电阻板及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种电阻板及其制备方法。
【背景技术】
[0002]电阻板是传感器的重要原件，传统的油量传感器用电阻板的导体和电阻是采用电子浆料通过印刷烧结成型，产品的各项性能取决于电子浆料本身的特性。
[0003]由于油量传感器用电阻板长期工作在富含水、酒精、有机酸、硫化合物、氟素等腐蚀性化学成分下的环境中极易出现电阻和导体腐蚀，造成油量传感器用电阻板的耐久性较差。
【发明内容】
[0004]基于此，有必要提供一种耐久性较好的电阻板及其制备方法。
[0005]一种电阻板，包括绝缘基片以及分别设置在所述绝缘基片上的导体层和电阻层；
[0006]所述导体层和所述电阻层部分重叠，并且所述导体层和所述电阻层重叠的区域内所述电阻层覆盖所述导体层的部分表面；
[0007]所述电阻层上依次形成有抗耐湿层和树脂保护层，所述导体层不与所述电阻层重叠的区域内所述导体层上形成有抗腐蚀耐磨层。
[0008]在一个实施例中，所述绝缘基板为陶瓷绝缘基板，所述绝缘基板的厚度为0.2mm ?2mmο
[0009]在一个实施例中，所述导体层的材料为银、钯、金、银钯合金或银钯铂合金，所述导体层的厚度为5 μπι?30 μπι。
[0010]在一个实施例中，所述电阻层的材料为银、钯或钌化合物，所述电阻层的厚度为5 μ m ?30 μ m0
[0011]在一个实施例中，所述抗耐湿层的材料为钽氧化物、钛氧化物、铝氧化物、锆氧化物或娃氧化物，所述抗耐湿层的厚度为10nm?500nm。
[0012]在一个实施例中，所述树脂保护层的材料为环氧树脂，所述树脂保护层的厚度为10 μ m ?50 μ m。
[0013]在一个实施例中，所述抗腐蚀耐磨层的材料为镍、镍合金、钛、钛合金、钴或钴合金，所述抗腐蚀耐磨层的厚度为2 μπι?10 μπι。
[0014]一种上述的电阻板的制备方法，包括如下步骤:
[0015]通过厚膜印刷烧结成型工艺在在绝缘基片表面依次形成导体层和电阻层，其中，所述导体层和所述电阻层部分重叠；
[0016]所述电阻层通过激光修调取得阻值后，在所述电阻层上依次形成抗耐湿层和树脂保护层；以及
[0017]在所述导体层不与所述电阻层重叠的区域内，在所述导体层上形成抗腐蚀耐磨层O
[0018]在一个实施例中，所述抗耐湿层通过如下操作形成:通过薄膜沉积工艺在所述电阻层上沉积薄膜，完成后通过空气氧化法氧化薄膜，形成所述抗耐湿层。
[0019]在一个实施例中，所述抗耐湿层通过如下操作形成:在有氧氛围下，通过薄膜沉积工艺在所述电阻层上沉积薄膜，沉积完成后形成的氧化薄膜即为所述抗耐湿层。
[0020]这种电阻板通过抗耐湿层和树脂保护层双层保护工艺，提高了电阻层的耐湿和耐腐蚀性能，通过抗腐蚀耐磨层提高了导体层的耐腐蚀和耐久性能，从而使得这种电阻板应用于油量传感器时，能在复杂的工作环境中长期有效工作，耐久性较好。
【附图说明】
[0021]图1为一实施方式的电阻板的正面结构示意图；
[0022]图2为如图1所示的电阻板的X区域的截面的放大示意图；
[0023]图3为如图1所示的电阻板的制备方法的流程图。
【具体实施方式】
[0024]下面主要结合附图及具体实施例对电阻板及其制备方法作进一步详细的说明。
[0025]如图1所示的一实施方式的电阻板，包括绝缘基片10以及分别设置在绝缘基片10上的导体层20和电阻层30。
[0026]结合图2，导体层20和电阻层30部分重叠，并且导体层20和电阻层30重叠的区域内电阻层30覆盖导体层20的部分表面。
[0027]结合图1和图2，电阻层30上依次形成有抗耐湿层40和树脂保护层50，导体层20不与电阻层30重叠的区域内导体层20上形成有抗腐蚀耐磨层60。
[0028]本实施方式中，绝缘基板10为陶瓷绝缘基板，具体的，绝缘基板10的材料可以为纯度为96%?99.6%的Al2O3陶瓷基板。
[0029]绝缘基板10的厚度可以为0.2mm?2mm。
[0030]导体层20的材料为银、钯、金、银钯合金或银钯铂合金，导体层20的厚度为5 μ m ?30 μ m。
[0031]银钯合金中，银的质量比可以为25%?80%。银钯铂合金中，银的质量比可以为25%?50%，钯的质量比可以为20%?45%，铂的质量比可以为5%?25%。
[0032]电阻层30的材料为银、钯或钌化合物，电阻层30的厚度为5 μ m?30 μ m。钌化合物可以为氧化钌或钌酸盐。
[0033]抗耐湿层40的材料为钽氧化物、钛氧化物、铝氧化物、锆氧化物或硅氧化物，抗耐湿层40的厚度为10nm?500nm。钽氧化物可以为Ta2O5，钛氧化物可以为T12，铝氧化物可以为Al2O3，错氧化物可以为ZrO2，娃氧化物可以为Si02。
[0034]树脂保护层50的材料为环氧树脂，树脂保护层50的厚度为10 μ m?50 μ m。
[0035]抗腐蚀耐磨层60的材料为镍、镍合金、钛、钛合金、钴或钴合金，抗腐蚀耐磨层60的厚度为2 μ m?10 μ m。
[0036]这种电阻板通过抗耐湿层40和树脂保护层50双层保护工艺，提高了电阻层30的耐湿和耐腐蚀性能，通过抗腐蚀耐磨层60提高了导体层20的耐腐蚀和耐久性能，从而使得这种电阻板应用于油量传感器时，能在复杂的工作环境中长期有效工作，耐久性较好。
[0037]如图3所示的上述电阻板的制备方法，包括如下步骤:
[0038]S10、通过厚膜印刷烧结成型工艺在在绝缘基片10表面依次形成导体层20和电阻层30。
[0039]本实施方式中，绝缘基板10为陶瓷绝缘基板，具体的，绝缘基板10的材料可以为纯度为96%?99.6%的Al2O3陶瓷基板。绝缘基板10的厚度可以为0.2mm?2mm。
[0040]结合图1和图2，导体层20和电阻层30部分重叠。
[0041]导体层20为丝网印刷工艺形成的导体图案，材料为银、