一种电控安装组件和去胶机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行业晶片湿法处理领域，尤其涉及一种电控安装组件和去胶机。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。目前，在晶圆撕金去胶工艺过程中，常用去胶液冲刷晶圆，来剥离晶圆上的胶和金属，使用后的去胶液经过过滤冷却等步骤进行循环利用，而流量计用于检测去胶液的流量。
3.目前，将流量计安装于电控区域会占用较多空间，导致需要增大去胶机尺寸才能容纳流量计。


技术实现要素：

4.因此，本实用新型实施例提供一种电控安装组件和去胶机，有效解决所述电控组件占用较大安装空间的问题。
5.一方面，本实用新型实施例提供一种电控安装组件，包括电控组件，还包括：安装板，所述安装板的一侧为电控安装侧，所述电控组件位于所述电控安装侧；电控固定件，所述电控固定件位于所述电控安装侧，所述电控固定件连接所述电控组件和所述安装板；至少一个安装板开合件，所述安装板开合件连接所述安装板的至少一侧。
6.采用该技术方案后所达到的技术效果：电控安装侧为所述安装板的内侧，相比安装在所述去胶机的其他隔板上，更加节省空间；并且打开所述安装板可直接操作所述电控组件，无需将手伸入去胶机内操作所述电控组件，因此调试时更加便捷。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述电控组件为流量计。
8.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述安装板的大小能够容纳所述流量计，因此所述流量计适用所述电控安装组件的安装方式。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述安装板开合件为合页。
10.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述合页能够实现所述电控板的旋转运动，实现开合动作。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述安装板设有相对的开合件安装侧和连接件安装侧，所述电控安装组件还包括：安装板连接件，所述安装板连接件位于所述连接件安装侧，并连接所述安装板；其中，所述开合件安装侧为所述安装板的任意一侧，所述安装板开合件连接于所述开合件安装侧。
12.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述安装板连接件能够实现所述安装板的可拆卸连接，在所述安装板闭合时能够稳定连接。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述安装板连接件包括卡扣组件，所述卡扣组件朝向所述电控安装侧；所述卡扣组件包括凸起件和扣合件，所述凸起件连接所述安装板的所述电控安装侧，所述扣合件与所述凸起件配合。
14.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述卡扣组件能够实现所述安装板的可拆卸连接，便于安装板打开或关闭。
15.在本实用新型的一个实施例中，所述安装板连接件还包括固定片，所述固定片位于所述卡扣组件远离所述安装板的一侧；其中，所述固定片包括第一固定片和第二固定片；所述第一固定片连接所述扣合件，所述第二固定片垂直连接所述第一固定片远离所述扣合件的一侧，所述第二固定片设有至少一个固定孔。
16.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述固定片用于将所述卡扣组件的扣合件固定至所述去胶机内，所述安装板关闭时能够与所述去胶机稳定连接。
17.在本实用新型的一个实施例中，所述安装板连接件包括磁铁和铁片。
18.采用该技术方案后所达到的技术效果：通过所述磁铁和所述铁片的吸引力固定所述安装板，便于所述安装板的开合。
19.在本实用新型的一个实施例中，所述电控固定件为至少一个滑轨，所述流量计设有滑轨安装槽，所述滑轨安装槽与所述滑轨配合。
20.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述滑轨和所述滑轨安装槽的配合能够实现所述流量计的可拆卸连接。
21.在本实用新型的一个实施例中，还包括：把手；所述安装板设有把手安装槽，所述把手连接所述把手安装槽。
22.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述把手便于打开所述安装板。
23.另一方面，本实用新型实施例还提供一种去胶机，包括上述任一实施例所述的电控安装组件。
24.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶机具有所述电控安装组件，能够充分利用所述安装板背部的空间，节省所述去胶机内电控部分的安装空间。
25.综上所述，本技术上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：
26.i)所述流量计安装于所述安装板的内侧，相比安装在所述去胶机的其他隔板上，更加节省空间，并且能够充分利用所述安装板背部的空间；
27.ii)所述安装板开合件能够旋转所述电控安装组件，便于打开所述安装板并操作所述流量计；
28.iii)所述滑轨便于滑动或拆卸所述流量计；
29.iv)所述安装板连接件在所述安装板关闭时能够固定所述安装板。
附图说明
30.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1为本实用新型第一实施例提供的一种电控安装组件100的结构示意图。
32.图2为图1所示的电控安装组件100的爆炸图。
33.图3为图1中安装板连接件150的结构示意图。
34.图4为图2中电控组件110的结构示意图。
35.图5为本实用新型第二实施例提供的一种去胶机200的结构示意图。
36.主要元件符号说明：
37.100为电控安装组件；110为电控组件；111为流量传感器放大器；112为流量计通讯模块；113为滑轨安装槽；120为安装板；121为电控安装侧；122为开合件安装侧； 123为连接件安装侧；124为把手安装槽；130为电控固定件；140为安装板开合件；150 为安装板连接件；151为卡扣组件；152为凸起件；153为扣合件；1531为扣合凹槽；1532 为弹性件；154为固定片；1541为第一固定片；1542为第二固定片；160为把手。
38.200为去胶机；210为控制模块安装空间；220为其他控制模块。
具体实施方式
39.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
40.【第一实施例】
41.参见图1
‑
2，其为本实用新型第一实施例提供的一种电控安装组件100，包括电控组件110、安装板120、电控固定件130和至少一个安装板开合件140。其中，安装板120 的一侧为电控安装侧121，电控组件110位于电控安装侧121；电控固定件130位于电控安装侧121，电控固定件130连接电控组件110和安装板120；安装板开合件140连接安装板120的至少一侧。
42.在本实施例中，安装板120盖设于去胶机200的控制模块的一侧，可用于防尘，其电控安装侧121对应所述去胶机200的控制模块安装空间210。在安装板120上设置电控组件110能够充分利用电控安装侧121的空间，无需拓展去胶机200的尺寸；并且不会干涉其他控制模块220的安装位置，在安装板120打开后，便于对电控组件110进行操作。
43.优选的，电控组件110例如为流量计。其中，所述流量计包括并排设置的多个流量传感器放大器111和多个流量计通讯模块112，连接于安装板120的中心位置，用于检测去胶液管路中去胶液的流量。并且，安装板120的长宽尺寸远大于所述流量计，使得所述流量计与安装板120的每一侧均留有距离，在安装板120的开合过程中所述流量计也不会干涉其他控制模块220的安装空间。
44.优选的，安装板开合件140例如为合页。举例来说，1个、2个或3个所述合页等间距设于安装板120的一侧，使安装板120能够沿所述合页所在的一侧旋转运动，此处不做限定。
45.进一步的，安装板120设有相对的开合件安装侧122和连接件安装侧123，安装板开合件140连接于开合件安装侧122。其中，电控安装组件100还包括安装板连接件150，安装板连接件150位于连接件安装侧123，并连接安装板120。
46.再进一步，开合件安装侧122为所述安装板120的任意一侧。举例来说，安装板120 沿竖直方向设置，开合件安装侧122位于其下方，相应的，连接件安装侧123位于其上方，此时安装板120向下翻转打开；当然，开合件安装侧122也可以位于安装板120上方，相应的，连接件安装侧123位于其下方，此时安装板120向上翻转打开；当然，开合件安装侧122位于其左侧或右侧，使安装板120向左侧或右侧翻转打开，此处不做赘述。
47.具体的，在一个实施例中，参见图3，其为安装板连接件150的结构示意图，安装板连接件150例如包括：卡扣组件151。其中，卡扣组件151包括凸起件152和扣合件 153，凸起件152连接安装板120的电控安装侧121，扣合件153与凸起件152配合，并且扣合件153位于凸起件152远离所述安装板120的一侧。
48.优选的，卡扣组件151例如为球形卡扣。举例来说，凸起件152的两侧设有凹陷的弧面；扣合件153设有与之配合的扣合凹槽1531。其中，扣合凹槽1531内壁相对的设有两个弹性件1532，弹性件1532设有朝向凸起件152的球形面，每个弹性件1532 的所述球形面对应凸起件152的其中一个所述弧面。当凸起件152插入扣合凹槽1531 后，凸起件152挤压弹性件1532的所述球形面使弹性件1532向两侧变形，当凸起件152的所述弧面运动至弹性件1532的所述球形面，所述球形面因弹性件1532的回弹，与所述弧面配合，至此卡扣组件151完成扣合的动作。
49.具体的，安装板连接件150例如还包括：固定片154。其中，固定片154位于卡扣组件151远离安装板120的一侧；固定片154用于将扣合件153固定于去胶机200上。
50.进一步的，固定片154例如包括第一固定片1541和第二固定片1542。其中，第一固定片1541连接扣合件153，第二固定片1542垂直连接第一固定片1541远离扣合件153 的一侧，所述第二固定片1542设有至少一个固定孔。第一固定片1541与扣合件153例如通过螺钉连接，第二固定片1542例如通过螺钉固定于去胶机200上。
51.优选的，在另一个实施例中，安装板连接件150例如为磁铁和铁片。举例来说，所述磁铁连接安装板120，所述铁片固定于去胶机200上；或者所述磁铁固定于去胶机200 上，所述铁片连接安装板120，通过所述磁铁和所述铁片的吸引力，也能够实现安装板120的可拆卸连接。
52.具体的，结合图2和4，电控固定件130例如为至少一个滑轨。举例来说，每个所述滑轨设有多个处于同一直线上的腰孔，安装板120上对应所述腰孔的位置设有多个与所述腰孔配合的连接孔，所述腰孔和所述连接孔例如通过螺钉螺母连接，从而使所述滑轨固定于电控固定件130上。
53.进一步的，所述连接孔的数量小于等于所述腰孔的数量。举例来说，所述连接孔数量为所述腰孔的一半，并且连接所述连接孔的所述腰孔，与未连接所述连接孔的腰孔可以间隔设置。从而使安装板120无需开设过多所述连接孔即可实现安装板120和滑轨之间具有足够的连接强度，同时节省安装板120的加工工时。
54.优选的，所述滑轨数量为一条，相应的，所述流量计设有对应的滑轨安装槽113。其中，滑轨安装槽113能够与所述滑轨配合。举例来说，所述流量计的多个流量传感器放大器111和多个流量计通讯模块112均设有滑轨安装槽113，每个流量传感器放大器111和每个流量计通讯模块112的滑轨安装槽113相互连通，并配合于同一个所述滑轨上。
55.具体的，滑轨安装槽113的两侧设有挡板，所述挡板形成安装开口，所述安装开口的宽度小于滑轨安装槽113的宽度。相应的，所述滑轨的两侧设有安装板，所述安装板卡设于滑轨安装槽113的所述挡板内，使得所述流量计不会沿垂直滑轨的方向脱出。所述流量计能够沿所述滑轨的长度方向滑动，便于调节所述流量计的位置，防止所述流量计与其他控制模块220发生干涉，也便于取下所述流量计进行调试。
56.优选的，电控安装组件100例如还包括：把手160。其中，安装板120设有把手安装槽
124，把手安装槽124开设于滑轨的任意一侧，例如设于所述滑轨和卡扣组件 151之间；把手160连接于把手安装槽124内，把手安装槽124周向环绕有多个通孔，把手160通过螺栓螺母连接于所述通孔连接，从而实现把手160和安装板120的连接。
57.【第二实施例】
58.参见图5，其为本实用新型第二实施例提供的一种去胶机200，包括第一实施例提供的电控安装组件100，例如还包括：控制模块安装空间210，和设于控制模块安装空间210内的其他控制模块220。
59.具体的，电控安装组件100的安装板120起到挡板的作用，当安装板120关闭时，电控安装组件100也位于控制模块安装空间210内，并且电控安装组件100和其他控制模块220相对设置；当安装板120打开时，电控安装组件100随安装板120移动至控制模块安装空间210外，电控安装组件100和其他控制模块220不会相互干涉，操作员能够直接操作电控安装组件100或其他控制模块220，也可以将电控安装组件100 从滑轨上取下，进行调试。
60.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。