s10点胶；s20点胶后检测；s30点胶后检测合格的进行固晶。固晶包括以下步骤：s31顶针结构针对蓝膜结构进行对位，并移动到所取的芯片位置。s32固晶头结构对蓝膜结构进行对位，并移动到所取的芯片位置。s33顶针结构吸附蓝膜结构的蓝膜。s34顶针结构顶出芯片的同时，固晶头结构的固晶头吸住芯片。s35固晶头结构对载体(本实施例的载体为pcb产品)进行对位，固晶头将移动到对应位置并完成固晶。这样的方法效率较高，通过流水线化的作业，保证了作业的连贯性。pcb(printed circuit board)，中文名称为印制电路板，又称印刷线路板)。步骤s35结束后，检测相机拍照，当固晶位置有偏移时，将发生报警，当固晶位置没有偏移时，载体将通过流道中推料结构，转移到下一工序。
91.需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
92.以上所述仅是本发明的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。