一种用于芯片制造的固定装置的制作方法

文档序号:28458058发布日期:2022-01-12 07:05阅读:203来源:国知局
一种用于芯片制造的固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及芯片制造用装置技术领域,具体是指一种用于芯片制造的固定装置。


背景技术:

2.常见的芯片生产用固定装置固定不稳,容易造成芯片脱落造成芯片的损坏。


技术实现要素:

3.本实用新型针对上述问题提供了一种用于芯片制造的固定装置。
4.本实用新型所采用的技术方案为:一种用于芯片制造的固定装置,其特征在于:包括固定台本体,所述固定台本体顶部设有放置槽,所述放置槽的两侧均设有两个固定柱,所述固定柱的顶部转动连接有固定板,所述固定柱靠近放置槽的一侧设有两个支撑柱,所述支撑柱顶部设有调节杆,所述调节杆顶部与固定板底部端面活动连接,所述放置槽底部中间开设有通槽,所述通槽内设有抽气泵二,所述抽气泵二顶部连接有吸盘,所述抽气泵二底部连接有排气管二,所述排气管二贯通连接有集尘室,所述集尘室设置在通槽底部,所述集尘室一侧贯通连接有通风管,所述通风管上连接有抽气泵一,所述通风管的另一端设置在放置槽的一侧。
5.所述固定板两端均设有旋转杆,所述旋转杆穿设于固定柱内。
6.所述调节杆包括杆一、杆二和杆三,所述杆一的底部与支撑柱顶部端面活动连接,所述杆一顶部活动连接有杆二,所述杆二与固定板的底部端面活动连接,所述杆三铰接在杆一与杆二的连接处,所述杆三为两个固定端相连的伸缩杆,所述伸缩杆的固定端底部固定连接有升降筒,所述升降筒底部与放置槽底部固定连接。
7.所述通槽底部设有单向防尘网二,所述排气管二贯穿单向防尘网二。
8.所述通风管的一端设有排气管一,所述排气管一贯通连接通风管与集尘室。
9.所述通风管一端设有单向防尘网一,所述单向防尘网一上设有供排气管一穿设的孔,所述通风管靠近放置槽的一端端口设有多个通风孔。
10.所述固定板的底部设有橡胶垫一,所述吸盘顶部设有橡胶垫二。
11.所述集尘室内设有导流板,所述导流板设置在排气管一的一侧。
12.本实用新型的有益效果:
13.本实用新型整体结构简单。一种用于芯片制造的固定装置,通过调节杆之间的配合实现固定板的旋转,从而实现将芯片固定在放置槽。
14.通过吸盘将芯片吸住固定,通过抽气泵一和抽气泵二实现无死角的将灰尘抽走,通过集尘室将灰尘收集便于集中清理,通过导流板防止排气管一之间排出的风互相影响导致影响除尘效果。
15.通过橡胶垫一起到缓冲和保护芯片的作用,防止压坏芯片,通过橡胶垫二起到密封作用,防止吸盘吸芯片时漏气导致芯片松动。
附图说明
16.图1为本实用新型一种用于芯片制造的固定装置的整体结构示意图。
17.图2为本实用新型一种用于芯片制造的固定装置的俯视图。
18.图3为本实用新型一种用于芯片制造的固定装置的杆三连接结构示意图。
19.(1、固定台本体;2、固定柱;3、固定板;3.1、橡胶垫一;4、支撑柱;4.1、调节杆;4.11、杆一;4.12、杆二;4.13、杆三;4.2、升降筒;5、通风管;5.1、抽气泵一;5.2、排气管一;5.3、单向防尘网一;5.4、通风孔,6、导流板;7、吸盘;7.1、橡胶垫二;7.2、抽气泵二;7.3、排气管二;7.4、单向防尘网二;8、集尘室;9、放置槽)
具体实施方式
20.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
21.为了解决常见的芯片生产用固定装置固定不稳,容易造成芯片脱落造成芯片的损坏的问题,本实用新型提供一种如图所示的一种用于芯片制造的固定装置,其特征在于:包括固定台本体1,所述固定台本体1顶部设有放置槽9,所述放置槽9的两侧均设有两个固定柱2,所述固定柱2的顶部转动连接有固定板3,所述固定板3靠近放置槽9的一侧设有两个支撑柱4,所述支撑柱4顶部设有调节杆4.1,所述调节杆4.1顶部与固定板3底部端面活动连接,所述放置槽9底部中间开设有通槽,所述通槽内设有抽气泵二7.2,所述抽气泵二7.2顶部连接有吸盘7,所述抽气泵二7.2底部连接有排气管二7.3,所述排气管二7.3贯通连接有集尘室8,所述集尘室8设置在通槽底部,所述集尘室8一侧贯通连接有通风管5,所述通风管5上连接有抽气泵一5.1,所述通风管5的另一端设置在放置槽9的一侧。
22.本实用新型中所述固定板3两端均设有旋转杆,所述旋转杆穿设于固定柱2内。
23.本实用新型中所述调节杆4.1包括杆一4.11、杆二4.12和杆三4.13,所述杆一4.11的底部与支撑柱4顶部端面活动连接,所述杆一4.11顶部活动连接有杆二4.12,所述杆二4.12与固定板3的底部端面活动连接,所述杆三4.13铰接在杆一4.11与杆二4.12的连接处,所述杆三4.13为两个固定端相连的伸缩杆,所述伸缩杆的固定端底部固定连接有升降筒4.2,所述升降筒4.2底部与放置槽9底部固定连接,便于防止杆三4.13发生移动。
24.本实用新型中所述通槽底部设有单向防尘网二7.4,所述排气管二7.3贯穿单向防尘网二7.4。
25.本实用新型中所述通风管5的一端设有排气管一5.2,所述排气管一5.2贯通连接通风管5与集尘室8。
26.本实用新型中所述通风管5一端设有单向防尘网一5.3,所述单向防尘网一5.3上设有供排气管一5.2穿设的孔,所述通风管5靠近放置槽9的一端端口设有多个通风孔5.4。
27.本实用新型中所述固定板3的底部设有橡胶垫一3.1,所述吸盘7顶部设有橡胶垫二7.1。
28.本实用新型中所述集尘室8内设有导流板6,所述导流板6设置在排气管一5.2的一侧。
29.本实施列的一种用于芯片制造的固定装置,通过调节杆4.1之间的配合实现固定板3的旋转,从而实现将芯片固定在放置槽9。通过吸盘7将芯片吸住固定,通过抽气泵一5.1和抽气泵二7.2实现无死角的将灰尘抽走,通过集尘室8将灰尘收集便于集中清理,通过导
流板6防止排气管一5.2之间排出的风互相影响导致影响除尘效果。通过单向防尘网一5.3和单向防尘网二7.4防止进入到集尘室8内的灰尘重新回到通风管5,引起灰尘回流。通过橡胶垫一3.1起到缓冲和保护芯片的作用,防止压坏芯片,通过橡胶垫二7.1起到密封作用,防止吸盘7吸芯片时漏气导致芯片松动。
30.使用时,将启动抽气泵一5.1和抽气泵二7.2将灰尘清除并带入集尘室8,将无尘芯片放置在放置槽9内,通过启动杆三4.13使其缩短从而推动杆一4.11与杆二4.12之间发生活动实现固定板3的下降,从而使橡胶垫一3.1压在芯片上,之后即可进行芯片的制备工艺工作,制备结束后通过杆三4.13的伸长使杆一4.11与杆二4.12之间发生反向活动从而实现固定板3的升起,即可取出芯片,将集尘室8内的灰尘取出即可,单向防尘网一5.3和单向防尘网二7.4可防止由于灰尘质量轻容易乱飞,再将其吹走后又飞回来的情况。
31.以上对本实用新型及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本实用新型的保护范围。
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1