一种硅芯高频炉谐波治理系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及高频设备技术领域，特别是涉及一种硅芯高频炉谐波治理系统。
【背景技术】
[0002]在多晶硅生产技术领域，通常使用硅芯高频炉的拉制硅芯，多台硅芯高频炉均接入电源母线，形成硅芯高频炉系统，硅芯高频炉系统内的各台硅芯炉同步运行。硅芯高频炉运行时，硅芯高频炉的晶闸管处于深度导通阶段，单台硅芯高频炉的谐波含量高达130%，多台硅芯高频炉运行时，很容易引起各台之间的谐波干扰。如果硅芯高频炉运行时产生的谐波含量严重超标，不仅危及到硅芯高频炉自身设备的生产运行安全与稳定性，也危机整个配电系统的安全运行和电能损耗，因此需要进行谐波治理。
[0003]目前，硅芯高频炉系统采用集中补偿谐波治理方式，即为整个硅芯高频炉系统配备一个APF(Active power filter，有源电力滤波器)，该APF连接在电源母线的尽端(临近配电系统)，APF发出与硅芯高频炉的谐波相位相反的谐波，APF发出的谐波对硅芯高频炉产生的谐波进行补偿抵消，从而消除硅芯高频炉的谐波。在现有的集中补偿谐波治理方式中，APF与电源母线的连接点为谐波补偿点，每台硅芯高频炉产生的谐波通过导线传输到谐波补偿点，由APF对各台硅芯炉的谐波进行补偿抵消。
[0004]现有的集中补偿谐波治理方式存在以下缺点:
[0005]1、由于电源母线较长，通常有几百米，APF与各台硅芯高频炉之间的距离较远，硅芯高频炉产生的谐波电流会使导线发热量加大，容易使导线老化，发生次生危害。
[0006]2、谐波补偿点临近配电系统，APF发出的高次谐波容易流入非抗谐波无功装置，对非抗谐波无功装置产生不利影响。
[0007]3、整个硅芯高频炉系统只配备一个APF，一旦该APF故障，导致各台硅芯高频炉均无法进行谐波治理，产生的影响较大，可靠性低。
[0008]因此，亟需一种硅芯高频炉谐波治理系统以解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种硅芯高频炉谐波治理系统，用以解决导线容易老化、APF发出的高次谐波危害非抗谐波无功装置以及可靠性差的问题。
[0010]本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案:
[0011]本实用新型提供一种硅芯高频炉谐波治理系统，所述系统包括多个硅芯高频炉谐波治理装置，硅芯高频炉谐波治理装置的数量与硅芯高频炉的数量相等，一个硅芯高频炉谐波治理装置与一台硅芯高频炉相对应；
[0012]所述硅芯高频炉谐波治理装置包括有源电力滤波器APF，所述APF并联连接于相应的硅芯高频炉与电源母线的连接点之间。
[0013]优选的，所述硅芯高频炉谐波治理装置还包括电抗器，所述电抗器串联连接于相应的硅芯高频炉与电源母线的连接点之间。
[0014]优选的，所述APF并联连接于本硅芯高频炉谐波治理装置的电抗器与电源母线的连接点之间。
[0015]优选的，所述APF并联连接于相应的硅芯高频炉与电抗器的连接点之间。
[0016]优选的，所述电源母线为三相，所述APF的三相电源线分别并联连接于相应的硅芯高频炉与三相电源母线的连接点之间。
[0017]本实用新型具有如下有益效果:
[0018]本实用新型通过为每台硅芯高频炉配置一个硅芯高频炉谐波治理装置，即使部分硅芯高频炉谐波治理装置发生故障，也不会对整个硅芯高频炉系统造成严重影响，提高了硅芯高频炉系统的可靠性。通过将硅芯高频炉谐波治理装置的APF并联连接于相应的硅芯高频炉与电源母线的连接点之间，即将APF设置在相应的硅芯高频炉附近，缩短了 APF与硅芯高频炉之间的距离，远离配电系统，解决了导线易老化的问题，避免发生次生危害，可就近消除谐波，并能够利用导线漏感抵消部分APF自身的高次谐波或部分负载谐波，减少对非抗谐波无功的危害。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型实施例1提供的硅芯高频炉谐波治理系统的结构示意图；
[0020]图2为本实用新型实施例2提供的硅芯高频炉谐波治理系统的结构示意图。
[0021]图例说明:
[0022]1、硅芯高频炉谐波治理装置 2、硅芯高频炉
[0023]3、电源母线11、APF 12、电抗器
【具体实施方式】
[0024]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0025]实施例1
[0026]以下结合图1，详细说明本实用新型实施例1提供的硅芯高频炉谐波治理系统的结构。
[0027]如图1所示，硅芯高频炉谐波治理系统包括多个硅芯高频炉谐波治理装置1，硅芯高频炉谐波治理装置的数量与硅芯高频炉2的数量相等，一个硅芯高频炉谐波治理装置I与一台硅芯高频炉2相对应。通常，硅芯高频炉系统可以包括8-10台硅芯高频炉2，各台硅芯高频炉2均接入电源母线3，即电源母线3与各台硅芯高频炉2的电源进线端相连，能够为各台硅芯高频炉2提供电力，从而实现各台硅芯高频炉2同步拉制硅芯。在实施例1中，以两台硅芯高频炉2和两个硅芯高频炉谐波治理装置I为例进行说明。
[0028]硅芯高频炉谐波治理装置I包括有源电力滤波器APFlI，APFlI并联连接于相应的硅芯高频炉2与电源母线3的连接点之间。
[0029]通过为每台硅芯高频炉配置一个硅芯高频炉谐波治理装置，即使部分硅芯高频炉谐波治理装置发生故障，也不会对整个硅芯高频炉系统造成严重影响，提高了硅芯高频炉系统的可靠性。通过将硅芯高频炉谐波治理装置的APF并联连接于相应的硅芯高频炉与电源母线的连接点之间，即将APF设置在相应的硅芯高频炉附近，缩短了 APF与硅芯高频炉之间的距离，远离配电系统，解决了导线易老化的问题，避免发生次生危害，可就近消除谐波，并能够利用导线漏感抵消部分APF自身的高次