技术特征：
1.一种侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，包括下列步骤：获取第一填充件、第二填充件、防粘膜、若干氮化铝生瓷片和金属盖板；将所述氮化铝生瓷片进行叠片，形成层叠体，所述层叠体中形成有主腔体和侧面腔体，同时，所述第一填充件填充在所述侧面腔体中，所述第二填充件填充件填充在所述主腔体中；所述层叠体的顶层为所述金属盖板，所述金属盖板开设有空腔，其开腔尺寸与所述主腔体相同，所述金属盖板的上表面与所述第二填充件的上表面齐平；所述防粘膜设于所述金属盖板与所述氮化铝生瓷片之间；将所述层叠体真空包封后层压成型，获得生瓷坯；去除所述生瓷坯中的第一填充件、第二填充件、防粘膜和金属盖板；烧结所述生瓷坯，制得侧面开腔的氮化铝多层陶瓷。2.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，所述第一填充件为金属材质且表面进行防粘处理，所述第二填充件为橡胶材质。3.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，所述叠片在叠压板上进行，所述叠压板上设有定位销，所述氮化铝生瓷片、第二填充件、防粘膜和金属盖板上设有定位孔，所述定位孔与所述定位销配合。4.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，所述金属盖板的厚度在200-400μm之间。5.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，所述第二填充件的外形尺寸比所述主腔体的单边尺寸小0.10-0.15mm。6.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，所述第一填充件的长度方向l的尺寸与所述侧面腔体相同，其宽度方向w和厚度方向h的尺寸比所述侧面腔体的宽度和高度尺寸分别小0.05mm-0.10mm。7.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，所述层压成型采用热等静压成型，所述热等静压成型的预热温度为40-65℃，等静压压力为6mpa-14mpa，保压时间为300-500s。8.如权利要求1所述的侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，其特征在于，去除所述第一填充件时，于60-70℃预热15-20min后取出。9.一种侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷，其特征在于，采用如权利要求1-8任一项所述的制作方法制得。
技术总结
本发明公开了一种侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷的制作方法，主要步骤有：将所述氮化铝生瓷片进行叠片，形成层叠体，层叠体中形成有主腔体和侧面腔体，同时，第一填充件填充在所述侧面腔体中，第二填充件填充件填充在所述主腔体中；真空包封后层压成型；去除第一填充件和第二填充件等，最后再烧结获得侧面腔体结构的氮化铝多层陶瓷。该制作方法能够很好的防止腔体变形，并且可操作性高，层压后产品状态良好，方便后期陶瓷-金属的焊接。金属的焊接。金属的焊接。
技术研发人员：王宁 张志成 高磊 计雨辰
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十三研究所
技术研发日：2022.01.07
技术公布日：2022/5/20