一种不等间距舟片的石墨舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种石墨舟，具体涉及一种不等间距舟片的石墨舟。
【背景技术】
[0002]目前，在太阳能电池的生产工艺过程中，通常采用管式PECVD进行太阳能电池的镀膜。进行镀膜时，电池片镀膜时的载具通常为石墨舟。在镀膜时，石墨舟片间接入射频电源，硅片作为电极的一部分，石墨舟片之间的距离都是等间距，所以其中的电场强度一致。但是由于反应气体分布、温度等一些不确定因素的影响，镀膜结束后，石墨舟外侧的膜厚往往较厚，影响了整舟的镀膜均匀性。
【发明内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种不等间距舟片的石墨舟，通过调整石墨舟片之间的间距，提升太阳能电池镀膜均匀性，且与传统太阳能电池生产线兼容，适合于大规模生产。
[0004]本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种不等间距舟片的石墨舟，包括若干石墨舟片，所述石墨舟片上设有若干装载硅片的凹槽，所述石墨舟片之间由陶瓷杆相连接，其特征在于:所述陶瓷杆上石墨舟片之间设有不同长度的陶瓷套，所述不同长度的陶瓷套使石墨舟片之间形成不同的间距。
[0005]作为一种优选，所述石墨舟上靠外侧的石墨舟片之间的陶瓷套长度依次大于靠内侧的石墨舟片之间的陶瓷套长度。
[0006]作为一种优选，所述石墨舟上最外侧的石墨舟片与其内侧相邻的石墨舟片之间的陶瓷套长度大于最内侧的石墨舟片与其外侧相邻的石墨舟片之间的陶瓷套长度，并且其余石墨舟片之间的陶瓷套，自外而内地，靠外侧的陶瓷套长度大于或等于靠内侧的陶瓷套长度。
[0007]作为一种优选，所述陶瓷套长度为10?15mm。
[0008]作为一种优选，所述石墨舟片的数量为11?21片。
[0009]作为一种优选，所述石墨舟片上装载硅片的凹槽为镂空或不镂空，所述凹槽数量为4?7个。
[0010]本实用新型的有益效果是:通过在陶瓷杆上石墨舟片之间设有不同长度的陶瓷套来调节石墨舟片之间不同的间距，有序的改变石墨舟片之间的距离，提升太阳能电池镀膜均匀性，且与传统太阳能电池生产线兼容，适合于大规模生产。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型实施例1的结构示意图。
[0012]图2为本实用新型实施例1的左视示意图。
[0013]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
【具体实施方式】
[0014]实施例1:如附图1、图2所示，一种不等间距舟片的石墨舟，包括十一片石墨舟片1，所述石墨舟片I上设有六个装载硅片的镂空凹槽2，各石墨舟片I之间由陶瓷杆3相连接，在陶瓷杆3上石墨舟片I之间设有不同长度的陶瓷套4，其中石墨舟两外侧起算依次各第一片与其内侧相邻的石墨舟片I之间的陶瓷套4长度为15mm，即各第一片石墨舟片I与第二片石墨舟片I的间距为15mm ;石墨舟两外侧各第二片与其内侧相邻的石墨舟片I之间的陶瓷套4长度为14mm，即各第二片石墨舟片I与第三片石墨舟片I的间距为14mm ;石墨舟两外侧各第三片与其内侧相邻的石墨舟片I之间的陶瓷套4长度为13mm，即各第三片石墨舟片I与第四片石墨舟片I的间距为13mm ;石墨舟两外侧各第四片与其内侧相邻的石墨舟片I之间的陶瓷套4长度为12mm，即各第四片石墨舟片I与第五片石墨舟片I的间距为12mm;石墨舟两外侧各第五片与其内侧相邻的(即最中间的)石墨舟片I之间的陶瓷套4长度为11mm，即各第五片石墨舟片I与第六片(即最中间一片)石墨舟片I的间距为11mm。
[0015]实施例2:另一种不等间距舟片的石墨舟，包括十九片石墨舟片1，所述石墨舟片I上设有四个装载硅片的镂空凹槽5，各石墨舟片I之间由陶瓷杆2相连接，在陶瓷杆2上石墨舟片I之间设有不同长度的陶瓷套4，其中石墨舟两外侧起算依次各第一片至第四片之间相邻的石墨舟片I间的陶瓷套4长度齒为14mm，即各第一片至第四片之间相邻的石墨舟片I的间距均为14mm ;石墨舟两外侧各第四片至第七片之间相邻的石墨舟片I间的陶瓷套4长度均为12mm，即各第四片至第七片之间相邻的石墨舟片I的间距均为12mm ;石墨舟两外侧各第七片至第十片(即最中间一片)之间相邻的石墨舟片I间的陶瓷套4长度均为10mm，即各第七片至第十片(即最中间一片)之间相邻的石墨舟片I的间距均为10mm。
[0016]实施例3:又一种不等间距舟片的石墨舟，包括二十一片石墨舟片1，所述石墨舟片I上设有七个装载硅片的镂空凹槽5，各石墨舟片I之间由陶瓷杆2相连接，在陶瓷杆2上石墨舟片I之间设有不同长度的陶瓷套4，其中石墨舟两外侧起算依次各第一片至第六片石墨舟片I之间石墨舟片I间的陶瓷套4长度为13mm，即各第一片至第六片之间相邻的石墨舟片I的间距均为13_ ;其余石墨舟两外侧各第六片之间相邻的石墨舟片I间的陶瓷套4长度为10mm，即各第六片石墨舟片I之间相邻的石墨舟片I的间距均为10mm。
【主权项】
1.一种不等间距舟片的石墨舟，包括若干石墨舟片(I )，所述石墨舟片(I)上设有若干装载硅片的凹槽(2)，所述石墨舟片(I)之间由陶瓷杆(3)相连接，其特征在于:所述陶瓷杆(3)上石墨舟片(I)之间设有不同长度的陶瓷套(4)，所述不同长度的陶瓷套(4)使石墨舟片(I)之间形成不同的间距。
2.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述石墨舟上靠外侧的石墨舟片(I)之间的陶瓷套(4)长度依次大于靠内侧的石墨舟片(I)之间的陶瓷套(4)长度。
3.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述石墨舟上最外侧的石墨舟片(I)与其内侧相邻的石墨舟片(I)之间的陶瓷套(4)长度大于最内侧的石墨舟片(I)与其外侧相邻的石墨舟片(I)之间的陶瓷套(4)长度，并且其余石墨舟片(I)之间的陶瓷套(4)，自外而内地，靠外侧的陶瓷套(4)长度大于或等于靠内侧的陶瓷套(4)长度。
4.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述陶瓷套(4)长度为10?15_。
5.如权利要求1或2所述的石墨舟，其特征在于:所述石墨舟片(I)的数量为11?21片。
6.如权利要求1或2所述的石墨舟，其特征在于:所述石墨舟片(I)上装载硅片的凹槽(2)为镂空或不镂空，所述凹槽(2)数量为4?7个。
【专利摘要】本实用新型公开了一种不等间距舟片的石墨舟，包括若干石墨舟片，所述石墨舟片上设有若干装载硅片的凹槽，所述石墨舟片之间由陶瓷杆相连接，所述陶瓷杆上石墨舟片之间设有不同长度的陶瓷套，所述不同长度的陶瓷套使石墨舟片之间形成不同的间距。本实用新型通过调整石墨舟片之间的间距，提升太阳能电池镀膜均匀性，且与传统太阳能电池生产线兼容，适合于大规模生产。
【IPC分类】C23C16-458, H01L31-18, H01L21-673
【公开号】CN204348695
【申请号】CN201520088896
【发明人】黄纪德, 蒋方丹, 金浩, 陈康平
【申请人】浙江晶科能源有限公司, 晶科能源有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2015年2月9日