压缩力，始终保持输入镜座4和输出镜座3向固定端座2压紧的力，而微调装置中细牙螺纹副12又始终顶在固定端座2和输入镜座4之间，固定端座2和输出镜座3之间，统一旋转细牙螺纹副12就可以实现固定端座2和输入镜座4之间，以及固定端座2和输出镜座3之间的距离，而单个旋转所述细牙螺纹副12也可以实现倾斜角度的调节。
[0031]根据本发明一种光栗浦气体激光器的一个优选实施例，所述光桥5至少有三根，所述细牙螺纹副12至少有三根，所述螺栓13和弹簧15构成弹簧锁紧装置至少有三个。
[0032]根据本发明一种光栗浦气体激光器的另一个实施例，所述真空波导管1的外壁包裹有水冷套6，水冷套6外接有进水管8和出水管9，所述水冷套6通过进水管8填充冷却水7，通过出水管9释放冷却水7 ;所述输入镜座4和输出镜座3上均设置有水冷流道14，水冷流道14外接有水冷接头11，由水冷接头11填充冷却水。水冷套6和真空波导管1的外壁的间隙可以是2mm。
[0033]根据本发明一种光栗浦气体激光器的另一个实施例，所述输入耦合反射镜19螺纹连接在环形压电陶瓷21的末端，所述环形压电陶瓷21的首端设有电源控制线、窗口盖板23和窗口镜24，电源控制线通过航空插头22与外部电源连接，所述窗口盖板23、窗口镜24安装在真空波导管1的轴线上，输入耦合反射镜19的中部、位于真空波导管1的轴线位置处开有小孔20，栗浦光通过小孔20平行射入真空波导管1的谐振腔内。
[0034]所述窗口镜24可以用ZnSe晶体制作，并用0型橡胶圈密封，保证栗浦光(C02激光)大于99%的透过率。
[0035]根据本发明一种光栗浦气体激光器的另一个实施例，所述输出耦合镜25由锁紧环27和过渡压片26紧固。
[0036]根据本发明一种光栗浦气体激光器的另一个优选实施例，所述输出耦合镜25由石英基底镀膜构成，对栗浦光全反射，对太赫兹光具有较高的反射和一定的透射。锁紧环27是铜压环，过渡压片26为软质材料，可保护镀膜面不损伤。栗浦光聚焦后，焦点位于输入耦合反射镜的中央小孔处，在波导中传输反射后形成高斯分布。输入耦合反射镜19为镀金铜镜，曲率半径相对于腔长和波导内径优化。
[0037]根据本发明一种光栗浦气体激光器的另一个实施例，所述固定端座2和真空波导管1的外壁之间设置有0型密封圈，并且固定端座2是通过紧固螺钉固定安装在光桥5上。
[0038]根据本发明一种光栗浦气体激光器的另一个实施例，所述真空波导管1是真空金属管或石英玻璃管，真空金属管可采用铝管、不锈钢管等材料，高温烘烤除气后，内表面镀银增加反射率，降低损耗。使用石英玻璃时，管壁厚度较金属波导管薄。所述光桥5由殷钢制成，殷钢较小的热变形系数保证了两端固定端座之间的间距受到的热变形影响较小。
[0039]尽管这里参照本发明的多个解释性实施例对本发明进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变形和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。
【主权项】
1.一种光栗浦气体激光器，其特征在于:包括真空波导管(I)、光桥(5)、输入耦合反射镜(19)和输出耦合镜(25)，所述真空波导管(I)的两端分别通过固定端座(2)安装于光桥(5)上，所述输入耦合反射镜(19)通过输入镜座(4)安装在光桥(5)上，所述输出耦合镜(25)通过输出镜座(3)在安装在光桥(5)上，且输入耦合反射镜(19)和输出耦合镜(25)分别设置在真空波导管(I)的两端；所述固定端座(2)和输出镜座(3)之间、固定端座(2)和输入镜座⑷之间均是由焊接波纹管(17)密封连接，焊接波纹管(17)外侧周围均设置有微调装置和弹簧锁紧装置。2.根据权利要求1所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述微调装置为细牙螺纹副(12)，微调装置通过细牙螺纹副(12)上的螺纹调节固定端座(2)和输入镜座(4)之间，以及和输出镜座⑶之间的微距；所述弹簧锁紧装置由螺栓(13)以及弹簧(15)构成，弹簧锁紧装通过螺栓(13)螺纹以及弹簧(15)的复位弹力实现固定端座(2)和输入镜座(4)之间，以及和输出镜座(3)之间的位置锁紧。3.根据权利要求2所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述光桥(5)至少有三根，所述细牙螺纹副(12)至少有三根，所述螺栓(13)和弹簧(15)构成弹簧锁紧装置至少有三个。4.根据权利要求1所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述真空波导管(I)的外壁包裹有水冷套(6)，水冷套(6)外接有进水管(8)和出水管(9)，所述水冷套(6)通过进水管(8)填充冷却水(7)，通过出水管(9)释放冷却水(7);所述输入镜座(4)和输出镜座(3)上均设置有水冷流道(14)，水冷流道(14)外接有水冷接头(11)，由水冷接头(11)填充冷却水。5.根据权利要求1所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述输入耦合反射镜(19)螺纹连接在环形压电陶瓷(21)的末端，所述环形压电陶瓷(21)的首端设有电源控制线、窗口盖板(23)和窗口镜(24)，电源控制线通过航空插头(22)与外部电源连接，所述窗口盖板(23)、窗口镜(24)安装在真空波导管(I)的轴线上，输入耦合反射镜(19)的中部、位于真空波导管(I)的轴线位置处开有小孔(20)，栗浦光通过小孔(20)平行射入真空波导管(I)的谐振腔内。6.根据权利要求1所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述输出耦合镜(25)由锁紧环(27)和过渡压片(26)紧固。7.根据权利要求6所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述输出耦合镜(25)由石英基底镀膜构成，锁紧环(27)是铜压环，过渡压片(26)为软质材料，输入耦合反射镜(19)为镀金铜镜。8.根据权利要求1所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述固定端座(2)和真空波导管(I)的外壁之间设置有O型密封圈，并且固定端座(2)是通过紧固螺钉固定安装在光桥(5)上。9.根据权利要求1所述的一种光栗浦气体激光器，其特征在于:所述真空波导管(I)是真空金属管或石英玻璃管，所述光桥(5)由殷钢制成。
【专利摘要】本发明涉及激光技术领域，具体涉及一种光泵浦气体激光器，包括真空波导管(1)、光桥(5)、输入耦合反射镜(19)和输出耦合镜(25)，所述真空波导管(1)的两端分别通过固定端座(2)安装于光桥(5)上，所述固定端座(2)和输出镜座(3)之间、固定端座(2)和输入镜座(4)之间均是由焊接波纹管(17)密封连接，焊接波纹管(17)外侧周围均设置有微调装置和弹簧锁紧装置。本发明实现了气体激光器的纵模选择，实现精密微调，保证激光器的输出光束质量，又可以使结构紧凑、提高稳定性，具有极好的精度、线性度、稳定性和重复定位性，并且整个设备刚度高。
【IPC分类】H01S3/101, H01S3/02, H01S3/041, H01S3/091
【公开号】CN105244742
【申请号】CN201510744351
【发明人】王度, 周逊, 孔维鹏, 严强, 杨存榜
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年11月4日