一种扫描式UV解胶机的制作方法

一种扫描式uv解胶机
技术领域
1.本发明涉及晶圆解胶技术领域，尤其涉及一种扫描式uv解胶机。


背景技术：

2.在针对晶圆进行切割等构装工艺前，通常会先将晶圆黏着于一胶膜上，胶膜外周缘固定于一金属材质的固定环框中，通过胶膜黏着固定晶圆，便于人们将晶圆进行转运和加工。等晶圆要进行后续工艺步骤时，再通过晶圆解胶装置的uv灯对黏着有晶圆的胶膜进行照射，降低胶膜上的固结胶对晶圆的黏着性，利用工艺设备自胶膜上取出晶粒进行预定的工艺步骤。
3.而现有的uv灯有两种，一种是led灯，一种是汞灯，虽然led灯在功耗等方面相比汞灯具有更好地效果，但是汞灯的发射光谱是连续的，从紫外到红外都有，特别是在uvb到短波的uva这一段的光强比较集中，而led灯的发射光谱比较窄，常见的是峰值为365nm和395nm的这两个波段。从而led灯在适应性上受到一定的限制，而汞灯更能够满足不同波段的使用需求，然而由于汞灯在使用前需要进行预热，从而汞灯无法进行频繁的开启和关闭，需要保持汞灯的持续工作，才能连续对晶圆进行扫描照射，同时还需要对连续工作的汞灯进行遮挡，以避免晶圆在去除时，汞灯的照射对工作人员或者是工作环境造成影响，而现有的uv解胶机无法满足汞灯的使用要求。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种扫描式uv解胶机，具有遮光组件，从而确保汞灯在连续工作情况下，不会影响人们将解胶好的晶圆取出。
5.本发明公开的一种扫描式uv解胶机所采用的技术方案是:
6.一种扫描式uv解胶机，包括机柜、所述机柜表面开设有通光口，所述通光口上方设有放置板，所述放置板中部开设有贯穿的扫描窗，所述通光口两侧设有轨道组件，所述放置板与轨道组件滑动连接，所述机柜内部设有uv灯，所述uv灯对应通光口设置，所述uv灯与通光口之间设置遮光组件，所述遮光组件用于遮挡uv灯与通光孔之间的光通道。
7.作为优选方案，所述uv灯采用汞灯。
8.作为优选方案，所述机柜上方罩设有机盖，所述轨道组件设置于机盖内部，所述机盖对应轨道组件一端设有柜门，所述柜门一侧与机盖转动连接。
9.作为优选方案，所述轨道组件包括滑动槽、导轨、滑动座及推动装置，所述滑动槽和导轨相对设置于通光口两侧，所述滑动座滑动设置于滑动槽内，且所述推动装置用于推动滑动座沿滑动槽滑动，所述放置板一侧与滑动座固定连接，另一侧通过滑套设于导轨上方，所述滑套与导轨滑动连接。
10.作为优选方案，所述推动装置包括第一皮带轮、第二皮带轮、传送带及电机，所述第一皮带轮和第二皮带轮分别设置于滑动槽两端，且所述第一皮带轮和第二皮带轮与滑动槽转动连接，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过传送带传动连接，所述滑动座与传送带上
端固定连接，所述电机与第一皮带轮固定连接。
11.作为优选方案，所述遮光组件包括箱体、第一遮光板、第二遮光板及气缸，所述箱体设置于通光孔下方，所述箱体上端为开口状，所述uv灯设置于箱体内部，所述uv灯两端设有安装板，所述第一遮光板和第二遮光板的两端通过转动杆与安装板转动连接，所述第一遮光板和第二遮光板的转动杆一端穿过安装板设有齿轮，两个所述齿轮之间分别设有第一齿条和第二齿条，所述第一齿条和第二齿轮分别与第一遮光板和第二遮光板对应的齿轮啮合，所述气缸固定于齿条下方，所述气缸的输出轴通过连接板与第一齿条和第二齿条固定连接。
12.作为优选方案，所述箱体上方设有石英玻璃，所述石英玻璃通过支架固定于箱体与通光孔之间。
13.作为优选方案，所述箱体侧面开设有若干个进风口，所述箱体下方设有风机，所述风机的进风端与箱体连通，所述风机的出风端通过通风管道延伸至机柜外部。
14.作为优选方案，所述uv灯下方设有灯罩，所述灯罩靠近uv灯一面的垂直截面为圆弧，所述灯罩远离uv灯一面设有若干个散热鳍片。
15.作为优选方案，所述机柜侧面设有若干个排气扇。
16.本发明公开的一种扫描式uv解胶机的有益效果是：在机柜内部设有uv灯，且机柜表面开设有与uv灯对应的通光口，并且在通光口上方设有放置板，可将晶圆放置于放置板上，并且晶圆对应放置板上的扫描窗，通过通光口两侧的轨道组件带动放置板沿轨道组件进行滑动，从而将放置板上的晶圆从一端到另一端依次经过通光口，利用通光口下方的uv灯对晶圆进行扫描解胶，确保晶圆能够确保匀速通过uv灯上方，使晶圆的解胶能够更加均匀，而在uv灯与通光口之间设有遮光组件，可通过遮光组件起到遮挡uv灯与通光孔之间的光通道，从而避免uv灯的光线从通光孔射出，导致晶圆扫描解胶完成后，取出过程中，uv灯对工作人员造成影响的情况出现，通过遮光组件确保了如果uv灯使用汞灯时，可确保汞灯能够持续保持使用，而不需要工作人员取出和放入晶圆时，汞灯进行关闭，并且当uv灯使用led灯时，可将遮光组件保持常开状态，也能够满足采用led灯对晶圆进行解胶的使用。
附图说明
17.图1是本发明一种扫描式uv解胶机的结构示意图。
18.图2是本发明一种扫描式uv解胶机的加装机盖结构示意图。
19.图3是本发明一种扫描式uv解胶机的推动装置结构示意图。
20.图4是本发明一种扫描式uv解胶机的遮光组件结构示意图。
21.图5是本发明一种扫描式uv解胶机的另一角度结构示意图。
具体实施方式
22.下面结合具体实施例和说明书附图对本发明做进一步阐述和说明:
23.请参考图1和图4，一种扫描式uv解胶机，包括机柜10、机柜10表面开设有通光口101，通光口101上方设有放置板11，放置板11中部开设有贯穿的扫描窗111，通光口101两侧设有轨道组件20，放置板11与轨道组件20滑动连接，机柜10内部设有uv灯12，uv灯12对应通光口101设置，uv灯12与通光口101之间设置遮光组件30，遮光组件30用于遮挡uv灯12与通
光孔之间的光通道。
24.在机柜10内部设有uv灯12，且机柜10表面开设有与uv灯12对应的通光口101，并且在通光口101上方设有放置板11，可将晶圆放置于放置板11上，并且晶圆对应放置板11上的扫描窗111，通过通光口101两侧的轨道组件20带动放置板11沿轨道组件20进行滑动，从而将放置板11上的晶圆从一端到另一端依次经过通光口101，利用通光口101下方的uv灯12对晶圆进行扫描解胶，确保晶圆能够确保匀速通过uv灯12上方，使晶圆的解胶能够更加均匀。
25.而在uv灯12与通光口101之间设有遮光组件30，可通过遮光组件30起到遮挡uv灯12与通光孔之间的光通道，从而避免uv灯12的光线从通光孔射出，导致晶圆扫描解胶完成后，取出过程中，uv灯12对工作人员造成影响的情况出现，通过遮光组件30确保了如果uv灯12使用汞灯时，可确保汞灯能够持续保持使用，而不需要工作人员取出和放入晶圆时，汞灯进行关闭，并且当uv灯12使用led灯时，可将遮光组件30保持常开状态，也能够满足采用led灯对晶圆进行解胶的使用。
26.上述方案中，uv灯12采用汞灯，用于汞灯相比led灯具有更宽的光谱比，从而采用汞灯能够更好地对晶圆进行解胶。
27.请参考图2，机柜10上方罩设有机盖13，轨道组件20设置于机盖13内部，机盖13对应轨道组件20一端设有柜门131，柜门131一侧与机盖13转动连接，通过机盖13可对机柜10上方对应的轨道组件20进行覆盖保护，确保晶圆在进行解胶时，不会受到外界的影响，同时也避免uv灯12对加工环境的影响，而柜门131与机盖13转动连接，人们可通过开启柜门131将晶圆放置于放置板11上，再关闭柜门131，使晶圆在机盖13内部进行扫描解胶。
28.请再参考图1,，轨道组件20包括滑动槽21、导轨22、滑动座23及推动装置24，滑动槽21和导轨22相对设置于通光口101两侧，滑动座23滑动设置于滑动槽21内，且推动装置24用于推动滑动座23沿滑动槽21滑动，放置板11一侧与滑动座23固定连接，另一侧通过滑套25设于导轨22上方，滑套25与导轨22滑动连接。
29.请参考图3,推动装置24包括第一皮带轮241、第二皮带轮242、传送带243及电机244，第一皮带轮241和第二皮带轮242分别设置于滑动槽21两端，且第一皮带轮241和第二皮带轮242与滑动槽21转动连接，第一皮带轮241和第二皮带轮242通过传送带243传动连接，滑动座23与传送带243上端固定连接，电机244与第一皮带轮241固定连接。
30.通过电机244带动第一皮带轮241进行传动，使第一皮带轮241表面的传送带243也进行传动，从而与传送带243上端固定连接的滑动座23也跟随传送带243沿滑动槽21进行移动，带动放置板11也一同沿导轨22和滑动槽21进行滑动，并且通过控制电机244的正反转，实现放置板11不同方向的移动。
31.再请参考图4，遮光组件30包括箱体31、第一遮光板32、第二遮光板33及气缸34，箱体31设置于通光孔下方，箱体31上端为开口状，uv灯12设置于箱体31内部，uv灯12两端设有安装板35，第一遮光板32和第二遮光板33的两端通过转动杆36与安装板35转动连接，第一遮光板32和第二遮光板33的转动杆36一端穿过安装板35设有齿轮37，两个齿轮37之间分别设有第一齿条38和第二齿条39，第一齿条38和第二齿轮37分别与第一遮光板32和第二遮光板33对应的齿轮37啮合，气缸34固定于齿条下方，气缸34的输出轴通过连接板341与第一齿条38和第二齿条39固定连接。
32.当气缸34带动连接板341向上推动时，连接板341带动第一齿条38和第二齿条39也
一同向上移动，分别与第一齿条38和第二齿条39相互啮合的齿轮37，朝相互远离方向进行转动，从而带动第一遮光板32和第二遮光板33朝相互远离方向进行转动，起到开启光通道的作用，当气缸34带动连接板341向下移动时，第一齿条38和第二齿条39也一同向下移动，从而带动对应的齿轮37朝相互靠近方向进行转动，从而将第一遮光板32和第二遮光板33朝相互靠近方向进行转动，当第一遮光板32和第二遮光板33进行接触时，则起到关闭光通道的目的，对uv灯12起到遮挡的作用。
33.并且遮光组件30可与推动装置24起到联动配合的作用，当推动装置24带动放置板11进行扫描时，遮光组件30处于开启状态，当推动装置24带动放置板11完成扫描进行去除时，遮光组件30则处于关闭状态。
34.在箱体31上方设有石英玻璃14，石英玻璃14通过支架15固定于箱体31与通光孔之间，可通过石英玻璃14对uv灯12所发出的红外线进行过滤，避免红外线照射到晶圆，使晶圆发热。
35.箱体31侧面开设有若干个进风口311，箱体31下方设有风机16，风机16的进风端与箱体31连通，风机16的出风端通过通风管道161延伸至机柜10外部，通过风机16可将箱体31内部的空气抽出，且通过通风管道161排放至机柜10外部，而箱体31侧面的进风口311，可将机柜10内的空气补充至箱体31内，从而现实箱体31内部的空气流通，起到散热的目的，并且在本实施例中，风机16采用离心风机16的结构，更好地通过通风管道161将箱体31内的空气排出。
36.在uv灯12下方设有灯罩17，灯罩17靠近uv灯12一面的垂直截面为圆弧，灯罩17远离uv灯12一面设有若干个散热鳍片171，通过灯罩17可将uv灯12下方的光线朝向汇集，提高uv灯12的发光效果，并且在灯罩17表现还设有散热鳍片171，可提高灯罩17的散热能力，将灯罩17的热量散发到箱体31中，再通过箱体31下方的风机16将热量排出。
37.机柜10侧面设有若干个排气扇18，通过排气扇18可将外部的空气吸入到机柜10内，再通过箱体31表面的进风口311进入到箱体31内部，最后通过风机16排出机柜10，起到空气流通循环的作用，从而起到更好地散热效果。
38.本发明提供一种扫描式uv解胶机，在机柜内部设有uv灯，且机柜表面开设有与uv灯对应的通光口，并且在通光口上方设有放置板，可将晶圆放置于放置板上，并且晶圆对应放置板上的扫描窗，通过通光口两侧的轨道组件带动放置板沿轨道组件进行滑动，从而将放置板上的晶圆从一端到另一端依次经过通光口，利用通光口下方的uv灯对晶圆进行扫描解胶，确保晶圆能够确保匀速通过uv灯上方，使晶圆的解胶能够更加均匀，而在uv灯与通光口之间设有遮光组件，可通过遮光组件起到遮挡uv灯与通光孔之间的光通道，从而避免uv灯的光线从通光孔射出，导致晶圆扫描解胶完成后，取出过程中，uv灯对工作人员造成影响的情况出现，通过遮光组件确保了如果uv灯使用汞灯时，可确保汞灯能够持续保持使用，而不需要工作人员取出和放入晶圆时，汞灯进行关闭，并且当uv灯使用led灯时，可将遮光组件保持常开状态，也能够满足采用led灯对晶圆进行解胶的使用。
39.最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。