面，电极套刚好能够对放电腔内的气体施加直流高压，通过直流高压使得分子运动碰撞，产生能级跃迀进而激发形成光子，产生激光。其结构简单，放电效果好，同时也便于与支撑架23的连接固定。
[0054]更为具体的，在本实用新型的一个示例中，电极套包括正极套302及负极套303，正极套302和负极套303分别为多个，多个正极套302分别连接一支撑架23。例如图1所示，正极套302及负极套303分别为两个，玻璃管301为三段，三段玻璃管301通过两个正极套302连通，而两个负极套303分别套设于两侧的两段玻璃管301上。
[0055]如此，通过多个正极套302及负极套303进行方便，可以提供玻璃管301内，气体谐振效果。进一步提高其激光发生器的输出功率。同时，每个正极套302上分别通过一个支撑架23支撑固定，如此，可以提高放电管30固定的牢固性和可靠性。
[0056]作为优选地，在本实用新型的一个优选实施例中，固定板10为方形，两相对的固定板10之间连接至少三个横向支撑杆11，例如图1中所示，横向支撑杆11为四个，分别设置在固定板10的边角位置。也就是说，两个固定板10支架通过横向支撑杆11连接形成支撑，如此，可以提高整个谐振器的强度，确保谐振器的使用更加安全可靠。
[0057]更为有利的，在本实用新型的一个实施例中，放电管30为两根，两根放电管30平行安装于两固定板10之间。也就是说，采用两根放电管30，两根放电管30均与储气管20连通，如此，可提高输出功率，产生两组激光。
[0058]进一步的，在本新型的一个实施例中，两固定板10之一上设有反射镜座，两固定板10中的另一固定板10上设有输出镜座102。其中，发射镜座101用于安装反射镜，而输出镜座102上用于安装聚光镜等，如此，形成的激光通过反射镜反射后再通过聚光镜输出。这种结构设计，方便于发射镜和输出镜的安装拆卸，可简化整体结构。
[0059]根据本实用新型提供的激光谐振器100，放电管30通过储气管上的支撑架23支撑固定，可以简化谐振器的结构，结构更加简单紧凑，减少整个激光发生器的体积，同时，可确保谐振器的结构更加牢固。此外，其谐振效果更好，可提高激光发生器的输出功率等。
[0060]参照图3所示，本实用新型实施例还提供了一种激光发生器，包括机架200、如上述实施例所述的激光谐振器100及罗茨泵300。
[0061]激光谐振器100安装于机架200的上部。具体的，激光谐振器100的两固定板10分别通过紧固件固定在机架200上即可。
[0062]罗茨泵300安装于机架200的下部，且罗茨泵300的进气口通过一第一热交换器400连接至放电管30的回气管31 ;罗茨泵300的排气口通过一第二热交换器500连接至储气管20。
[0063]具体过程时，通过罗茨泵300对激光谐振器100内部腔体抽真空，使得混合体在储气管20、放电管30、热交换器、罗茨泵300之间循环。而气体在放电管30内激发形成的激光可以通过反射镜反射后再通过聚光镜输出。
[0064]更为具体的，在本实用新型的具体实施例中，第一热交换器400具有一第一入气口及一第一出气口，所述第一入气口与所述放电管30的回气管31连通，所述第一出气口与所述罗茨泵300的进气口连通。如此，放电管30内的气体经回气管31进入第一热交换器400进行热交换冷却后，再输入至罗茨泵300。
[0065]第二热交换器500具有一第二入气口及两个第二出气口，所述第二入气口与所述罗茨泵300的排气口连通，两所述第二出气口分别通过一排气管连通至所述储气管20。如此，罗茨泵300压缩后的气体通过第二热交换器500进行热交换冷却后再进入至储气管20、放电管30，形成气体循环。
[0066]综上所述，根据本实用新型提供的具有该谐振器的激光发生器，其中，激光谐振器100中放电管30通过储气管上的支撑架23支撑固定，可以简化谐振器的结构，结构更加简单紧凑，减少整个激光发生器的体积，同时，可确保谐振器的结构更加牢固。此外，其谐振效果更好，可提高激光发生器的输出功率等。
[0067]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0068]尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【主权项】
1.一种激光谐振器，其特征在于，包括: 两相对的固定板； 储气管，所述储气管的一端固定安装于两所述固定板之一上，另一端固定安装于两所述固定板中的另一固定板上； 放电管，所述放电管与所述储气管平行安装于两所述固定板之间，且所述放电管的两端分别通过进气管与所述储气管连通，以将从所述储气管引入混合气体，所述放电管的中部连接有回气管； 固定座，所述固定座固定安装于所述储气管上，且所述固定座上设有支撑架，所述支撑架固定支撑所述放电管。2.根据权利要求1所述的激光谐振器，其特征在于，所述放电管包括多段玻璃管及将多段所述玻璃管连通的电极套，所述支撑架固定连接于所述电极套。3.根据权利要求2所述的激光谐振器，其特征在于，所述电极套包括正极套及负极套，所述正极套和负极套分别为多个，多个所述正极套分别连接一所述支撑架。4.根据权利要求1所述的激光谐振器，其特征在于，所述固定板为方形，两相对的所述固定板之间连接至少三个横向支撑杆。5.根据权利要求1所述的激光谐振器，其特征在于，所述放电管为两根，两根所述放电管平行安装于两所述固定板之间。6.根据权利要求1所述的激光谐振器，其特征在于，两所述固定板之一上设有反射镜座，两所述固定板中的另一固定板上设有输出镜座。7.一种激光发生器，其特征在于，包括: 机架； 如权利要求1至6中任一项所述的激光谐振器，所述激光谐振器安装于所述机架的上部； 罗茨泵，所述罗茨泵安装于所述机架的下部，且所述罗茨泵的进气口通过一第一热交换器连接至所述放电管的回气管；所述罗茨泵的排气口通过一第二热交换器连接至所述储气管。8.根据权利要求7所述的激光发生器，其特征在于，所述第一热交换器具有一第一入气口及一第一出气口，所述第一入气口与所述放电管的回气管连通，所述第一出气口与所述罗茨泵的进气口连通。9.根据权利要求7所述的激光发生器，其特征在于，所述第二热交换器具有一第二入气口及两个第二出气口，所述第二入气口与所述罗茨泵的排气口连通，两所述第二出气口分别通过一排气管连通至所述储气管。
【专利摘要】本实用新型公开了一种激光谐振器及具有该谐振器的激光发生器，其中，该谐振器包括两相对的固定板、储气管、放电管及固定座，储气管的一端固定安装于两固定板之一上，另一端固定安装于两固定板中的另一固定板上；放电管与储气管平行安装于两固定板之间，且放电管的两端分别通过进气管与储气管连通，以将从储气管引入混合气体，放电管的中部连接有回气管；固定座固定安装于储气管上，且固定座上设有支撑架，支撑架固定支撑放电管。本实用新型提供的激光谐振器及激光发生器，其中，激光谐振器中放电管通过储气管上的支撑架支撑固定，可以简化谐振器的结构，同时，可确保谐振器的结构更加牢固。此外，其谐振效果更好，可提高激光发生器的输出功率等。
【IPC分类】H01S3/08, H01S3/22, H01S3/03
【公开号】CN204651674
【申请号】CN201520425833
【发明人】黄海生
【申请人】深圳市鸿泽激光设备有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年6月18日