一种无尘室半导体设备安装装置的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种无尘室半导体设备安装装置。

背景技术：

无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。

目前，现有的无尘室半导体设备安装装置存在如下问题：(1)半导体设备难以稳定的吸附固定，不便自动化控制升降调节，导致安装的效率低，长时间安装可能会使得静电大，灰尘大，安全系数低，降低了安装的精度，使用范围局限；(2)不便直接将基板均匀加热，使得安装的均匀度不足，不能自动化的控制伸缩夹持定位基板，使得安装时容易晃动移位。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种无尘室半导体设备安装装置，解决了半导体设备难以稳定的吸附固定，不便自动化控制升降调节，导致安装的效率低，长时间安装可能会使得静电大，灰尘大，安全系数低，降低了安装的精度，使用范围局限的技术问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种无尘室半导体设备安装装置，包括装置本体和工作平台，所述装置本体的顶部中间设有气缸，所述气缸的底部经过气压杆连接有吸附装置，所述吸附装置的底部分布有吸附孔，所述吸附装置的底部设有半导体芯板，所述吸附装置的顶部经过气管连接有微型气泵，所述微型气泵设于装置本体的顶部，所述吸附装置的右部设有风枪，所述工作平台的内部中间设有加热装置，所述工作平台的顶部中间设有基板，所述基板的两侧设有夹板，所述夹板的外侧端经过丝杆连接有电动推杆装置；所述夹板为矩形板状结构；所述风枪为圆柱形钢管结构，所述风枪的底部下端为出风口，所述风枪的顶部固定设有定型软管，所述风枪的右侧经过连接软管连接有离子发生器，所述离子发生器设于装置本体的顶部。

优选的，所述加热装置的底部电性连接有加热控制器，所述加热装置的内部安装分布有电热丝。

优选的，所述工作平台的底部拐角端固定焊接有支撑腿，所述支撑腿为圆柱形钢管结构，所述支撑腿的底部粘接有eva垫片。

优选的，所述电动推杆装置的顶部经过连接皮带连接有电动机，且所述电动机的底部与电动推杆装置之间固定粘接分布有橡胶垫块，所述夹板的内侧端粘接有硅胶垫。

优选的，所述定型软管的顶部固定焊接有安装板，所述连接软管的外部套接有橡胶套。

(三)有益效果

(1)该无尘室半导体设备安装装置，通过在装置本体中间设置的气缸经过气压杆连接的吸附装置，自动化的控制升降调节，并且通过在吸附装置顶部经过气管连接的微型气泵，可高效的经过吸附孔稳定吸附半导体芯板，使得安装更加稳定精确，提高了安装的效率，通过在吸附装置右部设置圆柱形钢管结构的风枪，可高效的经过连接软管连接的离子发生器提供防静电离子，一方面便于直接对安装位置进行除静电处理，安全实用，另一方面可直接净化安装位置的灰尘，提高了安装的精度，通过在风枪顶部固定设置的定型软管，便于弯曲调节风枪的角度，使用方便，适用范围广。

(2)该无尘室半导体设备安装装置，通过在工作平台内部中间设置的加热装置，便于直接将工作平台顶部中间的基板均匀加热，方便进一步的安装，通过在基板两侧设置矩形板状结构的夹板，可高效的经过电动推杆装置控制丝杆伸缩，从而带动夹板将基板稳定夹持定位，解决了安装时晃动移位的问题，达到了精确安装的效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的夹持定位装置结构示意图；

图3为本实用新型的风枪结构示意图；

图4为本实用新型的吸附装置底部结构示意图。

图中，装置本体1、工作平台2、基板3、半导体芯板4、夹板5、风枪6、加热装置7、吸附装置8、气缸9、微型气泵10、离子发生器11、电动推杆装置12、丝杆13、定型软管14、连接软管15、吸附孔16。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种无尘室半导体设备安装装置，包括装置本体1和工作平台2，所述装置本体1的顶部中间设有气缸9，气缸9的底部经过气压杆连接有吸附装置8，吸附装置8的底部分布有吸附孔16，吸附孔16为横竖均匀排列，吸附孔16的数量为若干个，吸附装置8的底部设有半导体芯板4，吸附装置8的顶部经过气管连接有微型气泵10，微型气泵10设于装置本体1的顶部，微型气泵10的型号为370d，吸附装置8的右部设有风枪6，工作平台2的内部中间设有加热装置7，工作平台2的顶部中间设有基板3，基板3的两侧设有夹板5，夹板5的外侧端经过丝杆13连接有电动推杆装置12，电动推杆装置12的型号为hta2500；夹板5为矩形板状结构；风枪6为圆柱形钢管结构，风枪6的底部下端为出风口，经过出风口对准基板3吹风，风枪6的顶部固定设有定型软管14，风枪6的右侧经过连接软管15连接有离子发生器11，离子发生器11设于装置本体1的顶部。

进一步改进地，所述加热装置7的底部电性连接有加热控制器，加热装置7的内部安装分布有电热丝，加热控制器的型号为tc200，高效的控制电热丝稳定加热。

进一步改进地，所述工作平台2的底部拐角端固定焊接有支撑腿，支撑腿为圆柱形钢管结构，支撑腿的底部粘接有eva垫片，支撑的强度高，缓冲减震，防滑耐磨，稳定性能高。

进一步改进地，所述电动推杆装置12的顶部经过连接皮带连接有电动机，电动推杆装置12由电动机、丝杆13和控制装置等机构组成的一种新型直线执行机构，在一定范围行程内作往返运动，且电动机的底部与电动推杆装置12之间固定粘接分布有橡胶垫块，降低噪音，稳定可靠，夹板5的内侧端粘接有硅胶垫，使得夹持更加稳定，紧固度高。

具体改进地，所述定型软管14的顶部固定焊接有安装板，便于快速安装或拆卸，连接软管15的外部套接有橡胶套，韧性高，便于拉伸调节。

工作原理：启动吸附装置8顶部经过气管连接的微型气泵10，经过吸附孔16稳定吸附半导体芯板4，通过装置本体1中间的气缸9经过气压杆连接的吸附装置8自动化升降调节，通过基板3两侧矩形板状结构的夹板5经过电动推杆装置12控制丝杆13转动伸缩，带动夹板5将基板3稳定夹持定位，通过工作平台2内部中间的加热装置7直接将基板3均匀加热，将半导体芯板4与基板3压合安装，通过圆柱形钢管结构的风枪6经过连接软管15连接的离子发生器11提供防静电离子吹风，一方面直接对安装位置进行除静电处理，另一方面直接净化安装位置的灰尘，可通过风枪6顶部固定的定型软管14弯曲调节风枪6的角度使用；

气缸9为单作用气缸，从气压杆一侧供气聚能产生气压，气压推动活塞产生推力使得气压杆伸出，靠弹簧返回，气压传动中将压缩气体的压力能转换为机械能的气动执行元件，做往复直线运动；

风枪6为离子风枪，消除静电专用设备，离子发生器11提供离子风枪所需的离子，可以将物体上所带的电荷中和，达到消除静电的目的，高速的压缩气体可将物体上面的顽固积尘吹走。

本实用新型的装置本体1、工作平台2、基板3、半导体芯板4、夹板5、风枪6、加热装置7、吸附装置8、气缸9、微型气泵10、离子发生器11、电动推杆装置12、丝杆13、定型软管14、连接软管15、吸附孔16，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是半导体设备难以稳定的吸附固定，不便自动化控制升降调节，导致安装的效率低，长时间安装可能会使得静电大，灰尘大，安全系数低，降低了安装的精度，使用范围局限，不便直接将基板均匀加热，使得安装的均匀度不足，不能自动化的控制伸缩夹持定位基板，使得安装时容易晃动移位，本实用新型通过上述部件的互相组合，安装更加稳定精确，提高了安装的效率，一方面便于直接对安装位置进行除静电处理，安全实用，另一方面可直接净化安装位置的灰尘，提高了安装的精度，弯曲调节风枪的角度，使用方便，适用范围广，均匀加热，解决了安装时晃动移位的问题，达到了精确安装的效果。

涉及到电路和电子元器件均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型所保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。