一种取放结构、固晶设备及其工作方法与流程

1.本发明涉及一种半导体自动一体化设备领域，具体为一种取放结构、固晶设备。


背景技术：

2.随着科技的迅速发展以及半导体材料不断的新生，信息技术产业日益飞黄，半导体自动一体化设备孕育而生，设备不仅减少了劳动成本，提高资源的利用，也极大提高了生产效率。设备在日常使用中能够给人们提供方便，但是，仍具有以下不足：传统的半导体自动一体化设备由一条摆臂和一组上下运动z轴机构组成，吸取一颗芯片,固晶完成以后，才能取下一颗芯片，产能效率低，因此我们对此做出改进，提出一种取放结构、固晶设备。


技术实现要素：

3.为解决现有技术存在的产能效率低的缺陷，本发明提供一种取放结构、固晶设备。
4.为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：
5.本发明一种取放结构，包括工作台，工作台的两端对称设有取放固晶机构，取放固晶机构包括设置于工作台上方的主轴旋转电机和设置于工作台下方的安装架，主轴旋转电机的输出端穿插过工作台与安装架连接，安装架的两侧对称设有音圈电机，音圈电机的输出端设有安装座，安装座上设有摆臂；所述工作台上还设有多个视觉ccd和控制电磁阀，多个视觉ccd分布于取放固晶机构的两侧。
6.作为本发明的一种优选技术方案，所述安装座的一端设有安装板，安装板的中部设有第一安装孔，摆臂的一端设有第一连接板，连接板的中部设有第一连接孔，第一安装孔与第一连接孔经转轴穿插连接。
7.作为本发明的一种优选技术方案，所述安装座内经转轴连接有复位板，复位板的一端设有固定柱，固定柱上设有两个第一弹簧，两个第一弹簧的端部分别与安装座两侧的内壁连接，复位板的另一端穿插过安装座的一端至外部，且复位板的另一端设有第二安装孔，第一连接板的一端设有第二连接板，第二连接板的中部设有第二连接孔，第二安装孔与第二连接孔经转轴穿插连接。
8.作为本发明的一种优选技术方案，所述第一连接板的底部设有锁球槽，锁球槽内设有第二弹簧和定位球，定位球设置于第二弹簧的下方，安装板的一端设有与定位球相配合的半球槽。
9.作为本发明的一种优选技术方案，所述锁球槽呈圆柱状，锁球槽的内半径大于定位球的半径，锁球槽的开口呈圆形，锁球槽开口的半径小于定位球的半径。
10.作为本发明的一种优选技术方案，所述安装架的顶部设有线路孔。
11.作为本发明的一种优选技术方案，所述的两个音圈电机和两个摆臂以主轴旋转电机为轴线对称分布在工作平台的下方两侧。
12.作为本发明的一种优选技术方案，工作平台的下方设有归位原点感应器。
13.本发明一种固晶设备，包括如权利要求1-7任意一项所述的取放结构。
14.本发明还公开了一种上述取放结构、固晶设备的工作方法，包括如下步骤：
15.s1、启动主轴旋转电机，主轴旋转电机带动安装架转动，安装架带动两个音圈电机转动，从而带动摆臂转动至合适位置，其中一个摆臂上的吸嘴对芯片进行吸取。
16.s2、主轴旋转电机工作，带动安装架旋转180
°
，吸取芯片的摆臂转动至固晶位置，并进行固晶动作，另一摆臂转动至芯片吸取位置，并进行芯片吸取动作。
17.s3、在归位原点感应器的辅助下，主轴旋转电机回转180
°
，完成复位，摆臂重复上述操作，如此循环。
18.s4、在上述芯片吸取和固晶过程中，根据需要，启动音圈电机带动摆臂上下移动，从而调整摆臂的高度，配合完成芯片的取放、固晶过程。
19.与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
20.1、本发明的取放固晶机构包括设置于工作台上方的主轴旋转电机和设置于工作台下方的安装架，主轴旋转电机的输出端穿插过工作台与安装架连接，安装架的两侧对称设有音圈电机，音圈电机的输出端设有安装座，安装座上设有摆臂，通过利用双摆臂交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。
21.2、本发明通过利用第一连接板将摆臂与安装板铰接，且安装座内经转轴连接有复位板，复位板的一端设有固定柱，固定柱上设有两个第一弹簧，两个第一弹簧的端部分别与安装座两侧的内壁连接，复位板的另一端穿插过安装座的一端至外部，再利用第二连接板将摆臂与复位板铰接，摆臂在摆动过程中会带动第二连接板左右摆动，带动复位板的一端左右摆动，在第一弹簧的作用下，使得复位板复位，从而带动摆臂复位，使得摆臂具有抗震作用，不易在快速摆动中损坏，且提高其吸取芯片和固晶的稳定性，提高工作质量。
22.3、本发明通过在第一连接板的底部设有锁球槽，锁球槽内设有第二弹簧和定位球，定位球设置于第二弹簧的下方，安装板的一端设有与定位球相配合的半球槽，半球槽与定位球的配合有利于摆臂在偏转复位后快速稳定，避免其在惯性作用下持续振动，进一步提高其吸取芯片和固晶的稳定性，提高工作质量。
附图说明
23.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
24.图1是本发明一种取放结构、固晶设备的结构示意图；
25.图2是本发明一种取放结构、固晶设备的取放固晶机构的结构示意图；
26.图3是本发明一种取放结构、固晶设备的取放固晶机构另一角度的结构示意图；
27.图4是本发明一种取放结构、固晶设备的安装座的结构示意图；
28.图5是本发明一种取放结构、固晶设备的摆臂的结构示意图；
29.图6是本发明一种取放结构、固晶设备的安装座与摆臂连接结构的示意图；
30.图7是本发明一种取放结构、固晶设备的安装座内部的结构示意图。
31.图中：1、工作台；2、取放固晶机构；3、主轴旋转电机；4、安装架；5、音圈电机；6、安装座；7、摆臂；8、视觉ccd；9、控制电磁阀；10、线路孔；601、复位板；602、固定柱；603、第一弹簧；604、第一安装孔；605、安装板；606、第二安装孔；607、半球槽；701、第一连接板；702、第二连接板；703、第一连接孔；704、第二连接孔；705、锁球槽；706、第二弹簧；707、定位球。
具体实施方式
32.以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
33.实施例：如图1-3所示，本发明一种取放结构、固晶设备，包括工作台1，工作台1的两端对称设有取放固晶机构2，取放固晶机构2包括设置于工作台1上方的主轴旋转电机3和设置于工作台1下方的安装架4，主轴旋转电机3的输出端穿插过工作台1与安装架4连接，安装架4的两侧对称设有音圈电机5，音圈电机5的输出端设有安装座6，安装座6上设有摆臂7，两个音圈电机5和两个摆臂7以主轴旋转电机3为轴线对称分布在工作平台2的下方两侧，通过利用双摆臂7交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。摆臂7为中空结构，且摆臂7上设有多个通孔，降低其质量和摆动时的风阻，避免惯性和风阻造成摆臂7损坏。安装架4的顶部设有线路孔10，用于规整线路，必须主轴旋转电机3工作时对线路造成损坏。所述工作台1上还设有多个视觉ccd8和控制电磁阀9，用于控制摆臂7上喷嘴对于芯片的吸取和放置。多个视觉ccd8分布于取放固晶机构2的两侧，用于控制。工作平台2的下方设有归位原点感应器，用于摆臂7旋转180
°
后，回转复位过程中对其进行定位。
34.其中，如图4-6所示，所述安装座6的一端设有安装板605，安装板605的中部设有第一安装孔604，摆臂7的一端设有第一连接板701，连接板701的中部设有第一连接孔703，第一安装孔604与第一连接孔703经转轴穿插连接，连接第一连接板701与安装板605，使得摆臂7与安装座6连接，摆臂7能够转动。如图7所示，所述安装座6内经转轴连接有复位板601，复位板601的一端设有固定柱602，固定柱602上设有两个第一弹簧603，两个第一弹簧603的端部分别与安装座6两侧的内壁连接，复位板601的另一端穿插过安装座6的一端至外部，且复位板601的另一端设有第二安装孔606，第一连接板701的一端设有第二连接板702，第二连接板702的中部设有第二连接孔704，第二安装孔606与第二连接孔704经转轴穿插连接，摆臂7在摆动过程中会带动第一连接板701在安装板605上转动，第二连接板702左右摆动，带动复位板601的一端左右摆动，在第一弹簧603的作用下，使得复位板601复位，从而带动摆臂7复位，使得摆臂7具有抗震作用，不易在快速摆动中损坏，且提高其吸取芯片和固晶的稳定性，提高工作质量。
35.其中，所述第一连接板701的底部设有锁球槽705，锁球槽705内设有第二弹簧706和定位球707，定位球707设置于第二弹簧706的下方，第二弹簧706向外推动定位球707，锁球槽705呈圆柱状，锁球槽705的内半径大于定位球707的半径，锁球槽705的开口呈圆形，锁球槽705开口的半径小于定位球707的半径，在第二弹簧706的推动下，使得定位球707的一部分露出锁球槽705，安装板605的一端设有与定位球707相配合的半球槽607，摆臂7不发生偏转时，定位球707露出部分置于半球槽607内，摆臂7发生偏转时，定位球707脱离半球槽607，第二安装板606挤压定位球707，使其压缩第二弹簧706，并向锁球槽705内移动，当摆臂7在第一弹簧603的作用下复位时，定位球707在第二弹簧706的作用下复位，重新置于半球槽607，半球槽607与定位球707的配合有利于摆臂7在偏转复位后快速稳定，避免其在惯性作用下持续振动，进一步提高其吸取芯片和固晶的稳定性，提高工作质量。
36.基于上述的一种取放结构、固晶设备的工作方法，步骤如下：
37.s1、启动主轴旋转电机3，主轴旋转电机3带动安装架4转动，安装架4带动两个音圈电机5转动，从而带动摆臂7转动至合适位置，其中一个摆臂7上的吸嘴对芯片进行吸取。
38.s2、主轴旋转电机3工作，带动安装架4旋转180
°
，吸取芯片的摆臂7转动至固晶位置，并进行固晶动作，另一摆臂转动至芯片吸取位置，并进行芯片吸取动作。
39.s3、在归位原点感应器的辅助下，主轴旋转电机3回转180
°
，完成复位，摆臂7重复上述操作，如此循环。
40.s4、在上述芯片吸取和固晶过程中，根据需要，启动音圈电机5带动摆臂7上下移动，从而调整摆臂7的高度，配合完成芯片的取放、固晶过程。
41.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。