一种四极质谱仪的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种四极质谱仪，包括离子发生机构、四极杆过滤机构、离子检测机构和支撑连接机构；离子发生机构中产生气相离子，气相离子经引出、加速和聚焦后射入四极杆中；四极杆上直流和交流电压重叠，使得相对应质荷比的离子穿过并被法拉第杯检测，从而获得气体的成分和残量；四极杆质谱仪的结构和电路相对其它质谱仪简单，成本也相对低廉。
【专利说明】
一种四极质谱仪
技术领域
[0001]本发明涉及真空设备领域，特别是一种四极质谱仪。
【背景技术】
[0002]质谱法目前广泛应用于各个学科领域中，其通过制备、分离、检测气相离子来鉴定化合物。质谱法在一次分析中可提供丰富的结构信息，将分离技术与质谱法相结合是分离科学方法中的一个突破性进展。在众多分析测试方法中，质谱法被认为是一种同时具备高特异性和高灵敏度且得到了广泛应用的普适性方法。目前国内外用于物质的质量分析均采用质谱技术，质谱仪器是当今科学仪器中发展前景最好的科学仪器之一，而四极杆质谱仪(又称四极质谱仪)是目前最成熟的小型质谱仪之一，其结构简单，重量较轻。仅要求离子入射能量小于某一上限，不要求入射离子实现能量聚焦，从而可引入结构简单、高灵敏度的离子源，并且适用于具有一定能量分散的离子，如二次离子。扫描速度快，可通过调节电参量实现仪器灵敏度和分辨力的调整，同一台仪器可满足不同的分析要求，这些优点使得四极质谱仪从诞生开始就备受关注，并得到了迅速发展。如在对气体微量组分进行检测方面，由于四极质谱仪属于动态质谱，仅利用纯电场工作，无需涉及磁场，因此其仅要求较小的离子入射能量，扫描速度快，结果准确。在科学研究方面四极质谱仪已成为重要的工具，如可用四极质谱仪作为离子选择、方向聚焦的前级离子导引等。因此，四极质谱仪的研发具有重要意义。
[0003]在过去的二、三十年内，质谱已经变成分析化学领域最为核心的分析技术，尤其是对生物大分子的分析。目前，质谱的重要性甚至已经超过了传统的电泳技术和液相分离等技术，质谱通常也会和这些技术结合，组成联用分析技术成为分离和分析科学方法的一项重大突破。化合物完成质谱检测所需要消耗的样品量极少，约10-12克即可，这意味着化合物可以在极低通读的条件下被检测。目前比较有代表性的应用包括对运动员体内内固醇含量的检测、对于在手术中使用了麻醉术的病人的呼吸监测、对太空中发现的分子物种的组成的确定、通过测量石油分子母体含量而勘测岩石中的石油分布、生物科技工业中对发酵过程的检测等。
[0004]质谱仪的基本原理是:首先，待分析气体样品在离子源中发生电离，得到具有不同质荷比的带电荷的离子(正离子或负离子)，然后进入电场中，根据不同质荷比的离子在电场中运动轨迹的不同而实现分离，并且依次被检测，检测到的信号经过处理，最终得到包含样品各组成的不同质荷比以及不同质荷比组分的强度信息的质谱图。通过对质谱图的分析，可以得到样品中化学成分、各成分含量、化学结构等信息。
[0005]我国目前没有国产的四极质谱仪，这不仅严重束缚了我国自然科学研究的发展，也使我国的科学研究受制于国外，难有原创性科研成果。拥有我国自主知识产权的四极质谱仪迫不及待。
【发明内容】
[0006]本发明针对上述技术问题，提出一种高集成度的四极质谱仪。
[0007]为达到以上目的，通过以下技术方案实现的:
[0008]一种四极质谱仪，包括:离子发生机构、四极杆过滤机构、离子检测机构和支撑连接机构；
[0009]其特征在于:
[0010]离子发生机构包括:反射极网笼、阳极栅网笼、灯丝、聚焦板、灯丝供电杆、灯丝返回杆、聚焦板对齐杆A、聚焦板连接杆、阳极对齐杆和阳极连接杆；
[0011]其中，反射极网笼和阳极栅网笼均为单端开口的柱状网笼结构；
[0012]聚焦板为片状结构，其一侧端面经螺钉连接固定于氧化铝绝缘体A上；
[0013]阳极栅网笼的网笼开口端焊接有片状结构部分;反射极网笼罩置于阳极栅网笼外部，且反射极网笼的开口端与氧化铝绝缘体A固定形成将阳极栅网笼和聚焦板包裹在内的包裹罩体；
[0014]其中，灯丝供电杆和灯丝返回杆的一端依次穿过聚焦板和氧化铝绝缘体A，灯丝返回杆顶端经螺钉连接与反射极网笼上部相连；
[0015]灯丝环绕于阳极栅网外侧，且一端固定于灯丝供电杆上，另一端固定于灯丝返回杆上；
[0016]聚焦板对齐杆A穿过氧化铝绝缘体A预设的通孔内连接固定于聚焦板上；
[0017]聚焦板连接杆一端穿过氧化铝绝缘体A预设的通孔内最终连接固定于聚焦板上；
[0018]阳极连接杆一端穿过氧化铝绝缘体A预设的通孔后最终固定于阳极栅网笼的片状结构上；
[0019]阳极对齐杆穿过氧化铝绝缘体A预设的通孔内最终连接固定于阳极栅网笼的片状结构上；
[0020]阳极栅网笼经通过螺钉连接固定于阳极对齐杆和聚焦板对齐杆A伸出于氧化铝绝缘体A的端部；
[0021]四极杆过滤机构包括:四极杆A、四极杆B、四极杆C、四极杆D，射频固定压片A、射频固定压片B、氧化铝绝缘体B和聚焦对齐杆B;
[0022]其中，四极杆A、四极杆B、四极杆C和四极杆D相互平行放置，四极杆A、四极杆B、四极杆C和四极杆D通过螺钉固定于氧化铝绝缘体A和氧化铝绝缘体B之间；
[0023]射频固定压片A连接固定于四极杆A和四极杆C之间，射频固定压片B连接固定于四极杆B和四极杆D之间；
[0024]离子检测机构包括:固定于探头法兰内的简易电极A、简易电极B、简易电极C、简易电极D、简易电极E、简易电极F、简易电极G、简易电极H，法拉第杯，法拉第杯屏蔽罩，CEM高压连接杆，长射频杆，短射频杆，探头法兰，电极O，调整杆A和调整杆B;
[0025]法拉第杯屏蔽罩为一端开口的圆柱状筒且闭口端上焊有带孔圆盘。聚焦对齐杆B穿过氧化铝绝缘体B预设的通孔最终固定于法拉第杯屏蔽罩的圆盘上，经螺钉将氧化铝绝缘体B和法拉第杯屏蔽罩固定在一起;法拉第杯屏蔽罩罩置于法拉第杯外部，且与其同轴放置;法拉第杯另一端接电极0，电极O焊接在探头法兰预设孔内；CEM高压连接杆穿过氧化铝绝缘体B和法拉第杯屏蔽罩上圆盘预设孔经连接件与电极H相连;长射频杆一端穿过氧化铝绝缘体B及法拉第杯屏蔽罩上圆盘的预设孔，经螺钉连接固定于射频固定压片A上，短射频杆一端穿过氧化铝绝缘体B及法拉第杯屏蔽罩上圆盘的预设孔，经螺钉连接固定于射频固定压片B上；调整杆A和调整杆B经螺纹连接固定于探头法兰对应孔内，且位于电极A安装端面；
[0026]其中，阳极连接杆另一端依次穿过氧化铝绝缘体B和法拉第杯屏蔽罩最终通过连接件与电极B相连接;聚焦连接杆另一端依次穿过氧化铝绝缘体B和法拉第杯屏蔽罩最终通过连接件与电极E相连;聚焦对齐杆B的另一端固定于法拉第杯屏蔽罩的圆盘上;灯丝供电杆的另一端穿过氧化铝绝缘体B、法拉第杯屏蔽罩最终通过连接件与电极C相连;灯丝返回杆的另一端穿过氧化铝绝缘体B、法拉第杯屏蔽罩最终通过连接件与电极G相连;短射频杆的另一端与电极F相连，长射频杆的另一端与电极D相连；电极A为备用电极;灯丝供电杆和灯丝返回杆上设有卡槽，通过卡圈与氧化铝绝缘体A和氧化铝绝缘体B上的通孔的卡槽实现固定；
[0027]支撑连接机构包括法兰A和法兰B，其中法兰B经螺钉连接与探头法兰固定在一起，屏蔽罩焊接固定在法兰A和法兰B之间，放置于整个装置外部。
[0028]进一步的，电极A端部设置有备用盖子封盖，法拉第杯屏蔽罩上固定有倍增管夹；此结构备用途:在进行一般的残余气体分析时，用法拉第杯装置即可检测到离子电流强度进而确定各参数。然而当需要更精确的检测，或是说待测气体量很小时，我们也许会使用电子倍增装置来增大信号。将倍增管夹焊接在法拉第杯外筒上是便于如果需要的话，可以在其上夹上电子倍增装置，届时，备用盖子撤掉，倍增装置是一个喇叭漏斗型装置，其大口与法拉第杯口同时接受来自四极杆的电子，另一侧小口接在原来放备用盖子的电极A处。
[0029]采用上述技术方案的本发明，该装置中的灯丝经通电加热后发射的电子将被测气体分子离子化，通过引出、加速和聚焦把气相离子传输到四极杆质量分析器内。四极杆在直流和交流电压的共同作用下使得气相离子根据其质荷比沿特定轨迹运动。所需质荷比的离子穿过四极场进入检测装置，经法拉第杯检测到电流后转为信号输出从而获得气体的成分和残量。四极杆质谱仪的结构和电路相对其它质谱仪简单，不仅便于生产，而且成本非常低廉适于广泛推广。
[0030]与现有技术相比，本发明具有以下有益效果:
[0031]1、本发明的离子发生机构中的阳极栅网及发射电子的灯丝所采用的开放圆柱型的设计结构，并与聚焦板同轴安装，保证了电离装置的圆柱对称性;灯丝是两根镀铱二氧化钍金属丝，正常情况下两根灯丝同时工作，如果一根灯丝烧断，电源中配有自动调节装置能够调整剩余灯丝的温度进而修复发射的电子流强度，因此，整个装置不会因某一根灯丝烧断而中断；灯丝发射的电子强度通过调节灯丝的电流控制，而电子的能量通过加在灯丝和阳极栅网之间的电压来调整;该离子发生机构能得到较为稳定的离子流，且增高了电离效率。
[0032]2、四根圆柱电极杆采用304型不锈钢材料制成，圆形电极因其加工方便且成本较低，是现代RGA较为常用的代替双曲型电极的电极;外侧使用螺钉紧固并可以以此调节各四极杆间的间隔;整个组件可承受多次循环300QC烘干。四极杆被同时通以直流电压和射频电压。筛选分离方式是，设置射频和直流电压值，使得只有我们感兴趣的离子能够在四极场内有稳定的轨迹并通过四极场。通过同时调整直流和射频电压的值，可以进行完整的质谱扫描。通过减少加入高阶电位对四级杆精确位置的优化降低了静电四极场的畸变四极杆过滤部分通过改变射频电压幅值的大小来过滤出所需的质量大小的离子；同时，通过简单的调整直流/交流电压比例大小为质量选择增添了多样性。
[0033]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0034]本发明共5幅附图，其中:
[0035]图1为本发明的整体结构示意图。
[0036]图2为图1旋转视角后整体结构示意图。
[0037]图3为本发明的离子发生机构示意图。
[0038]图4为本发明的支撑连接机构示意图。
[0039]图5为本发明的电极连接处的结构示意图。
[0040]图中:1、反射极网笼，2、阳极栅网笼，3、灯丝，4、聚焦板，5、氧化铝绝缘体A，6、聚焦板对齐杆A，7、四极杆B，8、四极杆C，9、阳极连接杆，10、聚焦对齐杆B，11、氧化铝绝缘体B，12、倍增管夹，13、备用盖子，14、调整杆A，15、调整杆B，16、阳极对齐杆，17、灯丝返回杆，18、聚焦板连接杆，19、射频固定压片A，20、射频固定压片B，21、法拉第杯屏蔽罩，22、短射频杆，23、CEM高压连接杆，24、探头法兰，25、电极O，26、灯丝供电杆，27、四极杆A，28、四极杆D，29、法拉第杯，30、法兰A，31、屏蔽罩，32、法兰B，33、电极A，34、简易电极B，35、简易电极C，36、简易电极D，37、简易电极E，38、简易电极F，39、简易电极G，40、简易电极H，41、长射频杆。
【具体实施方式】
[0041]如图1至图5所示的一种四极质谱仪，包括:离子发生机构、四极杆过滤机构、离子检测机构和支撑连接机构；
[0042]其特征在于:
[0043]离子发生机构包括:反射极网笼1、阳极栅网笼2、灯丝3、聚焦板4、灯丝供电杆26、灯丝返回杆17、聚焦板对齐杆A6、聚焦板连接杆18、阳极对齐杆16和阳极连接杆9;
[0044]其中，反射极网笼I和阳极栅网笼2均为单端开口的柱状网笼结构；
[0045]聚焦板4为片状结构，其一侧端面经螺钉连接固定于氧化铝绝缘体A6上；
[0046]阳极栅网笼I的网笼开口端焊接有片状结构部分；
[0047]反射极网笼I罩置于阳极栅网笼2外部，且反射极网笼I的开口端与氧化铝绝缘体A5固定形成将阳极栅网笼2和聚焦板4包裹在内的包裹罩体；
[0048]其中，灯丝供电杆26和灯丝返回杆17的一端依次穿过氧化铝绝缘体A5和穿过聚焦板4;灯丝返回杆17顶端经螺钉连接与反射极网笼I上部相连；
[0049]灯丝3环绕于阳极栅网2外侧，且一端固定于灯丝供电杆26上，另一端固定于灯丝返回杆17上；
[0050]聚焦板对齐杆A6穿过氧化铝绝缘体A5预设的通孔内连接固定于聚焦板4上；
[0051]聚焦板连接杆18—端穿过氧化铝绝缘体A5预设的通孔内最终连接固定于聚焦板4上；
[0052]阳极连接杆9一端穿过氧化铝绝缘体A5预设的通孔后最终固定于阳极栅网笼I的片状结构上；
[0053]阳极对齐杆16—端穿过氧化铝绝缘体A5预设的通孔内，最终连接固定于阳极栅网笼I的片状结构上；
[0054]阳极栅网笼经2通过螺钉连接固定于阳极对齐杆16和聚焦板对齐杆A6伸出于氧化招绝缘体A5的端部；
[0055]四极杆过滤机构包括:四极杆A27、四极杆B7、四极杆C8、四极杆D28，射频固定压片A19、射频固定压片B20、氧化铝绝缘体Bll和聚焦对齐杆B10;
[0056]其中，四极杆A27、四极杆B7、四极杆C8和四极杆D28相互平行放置，四极杆A27、四极杆B7、四极杆CS和四极杆D28通过螺钉连接固定于氧化铝绝缘体A5和氧化铝绝缘体BI I之间；
[0057]射频固定压片A19连接固定于四极杆A27和四极杆C8之间，射频固定压片B20连接固定于四极杆B20和四极杆D28之间；
[0058]离子检测机构包括:固定于探头法兰24内的电极A33、简易电极B34、简易电极C35、简易电极D36、简易电极E37、简易电极F38、简易电极G39、简易电极H40，法拉第杯29，法拉第杯屏蔽罩21，CEM高压连接杆23，长射频杆41，短射频杆22，探头法兰24，电极025，调整杆A14和调整杆BI 5;
[0059]法拉第杯屏蔽罩为一端开口的圆柱状筒且闭口端上焊有带孔圆盘。聚焦对齐杆BlO穿过氧化铝绝缘体Bll预设的通孔最终固定于法拉第杯屏蔽罩21的圆盘上，经螺钉将氧化铝绝缘体B和法拉第杯屏蔽罩固定在一起；
[0060]法拉第杯屏蔽罩21罩置于法拉第杯29外部，且与其同轴放置;法拉第杯29另一端接电极025，电极025焊接在探头法兰24预设孔内；CEM高压连接杆23穿过氧化铝绝缘体Bll和法拉第杯屏蔽罩21上圆盘经连接件与电极H40相连;长射频杆41 一端穿过氧化铝绝缘体Bll及法拉第杯屏蔽罩21上圆盘的预设孔，经螺钉连接固定于射频固定压片A19上，短射频杆22—端穿过氧化铝绝缘体Bll及法拉第杯屏蔽罩21上圆盘的预设孔，经螺钉连接固定于射频固定压片B20上；调整杆A14和调整杆B15经螺纹连接固定于探头法兰24对应孔内，且位于电极A33安装端面；
[0061]其中，阳极连接杆9另一端依次穿过氧化铝绝缘体Bll和法拉第杯屏蔽罩21最终通过连接件与电极B34相连接;聚焦连接杆18另一端依次穿过氧化铝绝缘体BI I和法拉第杯屏蔽罩21最终通过连接件与电极E 37相连;聚焦对齐杆BlO的另一端固定于法拉第杯屏蔽罩21的圆盘上;灯丝供电杆26的另一端穿过氧化铝绝缘体B11、法拉第杯屏蔽罩21最终通过连接件与电极C35相连;灯丝返回杆17的另一端穿过氧化铝绝缘体B11、法拉第杯屏蔽罩21最终通过连接件与电极G39相连;短射频杆22的另一端与电极F38相连，长射频杆41的另一端与电极D36相连；电极A33为备用电极;灯丝供电杆26和灯丝返回杆17上设有卡槽，通过卡圈与氧化铝绝缘体A5和氧化铝绝缘体Bll上的通孔的卡槽实现固定；
[0062]支撑连接机构包括法兰A 30和法兰B32，其中法兰B32经螺钉连接与探头法兰24固定在一起，屏蔽罩31焊接固定在法兰A30和法兰B32之间，放置于整个装置外部。
[0063]进一步的，电极A33端部设置有备用盖子13封盖，法拉第杯屏蔽罩21上固定有倍增管夹12;此结构备用途:在进行一般的残余气体分析时，用法拉第杯装置即可检测到离子电流强度进而确定各参数。然而当需要更精确的检测，或是说待测气体量很小时，我们也许会使用电子倍增装置来增大信号。将倍增管夹焊接在法拉第杯外筒上是便于如果需要的话，可以在其上夹上电子倍增装置，届时，备用盖子撤掉，倍增装置是一个喇叭漏斗型装置，其大口与法拉第杯口同时接受来自四极杆的电子，另一侧小口接在原来放备用盖子的电极A33 处。
[0064]综上，本发明的反应发生部分仅产生电场。屏蔽机构能有效地将产生的电场屏蔽，以免对真空腔室的真空度产生干扰，同时，在装卸过程中，还可以对本发明内部零件起到保护作用。发明的四极质谱仪稳定性良好，适用于超高真空环境，其零件选用材质完全适合超高真空使用，安装法兰采取刀口法兰构造，可承受330°C的高温烘烤，使得设备在使用时能保持真空环境的真空度。
[0065]以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种四极质谱仪，包括:离子发生机构、四极杆过滤机构、离子检测机构和支撑连接机构； 其特征在于: 所述离子发生机构包括:反射极网笼(I)、阳极栅网笼(2)、灯丝(3)、聚焦板(4)、氧化铝绝缘体A(5)灯丝供电杆(26)、灯丝返回杆(17)、聚焦板对齐杆A(6)、聚焦板连接杆(18)、阳极对齐杆(16)和阳极连接杆(9); 其中，反射极网笼(I)和阳极栅网笼(2)均为单端开口的柱状网笼结构， 所述聚焦板(4)为片状结构，其一侧端面经螺钉连接固定于氧化铝绝缘体A(6)上； 所述阳极栅网笼(I)的网笼开口端焊接有片状结构部分； 所述反射极网笼(I)罩置于阳极栅网笼(2)外部，且反射极网笼(I)的开口端与氧化铝绝缘体A(5)固定形成将阳极栅网笼(2)和聚焦板(4)包裹在内的包裹罩体； 其中，灯丝供电杆(26)和灯丝返回杆(17)的一端依次穿过聚焦板(4)和氧化铝绝缘体A(5)，灯丝返回杆(17)顶端经螺钉连接与反射极网笼(I)上部相连； 所述灯丝(3)环绕于阳极栅网(2)外侧，且一端固定于灯丝供电杆(26)上，另一端固定于灯丝返回杆(17)上； 所述聚焦板对齐杆A(6)穿过氧化铝绝缘体A(5)预设的通孔最终连接固定于聚焦板(4)上;所述聚焦板连接杆(18) —端穿过氧化铝绝缘体A(5)预设的通孔内最终连接固定于聚焦板⑷上； 所述阳极对齐杆(16)穿过氧化铝绝缘体A(5)预设的通孔内最终连接固定于阳极栅网笼(I)的片状结构上;所述阳极连接杆(9) 一端穿过氧化铝绝缘体A(5)预设的通孔后最终固定于阳极栅网笼(I)的片状结构上； 所述阳极栅网笼(2)片状结构部分通过螺钉连接固定于阳极对齐杆(16)和聚焦板对齐杆A(6)伸出于氧化铝绝缘体A(5)的端部； 所述四极杆过滤机构包括:四极杆A (27)、四极杆B (7)、四极杆C (8)、四极杆D (28),射频固定压片A(19)、射频固定压片B(20)、氧化铝绝缘体B(Il)和聚焦对齐杆B(1); 其中，四极杆A(27)、四极杆B(7)、四极杆C(S)和四极杆D(28)相互平行放置，四极杆A(27)、四极杆B(7)、四极杆C(S)和四极杆D(28)固定于氧化铝绝缘体A(5)和氧化铝绝缘体B(11)之间； 所述射频固定压片A(19)连接固定于四极杆A(27)和四极杆C(8)之间，射频固定压片B(20)连接固定于四极杆B(20)和四极杆D(28)之间； 所述离子检测机构包括:固定于探头法兰(24)内的简易电极A(33)、简易电极B(34)、简易电极C(35)、简易电极D(36)、简易电极E(37)、简易电极F(38)、简易电极G39、简易电极H(40)，法拉第杯(29)，法拉第杯屏蔽罩(21)，CEM高压连接杆(23)，长射频杆(41)，短射频杆(22)，探头法兰(24)，电极0(25)，调整杆A(14)和调整杆B(15); 所述聚焦对齐杆B(1)穿过氧化铝绝缘体B(Il)预设的通孔最终固定于法拉第杯屏蔽罩(21)的圆盘上，经螺钉将氧化铝绝缘体B(1)和法拉第杯屏蔽罩(21)固定在一起； 所述法拉第杯屏蔽罩为一端开口的圆柱状筒且闭口端上焊有带孔圆盘。 所述法拉第杯屏蔽罩(21)置于法拉第杯(29)外部，且与其同轴放置；所述法拉第杯(29)另一端接电极0(25)，所述电极0(25)焊接在探头法兰(24)预设孔内；所述CEM高压连接杆(23)穿过氧化铝绝缘体B(Il)和法拉第杯屏蔽罩(21)上圆盘预设孔经连接件与电极H(40)相连;所述长射频杆(41)一端穿过氧化铝绝缘体B(Il)及法拉第杯屏蔽罩(21)上圆盘的预设孔，经螺钉连接固定于射频固定压片A(19)上，所述短射频杆(22)—端穿过氧化铝绝缘体B(Il)及法拉第杯屏蔽罩(21)上圆盘的预设孔，经螺钉连接固定于射频固定压片B(20)上;所述调整杆A(14)和调整杆B(15)经螺纹连接固定于探头法兰(24)对应孔内，且位于电极A(33)安装端面;其中，阳极连接杆(9)的另一端依次穿过氧化铝绝缘体B(Il)和法拉第杯屏蔽罩(21)的预设孔预设孔最终通过连接件与电极B(34)相连接;聚焦连接杆(18)另一端依次穿过氧化铝绝缘体B(Il)和法拉第杯屏蔽罩(21)的预设孔最终通过连接件与电极E(37)相连;聚焦对齐杆B(1)的另一端固定于法拉第杯屏蔽罩(21)的圆盘上；灯丝供电杆(26)的另一端穿过氧化铝绝缘体B(Il)、法拉第杯屏蔽罩(21)的预设孔最终通过连接件与电极C(35)相连;灯丝返回杆(17)的另一端穿过氧化铝绝缘体B(ll)、法拉第杯屏蔽罩(21)最终通过连接件与电极G(39)相连；短射频杆(22)的另一端与电极F(38)相连，长射频杆(41)的另一端与电极D(36)相连;所述电极A(33)为备用电极;所述灯丝供电杆(26)和灯丝返回杆(17)上设有卡槽，通过卡圈与氧化铝绝缘体A(5)和氧化铝绝缘体B(Il)上的通孔的卡槽实现固定;所述支撑连接机构包括法兰A(30)和法兰B(32)，其中法兰B(32)经螺钉连接与探头法兰(24)固定在一起，屏蔽罩(31)焊接固定在法兰A(30)和法兰B(32)之间，放置于整个装置外部。2.根据权利要求1所述的一种四极质谱仪，其特征在于: 所述电极A(33)端部设置有备用盖子(13)封盖。3.根据权利要求1或2所述的一种四极质谱仪，其特征在于:法拉第杯屏蔽罩(21)上固定有倍增管夹(12)。
【文档编号】H01J49/14GK105869987SQ201610374435
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年5月30日
【发明人】郭方准, 杨云, 徐宁, 洪宇
【申请人】大连交通大学