一种封闭式臭氧喷淋系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种封闭式臭氧喷淋系统，其包括第一手动阀等，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。本发明解决了臭氧外泄问题，使氧化层更加均匀，减少氧气用量，提高生产效率。
【专利说明】
一种封闭式臭氧喷淋系统
技术领域
[0001 ]本发明涉及一种臭氧喷淋系统，特别是涉及一种封闭式臭氧喷淋系统。
【背景技术】
[0002]目前，刻蚀后氧化采用的传统臭氧方式是一个常规工艺，但传统的臭氧方式稳定性较差，受环境影响较大。由于臭氧喷淋板是半封闭状态，设备抽风和环境负压都会对臭氧效果造成影响。
[0003]针对传统臭氧方式的不足，提出设计一种新的封闭式臭氧喷淋系统，以减小环境对氧化层的影响，充分发挥氧化层的最大化优势。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种封闭式臭氧喷淋系统，不但可以有效解决臭氧外泄问题，也可以使氧化层更加均匀稳定，减少氧气用量，提高生产效率。
[0005]本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
[0006]优选地，所述喷淋管贴有胶带。
[0007]优选地，所述清洗机贴有胶带。
[0008]优选地，所述甩干机的形状为长方体。
[0009]本发明的积极进步效果在于:本发明不但可以有效解决臭氧外泄问题，也可以使氧化层更加均匀稳定，减少氧气用量，提高生产效率，结构简单，成本低。
【附图说明】
[0010]图1为本发明封闭式臭氧喷淋系统的原理框图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。
[0012]如图1所示，本发明封闭式臭氧喷淋系统包括第一手动阀1、第一气动阀2、第二手动阀3、第二气动阀4、第三手动阀5、第三气动阀6、第一流量计7、喷淋管8、第二流量计9、氮气加热管10、甩干机11、抽风机12、出风口 13、氧气罐14、氮气罐15、臭氧发生机16，第一手动阀I和第二手动阀3都与氮气罐15连接，第一气动阀2连接于第一手动阀I下方，第二气动阀4连接于第一手动阀3下方，氮气加热管10的两端分别与第一气动阀2和喷淋管8相连，第二流量计9的两端分别与第二气动阀4和喷淋管8相连，第一流量计7与喷淋管8相连，第三气动阀6的两端分别与第三手动阀5和第一流量计7相连，臭氧发生机16和氧气罐14相连且位于第三手动阀5上方，抽风机12的两端分别与出风口 13、甩干机11连接，第一流量计7、喷淋管8、第二流量计9都位于用干机11内。
[0013]本发明的工作原理如下:第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀都有专门的气动控制口，当有气信号输入可以执行指令。第一手动阀、第二手动阀、第三手动阀都可以手动控制，当出现意外情况时，可以人为控制。进气口与抽风机同时运行，使甩干机腔体压力稳定。氮气罐为设备输送氮气，氧气罐为设备输送氧气，流量计可以测量流量。甩干机利用离心率将物体变干燥，出风口使得气体由专门排放的地方，氮气加热管可以加热氮气。
[0014]硅片放入甩干机内，关闭甩干机盖板，电机转动进行甩干同时第一气动阀打开进行氮气清洗硅片。甩干完成后第一气动阀关闭，第三气动阀和第二气动阀同时打开混合后，气体进入甩干机腔体，臭氧的作用是在硅片表面形成氧化层，氮气作为平衡气体使腔体内气体更加均匀，更好的与硅片接触，在甩干和臭氧通入的整个过程抽风机是处于工作状态。氧化层生成后，第三气动阀和第二气动阀关闭，随后第一气动阀打开进行清洗，主要目的稀释臭氧并进行抽风，确保在甩干机打开盖板的时候没有臭氧味道。过程完成后抽风机停止抽风，取出硅片并进行亲水性测试。
[0015]喷淋管贴有胶带，这样可以防止环境负压对臭氧的影响。氮气加热管针对的对象是硅片，这样可以使硅片表面更加清洁，氧化层更加容易生成。甩干机的形状为长方体，这样更加节省材料，减少体积。
[0016]综上所述，本发明采用的是全封闭式的臭氧氧化方式，不但可以有效解决臭氧外泄问题，也可以使氧化层更加均匀稳定，封闭式臭氧喷淋使生产环境更加安全，减少氧气用量，提高生产效率。本发明采用对硅片进行加热氮气预清洗，使硅片表面更加清洁，使氧化层更容易生成。本发明采用进气与主动抽风方式同时进行，使甩干机腔体压力稳定。
[0017]以上所述的具体实施例，对本发明的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。2.如权利要求1所述的封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，所述喷淋管贴有胶带。3.如权利要求1所述的封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，所述甩干机的形状为长方体。
【文档编号】H01L21/67GK106098597SQ201610574943
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月14日
【发明人】常宇峰, 王亚豪, 庞国峰, 张亦平
【申请人】江苏永能光伏科技有限公司