一种物理吸附仪PFC电压力控制系统的制作方法

一种物理吸附仪pfc电压力控制系统
技术领域
[0001]
本实用新型涉及物理吸附仪技术领域，尤其涉及一种物理吸附仪pfc电压力控制系统。


背景技术：

[0002]
对于物理吸附仪，在工作过程中需要控制投气和抽气两个过程，为了能够限制投气和抽气的速度，该类仪器都配置了可以限制气路通径的“气阻”。而这两个过程的控制要求又存在差异，气阻不能动态的改变工作气路的工作状态、兼顾两个过程的应用效果，致使工作性能下降的问题。


技术实现要素：

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本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种物理吸附仪pfc电压力控制系统。
[0004]
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种物理吸附仪pfc电压力控制系统，包括箱体，所述箱体内靠近底部位置设置有托盘，所述托盘的顶部设置有杜瓦瓶，所述箱体的顶部设置有注入口，所述注入口的底部设置有与杜瓦瓶相连通的连通管，所述箱体的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶相连接的液位仪与歧管，所述歧管上设置有压力传感器，所述箱体的内壁一侧固定连接有固定座，所述固定座的外表面一侧设置有可控比例阀门，所述可控比例阀门的一侧设置有与杜瓦瓶相连通的连接管，且可控比例阀门上分别连接设置有第一支管与第二支管，且第一支管与第二支管上分别对应设置有第一阀门与第二阀门，所述箱体的外表面一侧设置有箱门，且箱体内一侧位置开设有两个内槽，两个所述内槽内均设置有移动板，且两个内槽的内壁与两个移动板的外表面一侧之间均连接设置有弹簧，两个所述移动板的外表面一侧均固定连接有限位块，所述箱门的外表面一侧设置有控制器。
[0005]
作为上述技术方案的进一步描述：
[0006]
所述注入口上连接设置有封盖，所述封盖的底部设置有与注入口相螺纹连接的螺纹头。
[0007]
作为上述技术方案的进一步描述：
[0008]
所述可控比例阀门的外表面两侧均固定连接有连接件，两个所述连接件上均设置有紧固螺栓，所述可控比例阀门通过两个紧固螺栓与固定座相固定连接。
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作为上述技术方案的进一步描述：
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所述箱体的一侧设置有气源，所述第一支管远离可控比例阀门的一端与气源相连通，所述箱体的外表面一侧固定连接有保护架，所述保护架内设置有真空泵，所述第二支管远离可控比例阀门的一端与真空泵相连通。
[0011]
作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]
所述箱体的外表面一侧靠近顶部与底部位置均开设有滑槽，两个所述滑槽内均设
置有外表面与箱门外表面一侧相固定连接的滑块。
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作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]
所述箱门的外表面一侧设置有与两个限位块相嵌套配合的限位槽。
[0015]
本实用新型具有如下有益效果：
[0016]
该物理吸附仪pfc电压力控制系统，通过整体的箱体结构能够实现稳定的物理吸附作用，通过歧管上的压力传感器，能够方便探测歧管中的气压，方便配合控制器控制可控比例阀门结构以及气源与真空泵结构进行投气与抽气工作，实现动态控制，解决气阻对气路通径固定限制的弊端，同时通过箱门结构的设置可以方便快捷打开与稳定固定连接，方便对内部结构进行检修工作，使用时，通过压力传感器感知歧管内的压力系数，并将结构反馈给控制器，打开第一阀门与第二阀门，通过控制器控制可控比例阀门配合气源则可以进行投气工作，控制可控比例阀门配合真空泵则可以进行抽气工作，能够实现动态控制，避免气阻影响结构的使用效率，整个结构连接稳定，使用便捷，通过控制结构能够有效对投气与抽气进行动态配合，稳定提升工作效率(控制器的型号可以为stm32，压力传感器的型号可以为mpm280)。
附图说明
[0017]
图1为本实用新型提出的一种物理吸附仪pfc电压力控制系统的正视图；
[0018]
图2为本实用新型提出的一种物理吸附仪pfc电压力控制系统的侧视图；
[0019]
图3为本实用新型提出的一种物理吸附仪pfc电压力控制系统的俯视图；
[0020]
图4为本实用新型提出的一种物理吸附仪pfc电压力控制系统的结构示意图。
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图例说明：
[0022]
1、箱体；2、托盘；3、杜瓦瓶；4、注入口；5、连通管；6、封盖；7、螺纹头；8、液位仪；9、歧管；10、压力传感器；11、固定座；12、可控比例阀门；13、连接管；14、连接件；15、紧固螺栓；16、第一支管；17、气源；18、第一阀门；19、第二支管；20、保护架；21、真空泵；22、第二阀门；23、箱门；24、滑槽；25、滑块；26、内槽；27、移动板；28、弹簧；29、限位块；30、限位槽；31、控制器。
具体实施方式
[0023]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0024]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通
过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0025]
参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种物理吸附仪pfc电压力控制系统，包括箱体1，箱体1内靠近底部位置设置有托盘2，托盘2的顶部设置有杜瓦瓶3，箱体1的顶部设置有注入口4，注入口4的底部设置有与杜瓦瓶3相连通的连通管5，箱体1的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶3相连接的液位仪8与歧管9，歧管9上设置有压力传感器10，箱体1的内壁一侧固定连接有固定座11，固定座11的外表面一侧设置有可控比例阀门12，可控比例阀门12的一侧设置有与杜瓦瓶3相连通的连接管13，且可控比例阀门12上分别连接设置有第一支管16与第二支管19，且第一支管16与第二支管19上分别对应设置有第一阀门18与第二阀门22，箱体1的外表面一侧设置有箱门23，且箱体1内一侧位置开设有两个内槽26，两个内槽26内均设置有移动板27，且两个内槽26的内壁与两个移动板27的外表面一侧之间均连接设置有弹簧28，两个移动板27的外表面一侧均固定连接有限位块29，箱门23的外表面一侧设置有控制器31。
[0026]
注入口4上连接设置有封盖6，封盖6的底部设置有与注入口4相螺纹连接的螺纹头7，通过注入口4的设置可以方便进行注液工作，而封盖6则可以起到保护作用，通过螺纹连接可以使结构连接更加紧固；可控比例阀门12的外表面两侧均固定连接有连接件14，两个连接件14上均设置有紧固螺栓15，可控比例阀门12通过两个紧固螺栓15与固定座11相固定连接，通过结构的设置可以使可控比例阀门12能够稳定的连接在结构内，同时也便于拆卸方便进行清理维修工作；箱体1的一侧设置有气源17，第一支管16远离可控比例阀门12的一端与气源17相连通，箱体1的外表面一侧固定连接有保护架20，保护架20内设置有真空泵21，第二支管19远离可控比例阀门12的一端与真空泵21相连通，通过第一支管16的设置配合气源17可以方便进行投气工作，通过第二支管19配合真空泵21可以进行抽气工作，通过两个结构的配合工作，能够实现投气与抽气的动态控制工作提升结构的工作性能；箱体1的外表面一侧靠近顶部与底部位置均开设有滑槽24，两个滑槽24内均设置有外表面与箱门23外表面一侧相固定连接的滑块25，通过滑槽24与滑块25的配合可以方便箱门23能够滑动打开；箱门23的外表面一侧设置有与两个限位块29相嵌套配合的限位槽30，通过限位块29与限位槽30的配合设置可以方便箱门23与与箱体1之间能够稳定的锁紧，不易随意滑动，起到稳定的保护作用，同时也便于打开，结构使用灵活。
[0027]
工作原理：在使用物理吸附仪pfc电压力控制系统时，通过压力传感器10感知歧管9内的压力系数，并将结构反馈给控制器31，打开第一阀门18与第二阀门22，通过控制器31控制可控比例阀门12配合气源17则可以进行投气工作，通过控制器31控制可控比例阀门12配合真空泵21则可以进行抽气工作，能够实现动态控制，避免气阻影响结构的使用效率。
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最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。