具有折弯的光导波路的外部谐振器型激光器的制造方法_2

文档序号:9454984阅读:来源:国知局
周期决定的激光振动波长,体现出0.3nm/°C的振动波长变化。PBG光导波路30与激光二极管晶片10独立的,因此不变化激光二极管晶片10的特性,只以调节振动波长的手段使用PBG光导波路30的温度变化。但是,与其相同的PBG光导波路30,grating31区域的长度通常为3mm以上非常长,因此其存在问题为不能装配在如同直径为5.6mm高为2?3mm以内的TO型的超小型封装件。因此,现有的利用PBG的波长可变性激光为了易于收容图1的构造,利用蝶形封装件或迷你平板型封装件制作。
[0008]但是,蝶型封装件外壳每个价格为5?8万元左右价格非常高,迷你平板型封装件外壳每个价格也在4?6万元左右价格也非常高,因此是经济负担非常大的封装方法。
[0009]相比于上述,现有的低价半导体激光的封装方法使用了 TO can型封装件。图2是利用在现有使用的TO can型封装件,图示图1的利用PBG的可变波长激光器的组装图,图示了在现有的TO型激光二极管晶片散发的光直接结合到PBG光导波路过程的详细概念图。
[0010]在图2中,在激光二极管晶片10散发的光结合到PBG光导波路30之后,根据刻在光导波路30的光栅31,选择的波长的光反馈到激光二极管晶片10,将在激光二极管晶片10散发的激光波长锁定为被光导波路30的光栅31选择的波长。PBG的光导波路30对温度非常敏感来变化特性,因此为了与外部环境无关的变化波长,激光二极管晶片10与PBG光导波路30优选为配置在热电元件200上。
[0011]但是,现有技术光导波路30应该具有3mm以上的长度,根据适当光导波路光栅的波长选择性才可起到有效的作用。现有的TO can型封装件通常由直径6_以下的封装件构成,尤其是TO can型封装件的盖140的直径为4mm左右,优选为在PBG光导波路30放射的激光在TO can型封装件的中心轴被45度角反射镜300转换方向,放射到TO can型封装件外部,但是利用长度2mm以上的光导波路30,不可能在TO can型封装件的中心轴转换在光导波路30放射的激光方向。尤其是为了反射在光导波路30放射的激光的反射镜300的大小计算为0.5mm左右,在计算出激光二极管晶片10的长度为0.5mm左右的情况,只有在TO can型封装件中光波导30的长度为1mm,才可将在光导波路30放射激光有效地放射到TO can型封装件的中心轴。
[0012]因此,以现有的技术不可能将具有Imm以上光导波路长度的PBG型光导波路安装在直径6mm以下的TO can型封装件。直径6mm以下的TOcan型封装件规格,在安装TO can型光元件的SFP (small formfactor pluggable,小尺寸规格可插拔)型收发器是必须条件,因此为了制作可安装在现有的标准化的SFP型收发器光元件,应该使用直径为6_以下的TOcan封装件。
[0013](专利文献0001)韩国注册专利公报第10-0547897号(2006.01.23)

【发明内容】

[0014](要解决的问题)
[0015]本发明是为了解决上述现有技术的各种问题而提出的,本发明提外部谐振器型激光器构造的目的在于,在具有长度Imm以上的光导波路的PBG型可变波长激光器,使在光导波路放射的激光在TO can型封装件的中心轴脱离到TO can型封装件外部。
[0016]另外,本发明提供外部谐振器型激光器构造的另一目的在于,由一部分透射/ 一部分反射的构造制作倾斜镜,进而可稳定可变波长激光的波长。(解决问题的手段)
[0017]为达成上述目的,从在现有的直线型光导波路,本发明由折弯的光导波路形态制作PBG光导波路。
[0018]S卩,根据本发明的具有折弯的光导波路的外部谐振器型激光器,根据TO can型封装件的外部谐振器型激光器,在TO can型封装件配置半导体激光二极管晶片与设有光栅的光导波路,根据光导波路的光栅决定半导体激光的光波长,使光导波路的光射出面具有与光入射面相同的方向,来制作所述具有折弯的光导波路的外部谐振器型激光器。
[0019]所述光导波路的光入射面与所述光导波路的光射出面形成在一直线上或间隔设置在一直线上。
[0020]另外,在所述光射出面的前面配置45度角反射镜,使在光导波路的光射出面放射的激光的一部分或全部脱离TO can型封装件。
[0021]这时,透射所述45度角反射镜的成分的光经过波长选择性滤波器,但是在透射所述波长选择性滤波器光路与在波长选择性滤波器反射的光路上,分别配置用于监测光强度的光敏二极管,来比较流动于光敏二极管的各个的光电流,进而可掌握激光的波长,其中光敏二极管监测透射或反射所述波长选择性滤波器的光的强度。
[0022]在这里,所述波长选择性滤波器优选为基准滤波器或thin film filter (薄膜滤波器),其中thin film filter在考虑的波长范围体现单调增加或单调减少的特性。
[0023]另外,优选为在包括所述光栅的光导波路的部分还附着加热器,来调节局部温度。
[0024](发明的效果)
[0025]根据本发明的外部谐振器型激光器,由折弯的形状制作光导波路,在现有的直线型的光导波路中由光导波路的入射部分与射出部分之间的距离决定光导波路的长度,相反折弯形态的光导波路为光导波路的入射部分与射出部分的位置与光导波路的长度无关,因此与光导波路的入射部分位置与射出部分位置无关的决定光导波路的长度,进而光导波路的长度为1_以上的同时,设置光导波路的射出部分使其邻接于封装件的中心轴,通过其利用TO can型的封装件,可易于制作利用具有光栅的光导波路的外部谐振器型激光器。
【附图说明】
[0026]图1是现有的利用聚合物布拉格光栅的可变波长的外部谐振器半导体激光器的概念图。
[0027]图2是图示在现有的TO型激光二极管晶片散发的光直接结合到PBG光导波路过程的详细概念图。
[0028]图3是根据本发明设有光栅的折弯的光导波路形态。
[0029]图4是根据本发明光导波路的光入射面与光导波路的光射出面不配置在一直线上的情况的一示例。
[0030]图5是根据本发明光导波路的光入射面与光导波路的光射出面不配置在一直线上的情况的TO型封装件的平面图。
[0031]图6是根据本发明内装波长稳定化装置的具有折线型光导波路的外部谐振器型激光器形态。
[0032]图7是根据本发明图示具有折弯线型光导波路的外部谐振器型激光器形态,其可以知道精密的激光波长。
[0033](附图标记说明)
[0034]10:激光二极管晶片20:透镜
[0035]29:基板30、32:光导波路
[0036]31:光栅33:折弯的光导波路部分
[0037]300:45度角反射镜310:45度角部分反射镜
[0038]311:光导波路的光入射面312:光导波路的光射出面
[0039]400、410:波长选择性滤波器
[0040]500、510:监测光强度的光敏二极管
[0041]具体实施方法
[0042]以下,参照附图详细说明本发明优选实施例。
[0043]图3是根据本发明一实施例,图示设有光栅的折弯的光导波路的形态,在图3图示了折弯的光导波路32的光入射面311与光导波路32的光射出面312形成在一直线上的情况。但是,也没有必须将光导波路32的光入射面311与光射出面312配置在一直线上的理由,并且可实施各种变型例。在图3中,在激光二极管晶片10放射的光入射到光导波路32的光入射面311。通过光导波路光入射面311入射的光中,被刻在光导波路32的光栅31选择的波长的光的一部分反馈到激光二极管晶片10,在激光二极管晶片10放射的激光锁定为被光导波路32的光栅31选择的波长。锁
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