带旁路微流道的电共轭流体微型泵的制作方法

文档序号:12476614阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带旁路微流道的电共轭流体微型泵,包括下壳体(2)、盖住并密封下壳体(2)的盖板(1)、下壳体(2)上加工有流体槽(14),流体槽(14)中依次排列有由三棱柱电极(4)和缝隙电极(5)形成的电极对;盖板(1)上有与流体槽(14)相连的进液管(13)和出液管(12);其特征在于:

所述的下壳体(2)的流体槽(14)的一侧,加工有旁路微流槽(15);旁路微流槽(15)的端部与流体槽(14)的端部连通,旁路微流槽(15)的高度与流体槽(14)相等、宽度为流体槽(14)的1/15~1/20。

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