一种高稳定性能离子原栅网装置的制作方法

1.本实用新型涉及离子栅网技术领域，特别涉及一种高稳定性能离子原栅网装置。


背景技术：

2.离子栅网系统是将离子束流从放电室拔出的主要装置。栅网是离子源中用于束流引出及修形的装置，利用石墨或钼制成网状电极，位于离子源出口的前端，通过改变栅网的几何特征、相对位置以及控制栅网上的电势分布，可以将离子束流由离子源放电室中引出，并使其具有一定的空间浓度及空间分布形状，离子栅网系统中的栅网一般为三栅式结构，分别包括屏栅、加速栅和减速栅，其中屏栅相距等离子体最近，减速栅相距等离子体最远。传统的离子栅网安装完成后间距不能改变，导致工作距离和工作性能无法改变。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种高稳定性能离子原栅网装置，具有能够改变各个栅网之间间距的优点，提高了对离子束流的控制能力。
4.为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
5.一种高稳定性能离子原栅网装置，包括：
6.栅网套筒，所述栅网套筒内从下到上依次设有屏栅、加速栅以及减速栅；
7.承载于所述栅网套筒用于调节栅网间距的调节机构，所述调节机构包括：开设于所述栅网套筒上下两侧的升降槽、嵌设于所述升降槽侧壁的轴承、位于所述升降槽且设于所述轴承内圈的螺纹杆、以及套设于所述螺纹杆的螺纹套；以及，
8.一端连接于所述螺纹套且另一端连接于所述屏栅与减速栅的固定组件。
9.实现上述技术方案，通过转动螺纹杆，螺纹杆通过轴承与栅网套筒相对转动并与螺纹套配合形成螺纹传动，从而带动螺纹套上下运动，轴承的数量为两个，从而能够控制屏栅和减速栅上下运动，由于屏栅和减速栅位于加速栅的两侧，所以通过调节屏栅和减速栅上下运动能够控制三组栅网之间的间距。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述固定组件包括：设置于各个栅网外周的固定托、开设于所述屏栅和所述减速栅外周的所述固定托的固定通槽、设置于所述固定通槽的固定销、以及一端连接于所述固定销且另一端连接于所述螺纹套的拉紧组件。
11.实现上述技术方案，将固定销穿过固定通槽并插接在拉紧组件上，拉紧组件将固定销向两侧拉动从而固定栅网，实现了快速安装屏栅和离子栅，增加了更换效率。
12.作为本实用新型的一种优选方案，所述拉紧组件包括：固定连接于所述螺纹套的固定套筒、活动连接于所述固定套筒内腔的滑块、连接于所述滑块的拉杆、套设于所述拉杆的弹簧、以及连接于所述拉杆远离所述滑块一端的固定座，所述固定销插接于所述固定座，所述弹簧的一端抵接于所述滑块且另一端抵接于所述套筒。
13.实现上述技术方案，安装时栅网时，拉动拉杆至通槽的下方，弹簧收尾并抵紧滑块，之后将固定销插接于固定座，弹簧的复位力使拉杆带动固定销抵紧固定通槽的侧壁，使
的栅网不易脱落；拆卸栅网时向上拔起插销，就能取出栅网，极大了增加了工作效率。
14.所述固定销开设有卡槽，所述固定座设置有与所述卡槽相适配的卡凸。
15.实现上述技术方案，固定销插接在固定座时不易松动和脱落，增加了稳定性。
16.作为本实用新型的一种优选方案，所述栅网套筒的内壁设置有台沿，所述台沿设置有紧固螺栓，所述加速栅通过所述紧固螺栓连接于所述台沿。
17.作为本实用新型的一种优选方案，所述升降槽内嵌设有两个轴承，所述螺纹杆固定连接于两个所述轴承的内圈。
18.实现上述技术方案，螺纹杆转动时更加稳定。
19.作为本实用新型的一种优选方案，所述固定通槽的形状为矩形，所述固定通槽的宽度至少为所述固定销的两倍。
20.实现上述技术方案，便于固定销插入固定通槽。
21.作为本实用新型的一种优选方案，所述螺纹的位于所述升降槽的内部，所述螺纹杆远离轴承的一端不高于所述升降槽的开口。
22.实现上述技术方案，正常使用时不会误触螺纹杆转动，增加了装置的可靠性，使用内六角扳手能够转动螺纹杆。
23.综上所述，本实用新型具有如下有益效果：
24.本实用新型通过提供一种高稳定性能离子原栅网装置，通过转动螺纹杆，螺纹杆通过轴承与栅网套筒相对转动并与螺纹套配合形成螺纹传动，从而带动螺纹套上下运动，轴承的数量为两个，从而能够控制屏栅和减速栅上下运动，由于屏栅和减速栅位于加速栅的两侧，所以通过调节屏栅和减速栅上下运动能够控制三组栅网之间的间距，安装时栅网时，拉动拉杆至通槽的下方，弹簧收尾并抵紧滑块，之后将固定销插接于固定座，弹簧的复位力使拉杆带动固定销抵紧固定通槽的侧壁，使得栅网不易脱落，拆卸栅网时向上拔起插销，就能取出栅网，极大了增加了工作效率。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本实用新型的结构示意图。
27.图2为本实用新型图1中a处的放大图。
28.图中数字和字母所表示的相应部件名称：
29.1、栅网套筒；2、升降槽；3、轴承；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、减速栅；7、加速栅；8、屏栅；9、固定托；10、固定通槽；11、固定销；12、固定套筒；13、滑块；14、弹簧；15、拉杆；16、固定座；17、卡凸；18、卡槽；19、台沿；20、紧固螺栓。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.实施例
32.如图1至2所示，一种高稳定性能离子原栅网装置，包括：栅网套筒1，栅网套筒1内从下到上依次设有屏栅8、加速栅7以及减速栅6；承载于栅网套筒1用于调节栅网间距的调节机构；以及，一端连接于螺纹套5且另一端连接于屏栅8与减速栅6的固定组件。
33.具体的，调节机构包括：开设于栅网套筒1上下两侧的升降槽2、嵌设于升降槽2侧壁的轴承3、位于升降槽2且设于轴承3内圈的螺纹杆4、以及套设于螺纹杆4的螺纹套5；固定组件包括：设置于各个栅网外周的固定托9、开设于屏栅8和减速栅6外周的固定托9的固定通槽10、设置于固定通槽10的固定销11、以及一端连接于固定销11且另一端连接于螺纹套5的拉紧组件，将固定销11穿过固定通槽10并插接在拉紧组件上，拉紧组件将固定销11向两侧拉动从而固定栅网，实现了快速安装屏栅8和离子栅，增加了更换效率。
34.其中，拉紧组件包括：固定连接于螺纹套5的固定套筒12、活动连接于固定套筒12内腔的滑块13、连接于滑块13的拉杆15、套设于拉杆15的弹簧14、以及连接于拉杆15远离滑块13一端的固定座16，固定销11插接于固定座16，弹簧14的一端抵接于滑块13且另一端抵接于套筒，安装时栅网时，拉动拉杆15至通槽的下方，弹簧14收尾并抵紧滑块13，之后将固定销11插接于固定座16，弹簧14的复位力使拉杆15带动固定销11抵紧固定通槽10的侧壁，使的栅网不易脱落；拆卸栅网时向上拔起插销，就能取出栅网，极大了增加了工作效率。
35.进一步的，固定座16设置有与卡槽18相适配的卡凸17，固定销11插接在固定座16时不易松动和脱落，增加了稳定性，栅网套筒1的内壁设置有台沿19，台沿19设置有紧固螺栓20，加速栅7通过紧固螺栓20连接于台沿19。
36.进一步的，升降槽2内嵌设有两个轴承3，螺纹杆4固定连接于两个轴承3的内圈，螺纹杆4转动时更加稳定，固定通槽10的形状为矩形，固定通槽10的宽度至少为固定销11的两倍，便于固定销11插入固定通槽10，螺纹的位于升降槽2的内部，螺纹杆4远离轴承3的一端不高于升降槽2的开口，正常使用时不会误触螺纹杆4导致转动，增加了装置的可靠性，使用内六角扳手能够转动螺纹杆4。
37.使用时，通过转动螺纹杆4，螺纹杆4通过轴承3与栅网套筒1相对转动并与螺纹套5配合形成螺纹传动，从而带动螺纹套5上下运动，轴承3的数量为两个，从而能够控制屏栅8和减速栅6上下运动，由于屏栅8和减速栅6位于加速栅7的两侧，所以通过调节屏栅8和减速栅6上下运动能够控制三组栅网之间的间距，安装时栅网时，拉动拉杆15至通槽的下方，弹簧14收尾并抵紧滑块13，之后将固定销11插接于固定座16，弹簧14的复位力使拉杆15带动固定销11抵紧固定通槽10的侧壁，使得栅网不易脱落，拆卸栅网时向上拔起插销取出栅网。
38.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。