带旁路微流道的电共轭流体微型泵的制作方法

文档序号:12476614阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种带旁路微流道的电共轭流体微型泵,包括下壳体(2)、盖住并密封下壳体(2)的盖板(1)、下壳体(2)上加工有流体槽(14),流体槽(14)中依次排列有由三棱柱电极(4)和缝隙电极(5)形成的电极对;盖板(1)上有与流体槽(14)相连的进液管(13)和出液管(12);其特征在于:所述的下壳体(2)的流体槽(14)的一侧,加工有旁路微流槽(15);旁路微流槽(15)的端部与流体槽(14)的端部连通,旁路微流槽(15)的高度与流体槽(14)相等、宽度为流体槽(14)的1/15~1/20。该种电共轭流体泵在小流量或零流量输出时,输出压力高。尤其适用于小流量或零流量输出、大输出压力场合使用。

技术研发人员:王海波;范曙远;张如照;金俊完;横田真一
受保护的技术使用者:西南交通大学
文档号码:201610814062
技术研发日:2016.09.09
技术公布日:2016.12.21

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