元件移载装置的制作方法

本说明书涉及主要搭载于元件安装机并从元件供给装置向基板移载电子元件(以下称为元件)的元件移载装置。

背景技术：

对被实施了印刷配线的基板实施用于安装元件的诸项作业(以下称为对基板作业)来量产电路基板的技术已普及。作为实施对基板作业的对基板作业机，有焊料印刷机、元件安装机、回流焊机、基板检查机等。一般连接这些对基板作业机而构成元件安装线。其中，元件安装机通常具备基板输送装置、元件供给装置及元件移载装置。

元件移载装置具备拾取元件而向基板安装的元件安装工具和使装备有元件安装工具的安装头移动的头驱动机构。元件安装工具具有利用负压吸附元件的吸嘴、夹持元件的夹持式安装工具等。为了从下方拍摄并确认保持于元件安装工具的元件，多在机台上设置朝上拍摄部，此外，有时也为了从侧方拍摄并确认保持于元件安装工具的元件，而在安装头上设置侧方拍摄部。专利文献1公开了具有侧方拍摄部的元件移载装置的一个技术例。

专利文献1的侧面图像取得装置将以可旋转的方式保持多个吸嘴的吸嘴座作为对象，将分别吸附于两个吸嘴的元件的侧面像通过第一光路及第二光路向一台侧面拍摄相机导入，在一个画面上拍摄大小两个侧面像。由此，可以在较大的侧面像中进行元件的高度测定、姿势确认及表背判定，在较小的侧面像中判定有无元件。

现有技术文献

专利文献1：jp特开2001-267796号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，当元件移载装置反复进行元件的拾取及向基板的安装时，侧方拍摄部上逐渐附着灰尘。例如，从元件供给装置使用的载带产生并飞来纸屑，附着于侧方拍摄部而遮挡住光路的一部分。于是，通过拍摄取得的图像数据的品质逐渐下降。由此，有可能产生即使对图像数据进行图像处理也无法确认元件的图像处理错误。为了将图像处理错误防患于未然，以往，定期地使元件安装机停止，使用棉棒等手动地实施清扫侧方拍摄部的维护。

在本说明书中，以提供一种能够削减手动地清扫侧方拍摄部的维护工时的元件移载装置作为要解决的课题。

解决课题的手段

本说明书公开了一种元件移载装置，其具备：元件安装工具，装备于能够移动的安装头，从元件供给装置拾取元件而向基板安装；侧方拍摄部，从侧方拍摄保持于上述元件安装工具的上述元件；清扫用嘴，仅在侧面具有向上述侧方拍摄部开口的吹出口；及正压空气供给部，向上述清扫用嘴供给正压空气，从上述吹出口向上述侧方拍摄部吹出上述正压空气。

发明效果

根据本说明书公开的元件移载装置，正压空气供给部从清扫用嘴的吹出口向侧方拍摄部吹出正压空气。吹出的正压空气吹走附着于侧方拍摄部的灰尘，因此自动地进行侧方拍摄部的清扫。因此，削减了手动地清扫侧方拍摄部的维护工时。

附图说明

图1是表示搭载有实施方式的元件移载装置的元件安装机的整体结构的立体图。

图2是表示实施方式的元件移载装置的吸嘴座及侧方拍摄部的俯视图。

图3是表示元件移载装置的吸嘴座、侧方拍摄部及清扫用嘴的俯视图。

图4是从图3中的箭头a方向观察的图。

图5是从图3中的箭头b方向观察的侧视图。

图6是表示向吸嘴供给正压空气及负压空气的空气供给系统的图。

图7是表示主要通过来自控制部的控制进行动作的元件移载装置的动作流程的图。

图8是表示图7中的步骤s6的清扫动作的详细的动作流程的图。

具体实施方式

1.元件安装机9的整体结构

参照图1～图8来对实施方式的元件移载装置1进行说明。图1是表示搭载有实施方式的元件移载装置1的元件安装机9的整体结构的立体图。在图1中，在共用底座91上配置类型相同的两台元件安装机9。元件安装机9将基板输送装置2、元件供给装置3、元件移载装置1、元件相机4及控制部5等组装于机台92而构成。图中的x轴方向是搬入搬出基板k的方向，y轴方向是在水平面内与x轴方向正交的方向，z轴方向是铅垂方向。

基板输送装置2配置于元件安装机9的长度方向(y轴方向)上的中央附近的机台92的上表面。基板输送装置2是并排设有第一输送装置21及第二输送装置22的、所谓的双通道类型的装置。第一输送装置21具有与x轴方向平行的一对导轨及分别由导轨引导而载置并输送基板k的一对传送带(省略图示)等。另外，在第一输送装置21中设有夹紧装置(省略图示)，该夹紧装置将被输送至安装实施位置的基板k抬起而进行定位。第二输送装置22也与第一输送装置21相同地构成。

元件供给装置3设于元件安装机9的前侧。元件供给装置3由可拆装的多个盒式供料器31构成。盒式供料器31具备：主体32、设于主体32的前侧的供给带盘33及设于主体32的后端上部的元件取出部34。供给带盘33上卷绕保持有以预定间距封入有多个元件的载带。该载带由省略图示的带进给机构以预定间距送出。由此，元件被解除封入状态而依次送入到元件取出部34。

元件移载装置1是能够沿着x轴方向及y轴方向移动的所谓的xy机械人型的装置。元件移载装置1从元件安装机9的长度方向上的后部(图1中的右上侧)配置到前部的元件供给装置3的上方。元件移载装置1由头驱动机构11、安装头12、吸嘴座13、多个吸嘴14、侧方拍摄部6(参照图2～图5)、清扫用嘴7(参照图3～图6)及正压空气供给部8(参照图6)等构成。

头驱动机构11沿着水平面内的x轴方向及y轴方向对安装头12进行驱动。头驱动机构11能够适当采用公知的各种技术构成。安装头12在下侧对吸嘴座13以可转动的方式进行支撑。吸嘴座13上以可拆装的方式装备多个吸嘴14。吸嘴14从元件取出部34吸附元件，并向基板k上的预定的安装坐标位置安装。元件移载装置1进行向元件供给装置3移动而通过多个吸嘴14分别吸附元件、并经由后述的元件相机4而向基板k来安装元件的吸附安装循环。此外，元件移载装置1通过重复吸附安装循环来实施元件的安装作业。

另外，元件移载装置1具有在图1中省略的吸嘴交换器。吸嘴交换器在多个嘴载置孔中分别以可交换的方式载置吸嘴14。吸嘴交换器使装备于吸嘴座13的多个吸嘴14能够进行自动交换。另外，吸嘴交换器将清扫用嘴7载置于嘴载置孔，并且能够向吸嘴座13装备及拆下。吸嘴交换器的嘴载置孔的个数和孔形状能够适当变更。关于元件移载装置1的详细的结构在后说明。

元件相机4朝向上方地设于基板输送装置2与元件供给装置3之间的机台92的上表面。元件相机4对多个吸嘴14在元件取出部34吸附元件而向基板k移动的中途的状态进行拍摄。由此，元件相机4能够统一地拍摄分别保持于多个吸嘴14的元件。对取得的图像数据进行图像处理，确认元件的吸附状态。此外，在后述的侧方拍摄部6，也可确认元件的吸附状态。当确认了元件的吸附位置、旋转角的偏差、引脚的弯曲等时，根据需要对安装作业进行微调。另外，将难以进行安装作业的元件废弃。

控制部5配置于覆盖机台92的上方的罩93的前部。控制部5使用具有cpu并通过软件进行动作的计算机装置构成。控制部5具备作为人机接口的输入部51及显示部52。控制部5按照预先设定的安装作业数据对元件的安装作业进行控制。安装作业数据是指定在元件安装机9中向基板k安装的元件的种类、数量、安装顺序等的数据。此外，安装作业数据还指定吸附元件的盒式供料器31的位置、基板k上的安装坐标位置、在安装中使用的吸嘴14的种类等。

2.实施方式的元件移载装置1的结构

对实施方式的元件移载装置1的详细的结构进行说明。图2是表示实施方式的元件移载装置1的吸嘴座13及侧方拍摄部6的俯视图。图2表示侧方拍摄部6拍摄吸嘴14及元件p的状况。图3是表示元件移载装置1的吸嘴座13、侧方拍摄部6及清扫用嘴7的俯视图。图3表示清扫用嘴7自动地清扫侧方拍摄部6的状况。此外，图4是从图3中的箭头a方向观察的图，图5是从图3中的箭头b方向观察的侧视图。

如图2所示，吸嘴座13将呈圆形地排列的二十四个吸嘴14装备呈可拆装。吸嘴座13由省略图示的r轴驱动机构驱动而绕着中心轴15进行旋转。由此，多个吸嘴14在圆周上回转，依次向动作位置16移动。动作位置16的吸嘴14由省略图示的z轴驱动机构驱动而进行升降，下降至元件p的吸附高度及安装高度，另外，上升至水平移动时的移动高度。此外，动作位置16的吸嘴14由省略图示的θ轴驱动机构驱动而进行旋转动作，对吸附的元件p的方向进行调整。在图2中，例示了吸附于动作位置16的吸嘴14的元件p。

侧方拍摄部6与动作位置16相向地配置。侧方拍摄部6由相机部61及拍摄基板部63构成。相机部61固定于从安装头12向下方延伸的支撑部件611。相机部61在前侧具有多个像素呈二维格子状地排列而成的图像检测部62。如图4所示，拍摄基板部63从正面看是横长的板状部件。拍摄基板部63使用两个止动螺钉632固定于从安装头12向下方延伸的支撑板631。拍摄基板部63位于动作位置16与相机部61之间。拍摄基板部63具有照明部64及拍摄用的三个光路部(65、66、67)。

照明部64设于拍摄基板部63的与动作位置16相向的一侧的面。照明部64由十四个led灯构成。照明部64的电源线使用支撑板631进行配线。照明部64向动作位置16的吸嘴14及该吸嘴14吸附的元件p照射照明光。

中央光路部65、右侧光路部66及左侧光路部67相互分离地配置于照明部64的十四个led灯之间。光路部(65、66、67)是穿设于拍摄基板部63的大致矩形的窗部。在光路部(65、66、67)中嵌入有透明的玻璃。中央光路部65位于连结动作位置16与相机部61的直线上。右侧光路部66从相机部61看位于中央光路部65的右侧。左侧光路部67从相机部61看位于中央光路部65的左侧。右侧光路部66及左侧光路部67位于比中央光路部65略低的位置。

在右侧光路部66的与相机部61相向的一侧设有右侧棱镜68。右侧棱镜68具有使通过了右侧光路部66的图像向相机部61折射的作用。相同地，在左侧光路部67的与相机部61相向的一侧设有左侧棱镜69。左侧棱镜69具有使通过了左侧光路部67的图像向相机部61折射的作用。

如图2中的箭头g1所示，从正面观察动作位置16的吸嘴14及元件p的图像透过中央光路部65而到达图像检测部62的中央。另外，如箭头g2所示，从斜右方观察吸嘴14及元件p的图像透过右侧光路部66，在右侧棱镜68发生折射，而到达图像检测部62的右侧。另外，如箭头g3所示，从斜左方观察吸嘴14及元件p的图像透过左侧光路部67，在左侧棱镜69发生折射，而到达图像检测部62的左侧。由此，图像检测部62能够一次拍摄从三个方向观察吸嘴14及元件p的图像，而取得图像数据。

当元件移载装置1反复进行元件p的吸附及向基板k的安装时，灰尘逐渐附着到拍摄基板部63的光路部(65、66、67)或照明部64上。为了自动地清扫附着于拍摄基板部63的灰尘，使用清扫用嘴7。在进行元件p的安装作业的期间，清扫用嘴7载置于吸嘴交换器。清扫用嘴7与任一个吸嘴14进行交换而装备于吸嘴座13。

如图3～图5所示，清扫用嘴7是在上下方向上较长的大致圆筒状的部件。清扫用嘴7的下端被封闭，上端与后述的第一吸嘴侧空气通路88a连通。清扫用嘴7仅在侧面具有向侧方拍摄部6开口的吹出口71。向清扫用嘴7供给正压空气，而从吹出口71吹出正压空气。

接着，对向清扫用嘴7供给正压空气的正压空气供给部8进行说明。图6是表示向吸嘴14供给正压空气及负压空气的空气供给系统的图。在图6中，以粗实线表示空气通路的连通状态，以虚线表示切断状态。图6例示了向清扫用嘴7供给正压的低压空气的状况。图6所示的高压空气供给部82及低压空气供给部83的至少一方兼作正压空气供给部8。

详细描述的话，空气供给系统由正压空气源81、高压空气供给部82、低压空气供给部83、多个正压空气通路84、负压空气源85、多个负压空气通路86、多个机械式空气阀87及多个吸嘴侧空气通路88等构成。正压空气通路84、负压空气通路86、空气阀87及吸嘴侧空气通路88设为与所装备的吸嘴14的个数相等的二十四个，图6中分别例示了三个。另外，控制部5兼作对高压空气供给部82、低压空气供给部83及空气阀87进行控制的空气控制部。

正压空气源81及负压空气源85形成于例如省略图示的空气泵的排出侧及吸入侧。作为正压空气源81储存的正压空气的压力，能够例示出0.5mpa，作为负压空气源85储存的负压空气的压力，能够例示出接近真空的负压。正压空气源81的供给口811与高压空气供给部82及低压空气供给部83连通。也就是说，高压空气供给部82及低压空气供给部83相对于正压空气源81并联连接。负压空气源85的供给口851形成分支而与多个负压空气通路86连通。

高压空气供给部82由高压电磁阀821构成。高压电磁阀821按照来自控制部5的控制对空气通路进行开闭操作。高压电磁阀821在打开状态下使相当于正压空气源81的压力的高压空气从流出口822流出。高压电磁阀821在关闭状态下不使高压空气流出。图6中例示了高压电磁阀821的关闭状态。

低压空气供给部83通过调节器831及低压电磁阀832的串联连接而构成。调节器831对正压空气源81的空气压力进行减压而排出正压的低压空气。低压电磁阀832按照来自控制部5的控制对空气通路进行开闭操作。低压电磁阀832在打开状态使低压空气从流出口833流出。低压电磁阀832在关闭状态不使低压空气流出。图6中例示了低压电磁阀832的打开状态。

高压电磁阀821的流出口822及低压电磁阀832的流出口833与共用空气通路825连通。在共用空气通路825的中途设有大气开放阀826。大气开放阀826是当在通常时保持正压的共用空气通路825成为负压时进行动作的止回阀。大气开放阀826导入大气而消除共用空气通路825的负压。共用空气通路825形成分支而与多个正压空气通路84连通。

多个空气阀87分别在流入侧与正压空气通路84及负压空气通路86连接。另外，多个空气阀87分别在流出侧与吸嘴侧空气通路88连接。空气阀87具有按照来自控制部5的控制对空气通路的连通状态进行切换的滑阀871。如图6中的箭头up所示，当滑阀871被上提操作了时，空气阀87使正压空气通路84与吸嘴侧空气通路88连通。如箭头dn所示，当滑阀871被下压操作了时，空气阀87使负压空气通路86与吸嘴侧空气通路88连通。此外，当滑阀871被操作至中间高度时，空气阀87成为切断状态。

多个吸嘴侧空气通路88分别与装备的吸嘴14的内部连通。在图6中，与第一吸嘴14进行交换而装备清扫用嘴7。因此，空气供给系统对于清扫用嘴7也成为与吸嘴14的情况相同的系统结构。即，清扫用嘴7通过第一吸嘴侧空气通路88a而连通于第一空气阀87a。另外，第一空气阀87a通过第一正压空气通路84a而连通于正压空气供给部8。另外，第一空气阀87a通过第一负压空气通路86a而连通于负压空气源85。

高压空气供给部82在对吸嘴14进行清扫时进行动作，将相对高压的正压空气(高压空气)向吸嘴14的内部供给。由此，将积存于吸嘴14的内部或元件吸附口等的灰尘吹走。另一方面，低压空气供给部83在通常的安装作业时进行动作，向吸嘴14的内部供给相对低压的正压空气(低压空气)。由此，吸嘴14使吸附的元件p脱离，能够向基板k安装或废弃。

3.实施方式的元件移载装置1的动作及作用

接着，对实施方式的元件移载装置1的动作及作用进行说明。图7是表示主要通过来自控制部5的控制进行动作的元件移载装置1的动作流程的图。另外，图8是表示图7中的步骤s6的清扫动作的详细的动作流程的图。在图7中的步骤s1中，元件移载装置1通过自动运行进行吸附安装循环。当一次吸附安装循环终止时，在步骤s2中，元件移载装置1使循环停止。

在接下来的步骤s3中，控制部5判定是否实施侧方拍摄部6的清扫。清扫的实施通过手动及自动中的至少一方来设定。在手动设定的情况下，操作员在清扫的实施时期到来时从输入部51输入清扫指令。或者，操作员在实施时期到来以前从输入部51预约设定实施时期。在自动设定的情况下，控制部5在从前次清扫之后的经过时间达到了预定时间的时间点或者从前次清扫之后的元件安装个数达到了预定个数的时间点判定为实施清扫。控制部5在不实施清扫的情况下使动作流程的执行返回到步骤s1，重复进行基于自动运行的吸附安装循环。另外，控制部5在实施清扫的情况下使动作流程的执行前进到步骤s4。

在步骤s4中，控制部5使装备于吸嘴座13的吸嘴14全部返还至吸嘴交换器。如图5所示，通过去掉吸嘴座13的吸嘴14，可以防止清扫时飞散的灰尘附着于吸嘴14。不限于此，控制部5也可以如图6所示地仅将第一吸嘴14返还至吸嘴交换器。在接下来的步骤s5中，控制部5使清扫用嘴7装备于吸嘴座13的曾装备了第一吸嘴14的位置。在接下来的步骤s6中，控制部5对侧方拍摄部6的清扫动作进行控制。

在表示清扫动作的详细情况的图8的步骤s11中，控制部5使安装头12及吸嘴座13向清扫实施位置移动。清扫实施位置不作特别限定，但优选的是设为即使灰尘飞散也影响较小的位置。在接下来的步骤s12中，控制部5对第一空气阀87a的滑阀871进行上提操作。由此，如图6所例示的那样，清扫用嘴7与正压空气供给部8连通。在接下来的步骤s13中，控制部5对除了第一空气阀87a以外的空气阀87的滑阀871进行下压操作或操作至中间高度。

在接下来的步骤s14中，控制部5使清扫用嘴7的吹出口71向初始位置移动。在本实施方式中，初始位置被规定为吹出口71与中央光路部65的上部正对的位置。在步骤s15中，控制部5将清扫实施的重复数r设置为0。在步骤s16中，控制部5使正压空气供给部8开始动作。于是，如图3及图5的五个虚线箭头f所示，清扫用嘴7的吹出口71向中央光路部65吹出正压空气。由此，开始进行拍摄基板部63的清扫。

在作为正压空气供给部8而仅使高压空气供给部82动作的情况下，从吹出口71吹出高压空气。如图6所例示的那样，在作为正压空气供给部8而仅使低压空气供给部83动作的情况下，从吹出口71吹出低压空气。因此，根据本实施方式，可以选择为了清扫而吹出的正压空气的力量。另外，也能够使高压空气供给部82及低压空气供给部83这两方都动作。

在接下来的步骤s17中，清扫用嘴7在接下来说明的旋转动作及升降动作之前，在初始位置暂时停止一定时间。由此，重点地清扫对图像数据的品质影响较大的中央光路部65。在接下来的步骤s18中，控制部5对θ轴驱动机构进行控制，使清扫用嘴7进行旋转动作。具体而言，控制部5首先使清扫用嘴7沿着图3的逆时针方向旋转角度q，接着沿着顺时针方向旋转角度q的2倍，最后沿着逆时针方向旋转角度q。

角度q考虑拍摄基板部63的宽度尺寸、光路部(65、66、67)的配置而以使清扫实施范围适当的方式设定。另外，优选的是清扫用嘴7的旋转速度比通常实施安装作业时的吸嘴14的旋转速度小很多。由此，虽然清扫需要一定程度的时间，但拍摄基板部63被充分地清扫干净。

在吹出口71返回到初始位置后的步骤s19中，控制部5使重复数r加1。在接下来的步骤s20中，控制部5判定重复数r是否达到了预定次数rmax。在本实施方式中，预定次数rmax被设定为4次。在初次的步骤s20的时间点，重复数r＝1，因此控制部5使动作流程的执行前进到步骤s21。

在步骤s21中，控制部5控制z轴驱动机构而使清扫用嘴7进行升降动作。具体而言，控制部5使清扫用嘴7以下降距离h进行下降动作。下降距离h的大小考虑拍摄基板部63的高度尺寸和光路部(65、66、67)的配置以使下降三次清扫实施范围适当的方式设定。接着，控制部5使动作流程的执行返回到步骤s16。从步骤s16到步骤s21的循环重复3次，当第4次的步骤s16～步骤s19结束时，重复数r＝4。因此，在第4次的步骤s20中，控制部5使动作流程的执行前进到步骤s22。在步骤s22中，控制部5使正压空气供给部8停止。在步骤s23中，控制部5进行后期处理，使动作流程的执行返回到图7中的步骤s7。控制部5例如对被下压操作后的滑阀871进行上提操作作为后期处理。

吹出口71的吹出方向，即，吹出口71相向的拍摄基板部63的位置如图5的单点划线的箭头c所示地移动。吹出口71的吹出方向吹到拍摄基板部63的宽度方向的大致整体，在高度方向上吹到三个光路部(65、66、67)及照明部64的大部分。从吹出口71吹出的正压空气将附着于拍摄基板部63的灰尘吹走，而自动地进行清扫。而且，在光路部(65、66、67)中，不会产生清扫不到的死角。

在图7中的步骤s7中，控制部5进行将清扫用嘴7返还至吸嘴交换器的控制，并使清扫结束。在接下来的步骤s8中，控制部5进行将返还至吸嘴交换器的吸嘴14全部重新装备于吸嘴座13的控制。在接下来的步骤s9中，控制部5使自动运行重新开始，使动作流程的执行返回到步骤s1。另外，关于自动运行的重新开始，控制部5可以自行判断，也可以以操作员确认清扫状况后从输入部51输入重新开始指令为条件。

4.实施方式的元件移载装置1的形态及效果

实施方式的元件移载装置1具备：元件安装工具(吸嘴14)，装备于能够移动的安装头12，从元件供给装置3拾取元件p而向基板k安装；侧方拍摄部6，从侧方拍摄保持于元件安装工具的元件p；清扫用嘴7，仅在侧面具有向侧方拍摄部6开口的吹出口71；及正压空气供给部8，向清扫用嘴7供给正压空气而从吹出口71向侧方拍摄部6吹出正压空气。

由此，正压空气供给部8从清扫用嘴7的吹出口71向侧方拍摄部6吹出正压空气。吹出的正压空气将附着于侧方拍摄部的灰尘吹走，因此自动地进行侧方拍摄部6的清扫。因此，可削减手动地清扫侧方拍摄部6的维护工时。此外，可将通过侧方拍摄部6取得的图像数据维持在高品质，因此可抑制图像处理错误的产生。

此外，清扫用嘴7及安装头12中的至少一方在清扫用嘴7被供给正压空气的状态下进行旋转动作及升降动作。由此，吹出口71的吹出方向进行移动，因此可清扫侧方拍摄部6的较大的范围。

此外，侧方拍摄部6具有在拍摄时对元件p进行照明的照明部64及连接元件p与图像检测部62的光路部(中央光路部65、右侧光路部66、左侧光路部67)，清扫用嘴7及安装头12中的至少一方在旋转动作及升降动作的开始时期、中途时期及结束时期中的至少一个时期在吹出口71与中央光路部65相向的位置暂时停止，或使旋转速度及升降速度中的至少一个速度减速。由此，可重点地清扫对图像数据的品质影响较大的中央光路部65。

此外，元件安装工具是以可拆装的方式装备于安装头12的吸嘴座13并吸附元件p的吸嘴14，清扫用嘴7与吸嘴14进行交换而装备于安装头12。由此，不需要用于装备清扫用嘴7的安装座等专用部件，可简化装置结构并且抑制装置成本的上升。

此外，供给相对高压的正压空气而对吸嘴14进行清扫的高压空气供给部82及供给相对低压的正压空气而使吸嘴14吸附的元件p脱离的低压空气供给部83中的至少一个空气供给部兼作正压空气供给部8。由此，可以不设置专用于清扫的正压空气供给部8，因此可简化装置结构并且抑制装置成本的上升。另外，能够选择为了清扫而吹出的正压空气的力量。

此外，元件移载装置1还具备：多个吸嘴14，以可拆装的方式装备于安装头12的吸嘴座13；多个正压空气通路84及多个吸嘴侧空气通路88，将多个吸嘴14与正压空气供给部8单独地连通；多个空气阀87，分别配置于多个正压空气通路84并相互独立地进行开闭动作；及空气控制部(控制部5)，控制正压空气供给部8及多个空气阀87。并且，清扫用嘴7与第一吸嘴14进行交换而装备于安装头12，空气控制部打开配置于将正压空气供给部8与清扫用嘴7连通的第一正压空气通路84a的第一空气阀87a，并且关闭除了第一空气阀87a以外的空气阀87，而使正压空气供给部8进行动作。由此，只要对现有结构的元件移载装置追加清扫用嘴7，即可赋予侧方拍摄部6的清扫功能。

5.实施方式的应用及变形

另外，在实施方式中，清扫用嘴7的吹出口71在与中央光路部65正对的位置暂时停止，但不限于此。即，吹出口71也可以在与右侧光路部66、左侧光路部67相向的位置暂时停止。另外，吹出口71也可以不在与光路部(65、66、67)相向的位置暂时停止，而是使旋转速度减速。此外，在实施方式中，清扫用嘴7进行旋转动作及下降动作，但不限于此。例如，也可以在向清扫用嘴7供给正压空气的状态下进行安装头12或吸嘴座13的整体绕着中心轴15的旋转动作及升降动作。

此外，也可以将与吸嘴座13分体的支撑部件设于安装头12来支撑清扫用嘴7，以与吸嘴14不同的路径向清扫用嘴7供给正压空气。另外，在夹持式安装工具装备于安装头的结构中，也可以与夹持式安装工具进行交换而装备清扫用嘴7。实施方式的结构及动作也能够进行除此之外的各种应用或变形。

附图标记说明

1：元件移载装置12：安装头13：吸嘴座14：吸嘴2：基板输送装置3：元件供给装置4：元件相机5：控制部6：侧方拍摄部62：图像检测部63：拍摄基板部64：照明部65：中央光路部66：右侧光路部67：左侧光路部7：清扫用嘴71：吹出口8：正压空气供给部82：高压空气供给部83低压空气供给部84：正压空气通路84a：第一正压空气通路87：空气阀87a：第一空气阀88：吸嘴侧空气通路88a：第一吸嘴侧空气通路9：元件安装机