一种无水无氧的全封闭式SMIF装置的制作方法

一种无水无氧的全封闭式smif装置
技术领域
1.本实用新型属于半导体技术领域，具体为一种无水无氧的全封闭式smif装置。


背景技术：

2.目前，在半导体的制造过程中，晶圆输送对ic制造至关重要。为了确保晶圆在不同的制程间运送时的品质，避免晶圆受到尘粒或其它污染，越来越多的运送工作采用标准的运送容器，即采用了标准机械界面(standard mechanical interface,简称smif)技术。
3.传统的无水无氧的全封闭式smif装置在移动是产生的震动会对内部的电子元件造成一定的损伤，从而会影响无水无氧的全封闭式smif装置正常使用，且侧面板的防护效果较差，受到碰撞两侧的侧面板会凹陷甚至破损，安全防护效果较差。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种无水无氧的全封闭式smif装置，解决了传统的无水无氧的全封闭式smif装置在移动是产生的震动会对内部的电子元件造成一定的损伤，从而会影响无水无氧的全封闭式smif装置正常使用，且侧面板的防护效果较差，受到碰撞两侧的侧面板会凹陷甚至破损，安全防护效果较差的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种无水无氧的全封闭式smif装置，包括装置主体，所述装置主体的下方设置有防护底座，所述装置主体的底端滑动连接在防护底座的内壁，所述装置主体的下表面固定连接有四个防护齿板，所述防护底座内壁的正面通过销轴转动连接有四个防护齿轮，所述防护齿板的左侧面与防护齿轮的外表面相啮合，所述防护齿轮的正面固定连接有防护转杆，所述防护底座下表面的四角处均固定连接有万向轮，所述防护底座内壁的下表面开设有两个防护滑槽，所述防护滑槽的内壁滑动连接有两个防护滑块，两个防护滑块相互靠近的一面固定连接有同一个第一弹性伸缩杆，所述防护底座的正面开设有两个限位滑槽，所述限位滑槽的内壁滑动连接有防护滑板，所述防护滑板的下表面通过销轴转动连接有两个第一防护铰接杆。
8.作为本实用新型的进一步方案：所述装置主体的左侧面与右侧面均固定连接有四个限位伸缩杆，对应四个限位伸缩杆远离装置主体的一端固定连接有同一个防护侧板。
9.作为本实用新型的进一步方案：所述防护侧板的左侧面通过销轴转动连接有四个第二防护铰接杆，所述装置主体的左侧面与右侧面均开设有四个侧面防护限位槽。
10.作为本实用新型的进一步方案：所述侧面防护限位槽的内壁滑动连接有侧面防护板，所述装置主体的左侧面与右侧面均固定连接有四个第二弹性伸缩杆。
11.作为本实用新型的进一步方案：所述第二弹性伸缩杆的底端固定连接在侧面防护板的上表面，所述防护滑板的左右两端、防护转杆的底端和第二防护铰接杆的左端均通过轴承转动连接有防护滚轮。
12.作为本实用新型的进一步方案：所述第一防护铰接杆的底端通过销轴转动连接在防护滑块的上表面，所述防护滑板的左右两端与两个防护转杆的外表面紧密贴合。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
15.1、该无水无氧的全封闭式smif装置，通过设置有防护齿板、万向轮、防护滑槽、第一弹性伸缩杆和防护滑板，当该smif装置受到震动影响时会向下滑动，通过防护齿板和防护齿轮会带动万向轮旋转，两侧的万向轮带动防护滑板上升利用两侧的第一防护铰接杆带动对应的防护滑块向中部滑动压缩第一弹性伸缩杆，通过第一弹性伸缩杆的反作用力进行缓冲，从而减少震动对该smif装置内部电子元件所造成的损伤，保证该smif装置正常的使用寿命。
16.2、该无水无氧的全封闭式smif装置，通过设置有限位伸缩杆、防护侧板、第二防护铰接杆、侧面防护板和第二弹性伸缩杆，当该smif装置的侧面受到碰撞时，防护侧板在限位伸缩杆的限位下会向装置主体方向滑动，两侧的第二防护铰接杆挤压对应的侧面防护板，侧面防护板在侧面防护限位槽的限位下压缩对应的第二弹性伸缩杆，通过第二弹性伸缩杆的反作用力进行缓冲，从而减少碰撞对该smif装置侧面板所造成的损伤，从而提高该smif装置的自身防护效果。
附图说明
17.图1为本实用新型正视剖面的结构示意图；
18.图2为本实用新型防护齿板放大的结构示意图；
19.图3为本实用新型图1中a处放大的结构示意图；
20.图中：1装置主体、2防护底座、3防护齿板、4防护齿轮、5万向轮、6防护转杆、7防护滑槽、8防护滑块、9第一弹性伸缩杆、10限位滑槽、11防护滑板、12第一防护铰接杆、13限位伸缩杆、14防护侧板、15第二防护铰接杆、16侧面防护限位槽、17侧面防护板、18第二弹性伸缩杆、19防护滚轮。
具体实施方式
21.下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
22.如图1-3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种无水无氧的全封闭式smif装置，包括装置主体1，装置主体1的下方设置有防护底座2，装置主体1的底端滑动连接在防护底座2的内壁，装置主体1的下表面固定连接有四个防护齿板3，防护底座2内壁的正面通过销轴转动连接有四个防护齿轮4，防护齿板3的左侧面与防护齿轮4的外表面相啮合，防护齿轮4的正面固定连接有防护转杆6，防护底座2下表面的四角处均固定连接有万向轮5，防护底座2内壁的下表面开设有两个防护滑槽7，防护滑槽7的内壁滑动连接有两个防护滑块8，两个防护滑块8相互靠近的一面固定连接有同一个第一弹性伸缩杆9，防护底座2的正面开设有两个限位滑槽10，限位滑槽10的内壁滑动连接有防护滑板11，防护滑板11的下表面通过销轴转动连接有两个第一防护铰接杆12，通过设置有防护齿板3、万向轮5、防护滑槽7、第一弹性伸缩杆9和防护滑板11，当该smif装置受到震动影响时会向下滑动，通过防护齿板3和防护齿轮4会带动万向轮5旋转，两侧的万向轮5带动防护滑板11上升利用两侧的第一防
护铰接杆12带动对应的防护滑块8向中部滑动压缩第一弹性伸缩杆9，通过第一弹性伸缩杆9的反作用力进行缓冲，从而减少震动对该smif装置内部电子元件所造成的损伤，保证该smif装置正常的使用寿命。
23.具体的，如图2所示，装置主体1的左侧面与右侧面均固定连接有四个限位伸缩杆13，对应四个限位伸缩杆13远离装置主体1的一端固定连接有同一个防护侧板14，防护侧板14的左侧面通过销轴转动连接有四个第二防护铰接杆15，装置主体1的左侧面与右侧面均开设有四个侧面防护限位槽16,侧面防护限位槽16的内壁滑动连接有侧面防护板17，装置主体1的左侧面与右侧面均固定连接有四个第二弹性伸缩杆18，通过设置有限位伸缩杆13、防护侧板14、第二防护铰接杆15、侧面防护板17和第二弹性伸缩杆18，当该smif装置的侧面受到碰撞时，防护侧板14在限位伸缩杆13的限位下会向装置主体1方向滑动，两侧的第二防护铰接杆15挤压对应的侧面防护板17，侧面防护板17在侧面防护限位槽16的限位下压缩对应的第二弹性伸缩杆18，通过第二弹性伸缩杆18的反作用力进行缓冲，从而减少碰撞对该smif装置侧面板所造成的损伤，从而提高该smif装置的自身防护效果。
24.具体的，如图3所示，第二弹性伸缩杆18的底端固定连接在侧面防护板17的上表面，防护滑板11的左右两端、防护转杆6的底端和第二防护铰接杆15的左端均通过轴承转动连接有防护滚轮19,第一防护铰接杆12的底端通过销轴转动连接在防护滑块8的上表面，防护滑板11的左右两端与两个防护转杆6的外表面紧密贴合。
25.本实用新型的工作原理为：
26.s1、当该smif装置受到震动影响时会向下滑动，通过防护齿板3和防护齿轮4会带动万向轮5旋转，两侧的万向轮5带动防护滑板11上升利用两侧的第一防护铰接杆12带动对应的防护滑块8向中部滑动压缩第一弹性伸缩杆9，通过第一弹性伸缩杆9的反作用力进行缓冲；
27.s2、当该smif装置的侧面受到碰撞时，防护侧板14在限位伸缩杆13的限位下会向装置主体1方向滑动，两侧的第二防护铰接杆15挤压对应的侧面防护板17，侧面防护板17在侧面防护限位槽16的限位下压缩对应的第二弹性伸缩杆18，通过第二弹性伸缩杆18的反作用力进行缓冲，从而减少碰撞对该smif装置侧面板所造成的损伤。
28.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。