基板容纳容器、加载端口装置以及基板处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及容纳半导体晶片、光掩模用的玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、光盘用基板等(以下仅称为“基板”)的基板容纳容器、能够应用于该基板容纳容器的加载端口(load port)装置以及基板处理装置。
【背景技术】
[0002]以往，存在将基板以两种方式支撑的基板容纳容器(例如在日本特开2007-227941号公报公开)。该基板容纳容器具有框体、盖、搁板和缓冲器(cush1n)。框体能够容纳多个基板。盖相对于框体能够装卸。搁板和缓冲器设置在框体的内部。搁板以基板的下表面与搁板接触的状态来载置基板。缓冲器以基板与搁板分离且基板无法移动的状态来保持基板。这样，基板容纳容器以搁板支撑基板的方式以及缓冲器支撑基板的方式来支撑基板。
[0003]在盖从框体卸下时，搁板对基板进行支撑。由此，在基板容纳器的外部设置的外部搬送机构能够搬出基板容纳容器内的基板或向基板容纳容器内搬入基板。在盖安装在框体上时，缓冲器对基板进行支撑。由此，在输送基板容纳容器时能够适当地保护基板。这样，搁板支撑基板的方式和缓冲器支撑基板的方式因盖相对于框体的装卸而相互切换。
[0004]但是，在具有这种结构的以往例的情况下，发明者发现存在如下的问题。
[0005]S卩，存在如下情况:即使盖从基板容纳容器离开，缓冲器也保持着基板，基板不从缓冲器脱离。其原因在于，认为存在在缓冲器的表面上形成的损伤、在缓冲器上堆积的缓冲器和基板的摩耗粉等。
[0006]在盖从基板容纳容器离开时而基板不从缓冲器脱离的情况下，基板无法恰当地载置在搁板上，无法适当地确保基板彼此的间隔。因此，外部搬送机构难以进入基板彼此的间隙，难以搬出基板容纳容器内的基板。另外，在盖从基板容纳容器离开时基板不从缓冲器脱离的情况下，基板的移动被缓冲器限制。例如，基板被缓冲器卡住而难以移动。因此，外部搬送机构难以保持基板，难以搬出基板容纳容器内的基板。
【发明内容】
[0007]本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于能够恰当地允许基板的搬出的基板容纳容器、加载端口装置以及基板处理装置。
[0008]本发明为了实现上述目的，而采用如下的结构。
[0009]S卩，本发明的基板容纳容器，其中，所述容器具有:
[0010]框体，在该框体的内部能够容纳基板，且在该框体的前表面具有开口，
[0011]搁板构件，设置在所述框体的内部，用于与基板的下表面接触，将基板载置为大致水平姿势，
[0012]框体用支撑构件，设置在所述框体的内部，用于对基板的端部进行支撑，
[0013]移动机构，设置在所述框体的内部，用于使基板移动，
[0014]盖，能够相对于所述框体装卸，来对所述开口进行开闭，
[0015]盖用支撑构件，安装在所述盖的后面表，用于对基板的端部进行支撑；
[0016]所述框体用支撑构件具有将基板的端部支撑为不能向上方移动的约束部，
[0017]在所述盖安装在所述框体上的状态下，所述框体用支撑构件和所述盖用支撑构件以基板的下表面不与所述搁板构件接触的状态夹持基板的端部，且所述框体用支撑构件利用所述约束部对基板的端部进行支撑，
[0018]在所述盖从所述框体离开时，所述移动机构使由所述约束部支撑的基板移动，来使基板的端部从所述约束部脱离，使基板以大致水平姿势载置在所述搁板构件上。
[0019]在盖安装在框体上的状态下，框体用支撑构件以及盖用支撑构件分别支撑基板的端部。特别是，框体用支撑构件利用约束部对基板的端部进行支撑。由此，框体用支撑构件和盖用支撑构件夹持基板。在盖从框体离开的状态下，搁板构件载置基板。
[0020]在盖从框体离开时，移动机构使由约束部支撑的基板移动。即，移动机构使基板的端部从约束部脱离。由此，基板能够向上方移动。进而，移动机构将基板以大致水平姿势载置在搁板构件上。由此，适当确保基板间的在上下方向上的间隙。因此，在盖从框体脱离的状态下，在基板容纳容器的外部设置的搬送机构能够恰当进入例如基板容纳容器内，能够恰当保持基板容纳容器内的基板。这样，基板容纳容器能够允许恰当搬出基板容纳容器内的基板。
[0021]此外，移动机构既可以使未由约束部支撑的基板移动，也可以不使未由约束部支撑的基板移动。在此，“未由约束部支撑的基板”例如是与盖离开的同时，自然地(利用自重)从约束部脱离的基板。
[0022]另外，直到基板以大致水平姿势载置在搁板构件上为止，移动机构既可以与基板持续接触，也可以不持续接触。即，如果能够使基板以大致水平姿势载置在搁板构件上，则可以在基板以大致水平姿势载置在搁板构件上之前，移动机构从基板离开。
[0023]进而，在盖从框体离开的状态下，框体用支撑构件既可以利用除了约束部以外的部位与基板接触，也可以使框体用支撑构件整体与基板分离。
[0024]在上述的发明中，优选所述移动机构具有能够弹性变形的弹性构件，在所述盖安装在所述框体上的状态下，所述弹性构件以能够利用所述约束部对基板进行支撑的方式进行弹性变形，在所述盖从所述框体离开时，所述弹性构件通过进行回复来使基板移动。移动机构具有弹性构件，因此无需使移动机构另外具有用于使基板移动的机构。因此，能够使移动机构的结构简化、小型化。
[0025]在上述的发明中，优选所述移动机构具有使所述盖相对于所述框体的移动和所述弹性构件的弹性变形连动的连杆构件。连杆构件利用盖的装卸时的移动，来使弹性构件动作。因而，能够使移动机构的结构更简化、小型化。
[0026]在上述的发明中，优选所述弹性构件能够与基板直接接触。能够使移动机构的结构进一步简化。
[0027]在上述的发明中，优选所述移动机构还具有接触构件，该接触构件与所述弹性构件连结，并且能够与基板直接接触。接触构件是与弹性构件不同的构件，弹性构件不会与基板直接接触。因而，能够良好地保护基板。
[0028]在上述的发明中，优选所述基板容纳容器具有将所述接触构件的移动方向限制在一个方向上的引导构件。在盖从框体离开时，接触构件能够使基板恰当地移动。由此，基板容纳容器能够更适宜地允许基板的搬出。
[0029]在上述的发明中，优选所述基板容纳容器具有限制构件，该限制构件规定所述移动机构的可动范围，使得所述移动机构带动基板移动的范围恒定。限制构件使移动机构对基板的移动范围恒定。由此，能够使在盖从框体离开时的基板的位置恒定。换言之，能够防止每当盖从框体离开时基板的位置出现偏差。由此，基板容纳容器能够更适宜地允许基板的搬出。
[0030]在上述的发明中，优选所述移动机构具有:
[0031]气体动作部，利用气体的供给以及排出进行动作；
[0032]连接口，能够与基板容纳容器的外部设备连接；
[0033]气体流路，连接所述气体动作部和所述连接口。
[0034]由于移动机构具有气体动作部，所以能更精细地管理基板的移动。此外，“外部设备”是在基板容纳容器的外部设置的设备。
[0035]在上述的发明中，优选所述盖用支撑构件能够相对于所述盖升降。由于盖用支撑构件相对于盖升降，在盖用支撑构件和基板之间不滑动的情况下，盖用支撑构件使基板升降。由此，能够抑制基板和盖用支撑构件之间产生尘埃。
[0036]在上述的发明中，优选所述基板容纳容器具有使所述盖用支撑构件相对于所述盖升降的盖用升降机构。由于具有盖用升降机构，所以能够恰当地使盖用支撑构件升降。
[0037]在上述的发明中，优选所述基板容纳容器具有将所述盖固定在所述框体上的锁定机构，
[0038]所述盖用升降机构与所述锁定机构连动连结，所述盖用升降机构与所述锁定机构的动作连动来使所述盖用支撑构件相对于所述盖升降。
[0039]盖用升降机构能够利用锁定机构的动作来使盖用支撑构件升降。由此，能够使盖用升降机构的结构简化、小型化。
[0040]在上述的发明中，优选所述盖用升降机构与相对于所述框体装卸的所述盖的移动连动，来使所述盖用支撑构件相对于所述盖升降。盖用升降机构能够利用在装卸时的盖相对于框体的动作，来使盖用支撑构件升降。由此，能够使盖用升降机构的结构简化、小型化。
[0041]在上述的发明中，优选所述盖用支撑构件能够相对于所述盖在大致水平方向上移动。在盖安装在框体上的状态下，框体用支撑构件和盖用支撑构件能够更适宜地夹持基板。
[0042]在上述的发明中，优选所述盖用支撑构件的材质是具有弹性的树脂。盖用支撑构件能够与框体用支撑构件一起可靠地保持基板。
[0043]另外，本发明的加载端口装置，其中，
[0044]所述装置具有:
[0045]载置台，能够载置基板容纳容器，
[0046]盖开闭机构，对在所述载置台上载置的所述基板容纳容器的所述盖进行开闭；
[0047]所述基板容纳容器具有:
[0048]框体，在该框体的内部能够容纳基板，且在该框体的前表面具有开口，
[0049]搁板构件，设置在所述框体的内部，用于与基板的下表面接触，将基板载置为大致水平姿势，
[0050]框体用支撑构件，设置在所述框体的内部，用于对基板的端部进行支撑，
[0051]移动机构，设置在所述框体的内部，用于使基板移动，
[0052]盖，能够相对于所述框体装卸，来对所述开口进行开闭，
[0053]盖用支撑构件，安装在所述盖的后面表，用于对基板的端部进行支撑；
[0054]所述框体用支撑构件具有将基板的端部支撑为不能向上方移动的约束部，
[0055]在所述盖安装在所述框体上的状态下，所述框体用支撑构件和所述盖用支撑构件以基板的下表面不与所述搁板构件接触的状态夹持基板的端部，且所述框体用支撑构件利用所述约束部对基板的端部进行支撑，
[0056]在所述盖从所述框体离开时，所述移动机构使由所述约束部支撑的基板移动，来使基板的端部从所述约束部脱离，使基板以大致水平姿势载置在所述搁板构件上。
[0057]根据本发明的加载端口装置，能够适宜地载置上述的基板容纳容器。
[0058]另外，本发明的基板处理装置，其中，
[0059]所述基板处理装置具有:
[0060]载置台，能够载置基板容纳容器，
[0061]盖开闭机构，对在所述载置台上载置的所述基板容纳容器的所述盖进行开闭，
[0062]处理单元，对基板进行处理，
[0063]搬送机构，从在载置台上载置的所述基板容纳容器搬出基板，并向所述处理单元搬入基板；
[0064]所述基板容纳容器具有:
[0065]框体，在该框体的内部能够容纳基板，且在该框体的前表面具有开口，
[0066]搁板构件，设置在所述框体的内部，用于与基板的下表面接触，将基板载置为大致水平姿势，
[0067]框体用支撑构件，设置在所述框体的内部，用于对基板的端部进行支撑，
[0068]移动机构，设置在所述框体的内部，用于使基板移动，
[0069]盖，能够相对于所述框体装卸，来对所述开口进行开闭，
[0070]盖用支撑构件，安装在所述盖的后面表，用于对基板的端部进行支撑；
[0071]所述框体用支撑构件具有将基板的端部支撑为不能向上方移动的约束部，
[0072]在所述盖安装在所述框体上的状态下，所述框体用支撑构件和所述盖用支撑构件以基板的下表面不与所述搁板构件接触的状态夹持基板的端部，且所述框体用支撑构件利用所述约束部对基板的端部进行支撑，
[0073]在所述盖从所述框体离开时，所述移动机构使由所述约束部支撑的基板移动，来使基板的端部从所述约束部脱离，使基板以大致水平姿势载置在所述搁板构件上。
[0074]根据本发明的基板处理装置，能够对在上述的基板容纳容器容纳的基板进行处理。
【附图说明】
[0075]图1A是表示盖安装在框体上时的基板容纳容器的外观的立体图，图1B是表示盖未安装在框体上时的基板容纳容器的外观的立体图。
[0076]图2A是表示框体的内部的俯视图，图2B是表示框体的内部的侧视图，图2C是表示框体的内部的主视图。
[0077]图3A是表示盖以及盖用支撑构件的立体图，图3B是表示盖以及盖用支撑构件的侧视图。
[0078]图4A是基板处理装置的俯视图，图4B是基板处理装置的侧视图。
[0079]图5A、图5B、图5C是表示将盖相对于框体装卸时的基板容纳容器的内部的图。
[0080]图6是表示将盖从框体离开时的基板容纳容器的内部的图。
[0081]图7是表示实施例2的框体的内部的俯视图。
[0082]图8A、图8B、图8C是表示将盖相对于框体装卸时的基板容纳容器的内部的俯视图。
[0083]图9是表示实施例3的基板容纳容器和加载端口装置的放大侧视图。
[0084]图10A、图10B是表示实施例4的盖的主视图和侧视图。
[0085]图11A、图11B、图11C是表示将盖相对于框体装卸时的基板容纳容器的内部的侧视图。
[0086]图12A、图12B、图12C是表示将盖相对于框体装卸时的基板容纳容器的内部的侧视图。
[0087]图13A是表示实施例6的盖的后视图，图13B、图13C、图13D是表示实施例6的盖的侧视图。
[0088]图14A、图14B、图14C是表示将盖相对于框体装卸时的基板容纳容器的内部的侧视图。
[0089]图15A、图15B、图15C、图1?是表示变形实施例的盖的侧视图。
[0090]图16是表示变形实施例的框体的内部的俯视图。
[0091]图17是表示变形实施例的框体的内部的俯视图。
[0092]图18是表示变形实施例的基板容纳容器和加载端口装置的放大侧视图。
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