二分之一硅片吸盘的制作方法

1.本实用新型涉及硅片制造技术领域，尤其是指一种二分之一硅片吸盘。


背景技术：

2.目前，硅片在生产过程中通常采用真空吸盘或者静电吸盘进行吸附固定，将其从石英舟上拔出。然而现有的吸盘，通常是采用螺钉等部件将其与支撑座进行固定，使用不够便捷。


技术实现要素：

3.为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中吸盘与支撑座之间的连接方式不够便捷的技术问题,从而提供一种能够快速将多个吸盘插入支撑座的二分之一硅片吸盘。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种二分之一硅片吸盘，包括吸盘本体,所述吸盘本体支撑于支撑部,所述支撑部包括支撑座,所述支撑座上设有通槽,所述吸盘本体的连接端自所述通槽一端穿设于所述通槽,所述吸盘本体的连接端设有延伸部；所述支撑部位于所述通槽的至少一侧沿所述吸盘的厚度方向设有卡止槽,所述卡止槽与所述通槽连通,所述卡止槽内设有卡止件,当所述延伸部趋向于所述卡止槽内时受限于所述卡止件。
5.在本实用新型的一个实施例中，所述吸盘本体为真空吸盘,所述吸盘本体的吸取面设有吸取孔,所述吸取孔分布在所述吸取面的两侧，所述吸盘本体的连接端设有吸取口，所述吸盘本体中空且与所述吸取孔和吸取口连通。
6.在本实用新型的一个实施例中，所述支撑部还包括连接所述支撑座的抽气盖,所述抽气盖位于所述通槽的另一端,所述抽气盖朝向所述支撑座的一面设有集气槽，所述集气槽与所述吸取口正对设置，所述抽气盖与所述集气槽相背的一面设有抽气孔，所述抽气孔与所述集气槽连通。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述支撑座沿长度方向分布若干所述通槽，所述通槽沿所述支撑座的长度方向依次设置。
8.在本实用新型的一个实施例中，所述通槽的宽度方向与所述支撑座的长度方向相同。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述抽气盖分布若干所述集气槽，所述集气槽与所述吸盘本体的吸取口一一对应。
10.在本实用新型的一个实施例中，所述集气槽的外侧设置密封件。
11.在本实用新型的一个实施例中，相邻所述集气槽对应的所述抽气孔错位排列。
12.在本实用新型的一个实施例中，分布在所述抽气盖上的所述抽气孔呈两列设置。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述吸盘本体的吸取面的方向相同。
14.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
15.本实用新型所述的硅片吸盘，吸盘与支撑座采用插入式连接，通过支撑座设置通
槽，对吸盘的连接端进行改进使之通槽适配，再通过卡止件和卡止槽将吸盘固定，可任意选择插入的吸盘数量，且更换较为便捷。
16.本实用新型所述的硅片吸盘，吸盘的两侧均设有吸取孔，可满足二分之一硅片的吸取要求。
附图说明
17.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
18.图1是本实用新型第一实施例中二分之一硅片吸盘的结构示意图。
19.图2是如图1所示的二分之一硅片吸盘中支撑部的结构示意图。
20.图3是如图1所示的二分之一硅片吸盘中抽气盖的结构示意图。
21.图4是如图1所示的二分之一硅片吸盘中抽气盖的底部结构示意图。
22.图5是如图1所示的二分之一硅片吸盘中支撑部的结构示意图。
23.图6是如图1所示的二分之一硅片吸盘中吸盘的结构示意图。
24.图7是如图1所示的二分之一硅片吸盘中吸盘与支撑座的连接结构示意图。
25.图8是本实用新型第二实施例中二分之一硅片吸盘的结构示意图。
26.说明书附图标记说明：1、支撑部；11、支撑座；12、抽气盖；13、通槽；14、卡止槽；15、卡止件；16、集气槽；17、抽气孔；18、密封槽；2、吸盘；3、吸取孔；4、吸取口；5、吸气平台；6、同步装置；7、同步孔；8、通孔；9、延伸部。
具体实施方式
27.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
28.参照图1所示，本实用新型的一个实施例，包括吸盘本体2,所述吸盘本体支撑于支撑部1,所述吸盘本体2为真空吸盘，所述吸盘本体2呈厚度较薄的扁平状结构，所述吸盘本体2的其中一面为吸取面，用以吸附硅片，所述吸取面设有吸取孔3，所述吸取孔3分布在所述吸取面的两侧，本实施例中，优选地，所述吸取孔3分布在与所述吸盘本体2的连接端相邻的两侧，所述吸盘本体2的连接端设有吸取口4，所述吸盘本体2中空且与所述吸取孔3和吸取口4连通,所述吸盘本体2的连接端设有延伸部9。本实施例中，优选地，所述吸盘本体2为f型陶瓷吸盘。
29.所述支撑部1包括支撑座11和连接所述支撑座的抽气盖12，所述支撑座11沿长度方向设有若干供所述吸盘本体2的连接端插入的通槽13(需要说明的是，为了能够设置更多的所述通槽13，容纳更多的所述吸盘本体2，本实施例中，所述支撑座11的长度方向与所述吸盘本体2的厚度方向一致，所述吸盘本体2的厚度方向和所述通槽13的宽度方向默认一致)，与所述通槽13相邻的两侧均沿所述支撑座11的长度方向设有卡止槽14,所述卡止槽14与所述通槽13连通，所述卡止槽14内设有卡止件15。本实施例中，优选地，所述卡止槽14为凹型槽，所示卡止件15与凹型槽的形状适配以填充所述卡止槽14。(即所述支撑座11的横截面为工字型，所述吸盘本体2的连接端同样为工字型，当所述卡止件15卡入所述卡止槽14时，所述卡止件15限制所述吸盘本体2的延伸部9趋向于卡止槽14)
30.所述通槽13供所述吸盘本体2插入的一端为插入端,所述抽气盖12位于所述通槽13的另一端,所述抽气盖12与所述支撑座11的形状适配,所述抽气盖12盖合若干所述通槽13,所述抽气盖12朝向所述支撑座11的一面设有若干所述集气槽16,所述集气槽16与所述吸取口4正对设置且一一对应，所述抽气盖12的另一面(与所述集气槽16相对的一面)设有若干抽气孔17，所述抽气孔17与所述集气槽16一一对应设置且相互连通。为了防止抽气时，气体从缝隙漏出，所述抽气盖12朝向所述支撑座11的一面还设有密封槽18用以放置密封圈，本实施例中，所述密封槽18环绕若干所述集气槽16设置以提高密封效果。
31.由于所述吸盘本体2的厚度较薄，因此为了同时吸附更多的所述吸盘本体2，所述通槽13的设置较为紧密，而与所述抽气孔17连接的吸气接头存在一定尺寸，因此，本实施例中，为了避免干涉，所述抽气孔17错位排列。为了进一步提高吸气效率，所述抽气盖12还连接吸气平台5，所述吸气平台5上设有同步装置6，所述同步装置6上设有若干同步孔7，所述同步孔7与所述抽气孔17通过吸气接头连接且一一对应，通过所述同步装置6使若干吸气接头同步工作。所述同步装置6设有通孔8且与各所述同步孔7连通，所述通孔8与抽气装置连接。为了更进一步提高吸气效率，本实施例中，所述同步装置6呈立方体结构，且长度与所述支撑座11相同，所述支撑座11位于所述吸气平台5一侧的底部，所述同步装置6位于所述吸气平台5另一侧的顶部，所述同步装置6面向所述支撑座11的一面和顶部一面均设有一列同步孔7，所述抽气孔17在所述抽气盖12上呈两列错位排列，每列所述抽气孔17对应一面同步孔7，所述吸气平台5上设有通孔以便于吸气接头接入。
32.本实施例中，为了提高所述吸盘本体2的放置效率，以及后续所述吸盘本体2的工作效率，若干所述吸盘本体2的吸取面的方向相同。
33.实施例二
34.由于二分之一硅片通常由两片叠放，因此单个硅片吸盘满足不了目前的需求，本实施例中，硅片吸盘包括两组，且两组的吸盘本体2均为f型陶瓷吸盘，两组的f型陶瓷吸盘交错设置，且两组的所述吸盘本体2的吸取面相向，每组的所述吸盘一一间隔设置，即第一组的第一个吸盘与第二组的第一个吸盘为一个吸取单元，二者的吸取面相向，第一组的第二个吸盘与第二组的第二个吸盘为一个吸取单元，二者的吸取面相向，以此类推。当两组硅片吸盘工作时，第一组的第一个吸盘和第二组的最后一个吸盘位于整个二分之一硅片吸盘的最外侧，第一组的第一个吸盘和第二组的最后一个吸盘，吸取面均朝向内侧。
35.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。