维护管理装置的制作方法

本说明书涉及一种维护管理装置。

背景技术：

如专利文献1所公开的那样，以适当的性能维持等为目的，通过检查装置来检查在元件安装机中使用的吸嘴等更换部件。基于检查的结果而对更换部件执行洗净、修理等维护。由此，防止基于元件安装机的安装处理中的因更换部件而引发的安装错误的产生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/016929号

技术实现要素：

发明所要解决的课题

然而，被执行了维护的更换部件在与新的更换部件相比时，有时性能易于降低、或因维护不充分而再一次成为安装错误的要因。谋求在基于元件安装机的安装处理中更加可靠地防止安装错误的产生，抑制生产效率的降低。

本说明书的目的在于提供一种将基于检查装置的检查的结果作为统计信息来进行管理并能够应用于实现生产效率的维持的维护中的生产管理装置。

用于解决课题的技术方案

本说明书所公开的维护管理装置具备：检查装置，以向电路基板安装元件的元件安装机中的更换部件作为对象来检查所述更换部件；及信息管理部，存储将所述检查装置的多次检查的结果分别与作为检查对象的多个所述更换部件的每个识别信息建立关联而得到的统计信息。

发明效果

采用这样的结构，基于检查装置的检查的结果与对应的更换部件的识别信息建立关联并被存储为统计信息。这样的统计信息是能够应用在用于把握更换部件的性能水准、确定安装错误的要因时的更换部件的性能水准的变化趋势的分析中的有用的信息。例如，当把握了某个更换部件的性能水准的变化趋势时，能够作为是否将该更换部件用于安装处理的判断材料。作为结果，能够以实现生产效率的维持的方式管理维护。

附图说明

图1是表示实施方式中的元件安装机的结构及维护管理装置的功能块的说明图。

图2是表示在元件安装机中使用的吸嘴的立体图。

图3是表示吸嘴清洁器的外观及功能块的说明图。

图4是表示以吸嘴为对象的各种检查的结果和将该检查的结果与吸嘴的识别信息建立关联而得到的统计信息的图。

图5是表示维护管理处理的流程图。

图6是表示在元件安装机中使用的安装头的外观及功能块的说明图。

图7是表示头清洁器的外观及功能块的说明图。

图8是表示以安装头为对象的各种检查的结果和将该检查的结果与安装头的识别信息建立关联而得到的统计信息的图。

图9是表示在元件安装机中使用的带式供料器的侧视图。

图10是表示供料器维护装置的外观及功能块的说明图。

图11是表示以带式供料器为对象的各种检查的结果和将该检查的结果与带式供料器的识别信息建立关联而得到的统计信息的图。

具体实施方式

1.实施方式

1-1.维护管理装置的概要

维护管理装置将构成生产各种基板制品的生产线的元件安装机中的更换部件作为管理的对象。上述生产线一边在元件安装机等生产装置中依次搬运电路基板(以下，简称为“基板”)bd，一边对应各生产装置执行安装处理等生产处理而生产基板制品。另外，多个生产装置分别能够相互通信、且分别与主机(以下，称为“主pc”)连接为能够通信。

1-2.元件安装机10的结构

如图1所示，元件安装机10具备基板搬运装置11、元件供给装置12、元件移载装置13、吸嘴站14、元件相机15及基板相机16。基板搬运装置11由带式传送器等构成，将基板bd依次朝向搬运方向搬运。基板搬运装置11将基板bd向元件安装机10的机内搬入，并且将基板bd定位于机内的预定位置。基板搬运装置11在基于元件安装机10的元件的安装处理结束之后，将基板bd向元件安装机10的机外搬出。

元件供给装置12供给向基板bd安装的元件。元件供给装置12具有沿x轴方向并排配置的多个插槽121。在多个插槽121分别能够更换地设置有供料器90。供料器90是使收纳有多个元件的载带95(参照图9)进给移动并在位于供料器90的前端侧的供给位置以能够拾取的方式供给元件的带式供料器。供料器90的结构见后述。

元件移载装置13具备头驱动装置131及移动台132。头驱动装置131构成为能够通过直动机构使移动台132沿x轴方向及y轴方向移动。在移动台132，通过未图示的夹持构件能够更换地固定有安装头80。安装头80拾取由元件供给装置12供给的元件并将其向基板bd的预定的安装位置安装。

在安装头80能够装卸地设有一个或多个吸嘴70。在本实施方式中，安装头80是在以与z轴平行的r轴为中心的圆周上保持有多个吸嘴70的旋转式。吸嘴70及安装头80的结构见后述。吸嘴站14将多个吸嘴70保持为吸嘴轴73朝向下方的姿态。吸嘴站14能够装卸地设置于元件安装机10的基台。

元件相机15及基板相机16是具有ccd(chargecoupleddevice)、cmos(complementarymetaloxidesemiconductor)等拍摄元件的数码式拍摄装置。元件相机15及基板相机16基于外部输入的控制信号进行拍摄。元件相机15及基板相机16送出通过拍摄而取得的图像数据。

元件相机15以使光轴成为z轴方向朝上的方式固定于元件安装机10的基台。元件相机15构成为能够从下方拍摄被吸嘴70保持的元件。基板相机16以使光轴成为z轴方向朝下的方式设于元件移载装置13的移动台132。基板相机16构成为能够从上方拍摄基板bd。

安装控制装置17主要由cpu、各种存储器、控制电路构成。在向基板bd安装元件的安装处理中，安装控制装置17输入从在元件安装机10设置有多个的各种传感器输出的信息、基于图像处理等的识别处理的结果。并且，安装控制装置17基于控制程序、预先设定的规定的安装条件等，朝向元件移载装置13送出控制信号。由此，控制被安装头80支撑的吸嘴70的位置及旋转角度。

1-3.维护管理装置20的概要及结构

由上述那样的结构形成的元件安装机10中的更换部件为了在基于元件安装机10的安装处理中不产生安装错误，需要适当地进行性能维持。元件安装机10中的更换部件能够更换地设置于元件安装机10等。具体地说，在更换部件中包含吸嘴70、安装头80及供料器90。

此外，也可以将保持多个吸嘴70的吸嘴站14、被安装头80保持为能够更换的吸嘴工具82(参照图6)、保持该吸嘴工具的工具站(未图示)作为更换部件。此外，这些更换部件除了通过操作者的作业而被更换以外，有时也通过元件安装机10、外部装置而被自动地更换。维护管理装置20通过统计地把握吸嘴70等更换部件的状态而将安装错误的产生防患于未然，实现生产效率的维持。

如图1所示，维护管理装置20具备存储装置21、信息管理部22、吸嘴清洁器30、头清洁器40及供料器维护装置50。在本实施方式中，存储装置21及信息管理部22被装入到监视生产线的动作状况并且统一管理生产线的主pc。存储装置21由硬盘、闪存等构成。在存储装置21中存储有更换部件的检查的结果(min、mih、mif)、基于检查的结果而生成的统计信息(msn、msh、msf)、生产线中的生产计划等信息。

信息管理部22向存储装置21存储将检查装置的多次检查的结果分别与作为检查对象的多个更换部件的每个识别信息建立关联而得到的统计信息(msn、msh、msf)。基于信息管理部22的统计信息的更新处理见后述。在本实施方式中，以更换部件为对象的检查是通过对应更换部件的每个种类而不同的多个检查装置来执行的。具体地说，检查装置是被装入到吸嘴清洁器30、头清洁器40及供料器维护装置50的检查单元32、42、52(参照图3、图7、图10)。

1-4.吸嘴70的结构

如图2所示，吸嘴70具有形成为筒状的主体轴71。主体轴71作为被安装头80保持的主体部发挥功能。在主体轴71的轴向上的一端侧(图2的下侧)形成有圆盘状的凸缘72。吸嘴70具有形成为从主体轴71沿轴向延伸的管状的吸嘴轴73。主体轴71及吸嘴轴73形成吸嘴70中的负压流路。吸嘴轴73通过经由主体轴71供给的负压而保持与前端部接触的元件。

另外，吸嘴轴73构成为能够相对于主体轴71沿轴向伸缩。更加详细地说，吸嘴轴73被未图示的弹性构件向从主体轴71进出的方向施力。在由主体轴71及吸嘴轴73构成的吸嘴70的伸缩部向吸嘴轴73的前端部施加有朝向主体轴71侧的载荷的情况下，吸嘴轴73相对于主体轴71滑动，克服基于上述弹性构件的弹性力而收缩。另外，在凸缘72的上表面标注识别码74。在识别码74中包含吸嘴70的识别信息(id)、种类等固有信息。

1-5.吸嘴清洁器30的结构

如图1所示，吸嘴清洁器30是相对于元件安装机10的外部装置。在本实施方式中，吸嘴清洁器30是将处于保持有多个吸嘴70的状态的吸嘴站14搬入而进行以该吸嘴70为对象的清洗、检查及保管的吸嘴管理装置。

另外，吸嘴清洁器30具有如下功能：根据要求将保管的吸嘴70向吸嘴站14移载，从而辅助元件安装机10的换产调整。如图3所示，吸嘴清洁器30具备清洗单元31、检查单元32、吸嘴储料器33、吸嘴移动装置34、控制装置35及排出箱36。

清洗单元31对吸嘴70的负压流路及伸缩部进行清洗。更加详细地说，清洗单元31在未图示的清洗库中进行吸嘴70的清洗及干燥。在清洗处理中，清洗单元31例如使吸嘴70的内部流通高压的清洗流体(空气、清洗液)，另外对吸嘴70的外表面喷射高压的空气或水等清洗液而进行清洗。另外，清洗单元31执行通过未图示的送风装置来吹飞水分而使被执行了清洗处理的吸嘴70干燥的干燥处理。

检查单元32是在吸嘴清洁器30中进行以吸嘴70为对象的各种检查的检查装置。在本实施方式中，如图4的表1所示，在检查单元32的检查的项目中包含吸嘴70的外形、负压流路的流量及伸缩部的滑动阻力。更加详细地说，检查单元32例如通过未图示的相机来拍摄被吸嘴移动装置34保持的吸嘴70，基于通过该拍摄而取得的图像数据，检查吸嘴70的外形。由此，确认吸嘴70的变形、缺损、附着物的有无等。

另外，检查单元32使用未图示的测力计，检测吸嘴70的吸嘴轴73朝向主体轴71的内部滑动时的载荷。基于测力计的测定值比规定值大的吸嘴70被假定为滑动阻力因滑动部的污染等要因而变大。此外，检查单元32对应各种检查来判定是否良好，并且记录是否良好判定的结果中的是否良好的程度。另外，检查单元32有时以被清洗单元31清洗的吸嘴70为对象进行适当种类的检查，再次判定是否良好。

具体地说，如图4的表1所示，检查单元32对应作为检查对象的吸嘴70的每个识别信息(id：nx511、nx512……)记录检查时间(d1：h1、d2：h1……)和各检查项目的测定值。例如，吸嘴70的外形的测定值(sa20、sa19……)表示相对于理想的外形的变形的程度。检查单元32基于测定值和合格与否的基准，记录各检查项目的合格与否(○、ng)。即，各个测定值表示各种检查项目中的是否良好判定的结果中的是否良好的程度。

吸嘴储料器33是构成为能够收纳多个吸嘴的收纳库。吸嘴储料器33将吸嘴70向未图示的保管货盘移载，在对应多个保管货盘的各保管货盘而不同的保管位置收容保管货盘。在本实施方式中，在吸嘴储料器33设有操作者能够取出吸嘴70的一般区域331和仅能够由具有预定的权限的管理者取出吸嘴70的管理区域332。

吸嘴储料器33的一般区域331是通过操作者打开吸嘴清洁器30的门而能够进行朝向保管货盘的访问的区域。与此相对地，吸嘴储料器33的管理区域332例如是借助能够通过管理者所具有的密钥来进行解锁的带密钥的门来限制朝向保管货盘的访问的区域。由此，吸嘴储料器33构成为能够以操作者无法自由地取出被管理区域332保管的吸嘴70的方式进行管理。

吸嘴移动装置34使吸嘴70在清洗单元31、检查单元32、吸嘴储料器33、吸嘴站14的设置位置、排出箱36之间移动。吸嘴移动装置34具有通过未图示的保持卡盘逐一把持吸嘴70并使吸嘴70在三维方向上移动的机构。由此，吸嘴70在与清洗、检查、保管相应的货盘和吸嘴站14之间被适当移载。

进而，吸嘴移动装置34具备使保管货盘向吸嘴储料器33的一般区域331或管理区域332移动的机构。另外，在吸嘴移动装置34设有能够读取吸嘴70的识别码74、标注于吸嘴站14的识别码等的读码器(未图示)。

控制装置35是主要由cpu、各种存储器、控制电路构成的控制器。控制装置35构成为与作为外部装置的主计算机连接为能够通信，能够共用各种信息。控制装置35控制包括各种清洗处理、各种检查处理、吸嘴70的移载在内的保管处理。排出箱36例如存放基于检查单元32的检查结果而被判定为不良的吸嘴70。排出箱36被划分为多个空间，例如被应用于对应各不良要因的分类。

1-6.基于维护管理装置20的维护管理处理

如图1所示，上述维护管理装置20的信息管理部22存储将检查装置(检查单元32等)的多次检查的结果分别与多个更换部件(吸嘴70等)的每个识别信息建立关联而得到的统计信息等。以下，为了简化说明，将本实施方式中的“更换部件”说明为“吸嘴70”。

在通过检查单元32来检查多个吸嘴70并取得或更新检查的结果min(参照图4的表1)的情况下，信息管理部22生成或更新吸嘴70的统计信息msn。由此，如图4的表2所示，在统计信息msn中，对应吸嘴70的每个识别信息(nx511、nx512……)的检查项目(外形、流量、滑动阻力)统计地示出了多次检查的结果。这样，统计信息msn作为表示更换部件、即吸嘴70的性能水准的指标，能够应用于各种判断、分析中。

在本实施方式中，信息管理部22将表示针对吸嘴70的是否良好判定的执行次数与合格次数的比例的合格率与吸嘴70的识别信息建立关联并存储为统计信息msn。在被吸嘴清洁器30保管的吸嘴70中，在通过是否良好判定判定为不合格之后，例如有时通过清洗单元31来执行预定的清洗处理，在再一次的是否良好判定中被判定为合格。

另外，在保管的吸嘴70中能够包含在通过是否良好判定的结果而判定为不合格之后例如经由操作者的修复而被允许使用的吸嘴70。对于上述这样的吸嘴70，作为现状而被允许朝向安装处理的使用，但是记录以往因某种要因而被判定为不良的实际成绩。当吸嘴70的合格率降低时，因不良的要因而在以后的检查中被判定为不良的可能性升高，换言之，在被用于安装处理的情况下考虑为有可能成为安装错误的要因。

为此，信息管理部22基于吸嘴70的每个检查项目的合格率，针对该吸嘴70判断是否允许朝向安装处理的使用。例如，通过将某检查项目的合格率低于阈值的吸嘴70从安装处理的使用中排除，能够将安装错误的产生防患于未然。另外，由于能够防止不必要的清洗处理的执行，因此能够减少管理成本。

另外，在本实施方式中，信息管理部22基于针对吸嘴70的是否良好判定的结果中的是否良好的程度，将表示吸嘴70的当前状态相对于基准状态的恢复比例的恢复率与吸嘴70的识别信息建立关联并存储为统计信息msn。每当吸嘴70等更换部件例如被用于安装处理时，均被执行清洗处理、调整处理，实现适当的性能维持。然而，存在有即使执行清洗等维护性能也未完全恢复的情况。

在此，上述“基准状态”表示发挥吸嘴70等更换部件中的初期或理想的性能的状态。即，若检查项目为吸嘴70的外形，则基准状态相当于吸嘴70的理想的外形。另外，若检查项目是吸嘴70的负压流路的流量，则基准状态相当于规格上的流量或新进货时的流量。并且，恢复率表示通过针对吸嘴70的清洗等维护而使吸嘴70的当前状态恢复至基准状态的何种程度。

吸嘴70在恢复率降低时，即使因不良的要因而进行以后的清洗等维护也无法期待接近基准状态程度的恢复的可能性升高，换言之，考虑为在被用于安装处理的情况下有可能成为安装错误的要因。为此，信息管理部22基于吸嘴70的每个检查项目的恢复率，针对该吸嘴70判断是否允许朝向安装处理的使用。例如，通过将某个检查项目的恢复率低于阈值的吸嘴70从安装处理的使用排除，能够将安装错误的产生防患于未然。另外，由于能够防止不必要的清洗处理的执行，因此能够减少管理成本。

参照图5说明基于上述维护管理装置20的维护管理处理。维护管理处理例如在多个吸嘴70以被吸嘴站14保持的状态被搬入到吸嘴清洁器30时被执行。在此，在吸嘴清洁器30中，针对被搬入的吸嘴70选择执行清洗等维护的运转模式。作为维护工序(步骤10(以下，将“步骤”表示为“s”))，维护管理装置20首先取得识别信息(s11)。

详细地说，吸嘴清洁器30通过读码器来读取吸嘴70的识别码74，从而信息管理部22从吸嘴清洁器30取得识别信息。接下来，信息管理部22基于表示与读取的识别信息相关联的以往的检查的结果的统计信息msn，设定以吸嘴70为对象的清洗的种类、组合及执行次数(s12)。具体地说，在该吸嘴70的合格率、恢复率比预定值低的情况下，将油雾设定为清洗流体，并设定与恢复率等相应的油雾的流量、清洗时间、清洗次数。

接着，吸嘴清洁器30执行在s12中设定的维护(s13)。由此，吸嘴70执行基于统计信息msn的清洗等维护。此外，吸嘴清洁器30也可以针对被搬入的吸嘴站14所保持的多个吸嘴70分别设定维护的种类等(s12)，在与这些相对应的货盘上进行了分类之后，集中地执行相对应的清洗等维护(s13)。

接着，维护管理装置20向检查工序转移(s20)。吸嘴清洁器30的检查单元32通过读码器来读取识别码74，取得检查对象的吸嘴70的识别信息(s21)。并且，检查单元32执行预先决定的检查项目(外形、流量、滑动阻力)的各种检查处理(s22)。由此，检查单元32记录每个检查项目的测定值，并且基于该测定值和合格与否的基准，判定各检查项目的合格与否(○、ng)。

吸嘴70的各种检查的结果min被附加测定值及判定的结果而被更新。与此相伴地，吸嘴70的统计信息msn也同样被更新。具体地说，作为当前值的“最新结果”、“合格率”及“恢复率”被更新。进而，仅对最近n次的检查结果进行统计化而得到的测定值的“平均值”及“趋势”、对全部检查结果进行统计化而得到的测定值的“平均值”及“趋势”被更新。

上述“平均值”是对测定值进行平均化而得到的值。另外，上述“趋势”是表示测定值的变化程度的值。具体地说，信息管理部22例如既可以通过最小二乘法将三个以上的测定值近似而成的直线的倾斜算作上述“趋势”，也可以使三个以上的测定值近似曲线而将最后的测定值中的切线的倾斜算作上述“趋势”。

维护管理装置20基于吸嘴70的检查项目的合格与否等，设定针对吸嘴70的处置的种类(收纳、再清洗、修复、废弃等)(s23)。具体地说，在吸嘴70的全部检查项目均合格的情况下，维护管理装置20以收纳为能够在下次以后的安装处理中使用的方式设定处置(s23)。维护管理装置20以将该吸嘴70收纳于吸嘴储料器33的一般区域331的方式使吸嘴70向对应的货盘移载(s24)。

另一方面，在吸嘴70的全部检查项目并未合格的情况下，维护管理装置20针对吸嘴70，基于合格率等设定基于清洗单元31的再次清洗、基于超声波清洗机的清洗、基于操作者的修复、废弃等处置的种类(s23)。具体地说，维护管理装置20在伸缩部的滑动阻力不合格、且恢复率直到阈值为止处于预定值以内的情况下，以将清洗流体变更为油雾并执行再一次的清洗处理、或进行基于超声波清洗机的清洗的方式设定处置的种类。

与此相对地，维护管理装置20在吸嘴70的外形发现缺损的情况下、形成为不合格的检查项目的恢复率直到阈值为止具有预定值以上的差的情况下，以进行操作者的修复、或使吸嘴70朝向废弃箱移动的方式设定处置的种类。进而，维护管理装置20例如在形成为不合格的检查项目的合格率比区别于合格与否判定用的阈值的第二阈值低的情况下，以将该吸嘴70收纳于吸嘴储料器33的管理区域332的方式使吸嘴70向对应的货盘移载(s24)。

这样，维护管理装置20通过在管理区域332收纳预定的吸嘴70，限制该吸嘴70被错误地取出等而被用于以后的安装处理。如上所述，在通过吸嘴移动装置34使吸嘴70从检查单元32向吸嘴储料器33移动时，维护管理装置20基于关于吸嘴70的统计信息msn，切换一般区域331或管理区域332。这样，能够基于统计信息msn，在预定的权限之下管理具有难以判断外观不良等潜在的不良的要因的吸嘴70。由此，能够防止因操作者的错误识别而导致不良的吸嘴70被用于以后的安装处理。

接着，维护管理装置20在s23中判定为吸嘴70不良并进行废弃(包括朝向管理区域332的收纳)、且判定能够代替吸嘴70的种类的库存数量是否不足预定值(s25)。吸嘴70根据吸附对象的元件种类而被划分为多个种类，根据种类而相互能够代替。另外，即使对吸嘴70实施了清洗等维护，当进展到某种程度的劣化时，依旧将其废弃。如此一来，即使在吸嘴70的废弃数量达到一定值的情况下，也需要确保以后的安装处理所需的数量。

为此，维护管理装置20在能够代替吸嘴70的种类的库存数量不足预定值的情况下(s25：是)，发送与吸嘴70的不足相关的信息(s26)。具体地说，维护管理装置20例如对操作者、保管能够代替的种类的吸嘴70的邻近的仓库发送包括不足的吸嘴70的种类及数量在内的信息。由此，与不足信息相对应地从仓库提供吸嘴70，并对操作者进行引导以使得该仓库接受吸嘴70。另外，也可以利用与上述不足相关的信息，自动地订购不足的种类的吸嘴70。

接着，维护管理装置20在吸嘴70的全部检查项目合格、或能够代替废弃对象的吸嘴70的种类的库存数量为预定值以上的情况下(s25：否)、或在s26中发送了与不足相关的信息之后，信息管理部22判定统计信息msn中的吸嘴70的检查的结果是否满足一定的基准(s27)。上述“一定的基准”是是否作为检查结果而进行通知的基准，区别于关于检查项目的测定值的合格与否的基准，由操作者、管理者任意地设定。

具体地说，作为一定的基准，能够对应各个检查项目设定表示测定值大幅低于假定范围的值、表示测定值合格但是合格率、恢复率劣化的值、表示判定为废弃对象的吸嘴70被收纳于吸嘴储料器33的管理区域332的值。在统计信息msn中的吸嘴70的检查的结果不满足一定的基准的情况下(s27：否)，信息管理部22将吸嘴70的识别信息及统计信息msn中的对应的部分通知给操作者(s28)。

由此，操作者除了关于检查项目的测定值的合格与否判定以外，还能够接收基于统计信息msn的通知，取得该吸嘴70的信息。以往，仅储存基于检查单元32的测定值，难以根据该储存的信息把握例如各个吸嘴70的劣化状态等趋势。与此相对地，采用上述那样的结构，操作者被通知唤起注意，能够在该吸嘴70成为不良之前进行设为维护对象等的对策。

维护管理装置20如上所述地执行维护工序(s10)及检查工序(s20)，结束维护管理处理。另外，以在s23中再次执行清洗等维护的方式设定处置的吸嘴70被清洗单元31清洗，并且通过检查单元32再次判定是否良好。维护管理装置20进一步输入这样的再一次的检查的结果，更新统计信息msn。并且，与上述相同，执行维护管理处理。

如上所述，维护管理装置20构成为在维护管理处理中选择执行清洗等维护的运转模式，依次执行维护工序(s10)及检查工序(s20)。与此相对地，维护管理装置20也可以在维护管理处理中执行了关于各种检查项目(外形、流量、滑动阻力等)中的至少一项的检查处理之后，基于检查结果的合格与否等，设定处置的种类(收纳、清洗、修复、废弃等)，根据需要执行维护工序(s10)。

2.实施方式的第一变形方式

2-1.第一变形方式的概要

在实施方式中，示例说明了以维护管理装置20为对象的元件安装机10的更换部件是吸嘴70的结构。与此相对地，以维护管理装置20为对象的元件安装机10的更换部件也可以是安装头80。以下，说明“更换部件”为“安装头80”的第一变形方式。

2-2.安装头80的结构

如图6所示，安装头80具有被元件移载装置13的移动台132夹持的头主体81。在头主体81设有吸嘴工具82、工具驱动装置83及空气供给装置84。吸嘴工具82在与r轴同心的圆周上沿周向等间隔地将多个吸嘴70保持为能够沿z轴方向滑动且能够绕θ轴旋转。在安装头80中存在有能够装卸吸嘴工具82的类型和与吸嘴工具82固定为一体的类型。此外，上述θ轴是与r轴平行且通过各个吸嘴70的轴心的吸嘴70的自转轴。

工具驱动装置83由马达、减速装置、直动机构等构成，绕吸嘴70的θ轴进行角度定位，并且沿z轴方向进行定位。工具驱动装置83具备r轴驱动部831、θ轴驱动部832及z轴驱动部833。r轴驱动部831使吸嘴工具82相对于头主体81绕r轴旋转。θ轴驱动部832使多个吸嘴70各自绕θ轴旋转。z轴驱动部833使多个吸嘴70中的、在头主体81中的规定位置处得出的一个吸嘴70沿z轴方向升降。

空气供给装置84通过未图示的空气泵产生负压或正压，经由形成于安装头80的内部的空气流路向吸嘴70供给负压或正压。空气供给装置84具备负压流路841、正压流路842及阀843。负压流路841是在向吸嘴70供给负压时所使用的空气流路。正压流路842是在向吸嘴70供给正压时所使用的空气流路。阀843例如通过步进马达(未图示的)而进行动作，切换空气流路中的负压的供给、正压的供给及遮断。

2-3.头清洁器40的结构

如图1所示，头清洁器40是针对元件安装机10的外部装置。在本实施方式中，头清洁器40是将安装头80搬入而进行以该安装头80为对象的清洗及检查的头管理装置。头清洁器40在通过夹持机构来安装安装头80时，能够形成为使安装头80的工具驱动装置83动作另外使空气等在空气供给装置84的空气流路中流通的状态。

如图7所示，头清洁器40具备清洗单元41、检查单元42及控制装置43。清洗单元41对安装头80中的空气供给装置84的负压流路841及正压流路842进行清洗。详细地说，在清洗处理中，清洗单元41向安装头80的空气流路供给由正压空气或油雾形成的清洗流体。另外，在清洗处理中，清洗单元41一边供给清洗流体，一边使工具驱动装置83、空气供给装置84适当地动作。

具体地说，清洗单元41在供给清洗流体的状态下使工具驱动装置83的z轴驱动部833动作而使保持吸嘴70的吸嘴轴升降、或使空气供给装置84的阀843动作而切换清洗流体的流通路线。此外，根据清洗种类，适当地设定在清洗处理中供给的清洗流体的种类、供给量、供给时的工具驱动装置83、空气供给装置84的动作。

检查单元42是在头清洁器40中进行以安装头80为对象的各种检查的检查装置。在本实施方式中，如图8的表1所示，在检查单元42的检查项目中包含安装头80的驱动部(r轴驱动部831、θ轴驱动部832、z轴驱动部833)的驱动载荷、负压流路841的流量、正压流路842的流量。详细地说，检查单元42例如以对安装头80的驱动部进行规定的动作的方式进行指令，基于该动作的所需时间，检查驱动部的驱动载荷。由此，确认驱动部的污染的程度等。

另外，检查单元42向安装头80的空气流路供给负压或正压，通过未图示的流量测定传感器来测定负压流路841及正压流路842中的空气的流量。在检查处理中，检查单元42在供给负压或正压的状态下使吸嘴工具82绕r轴旋转、或使保持吸嘴70的吸嘴轴绕θ轴旋转、或使其沿z轴方向升降，检查各种状态下的流量是否合适。在安装头80的空气流路中的流量降低的情况下，假定在空气流路中存在有污染、或可动部的润滑性降低。

此外，检查单元42对应各种检查判定是否良好，并且记录是否良好判定的结果中的是否良好的程度。另外，检查单元42有时以被清洗单元41清洗的安装头80为对象进行适当种类的检查，再次判定是否良好。具体地说，如图8的表1所示，检查单元42对应作为检查对象的安装头80的每个识别信息(id：hx621、hx622……)记录检查时间(d4：h1、d5：h1……)和各检查项目的测定值。

例如，安装头80的驱动部的驱动载荷的测定值(daa30、daa29……)表示r轴驱动部831等的驱动载荷。除了r轴驱动部831以外，在驱动部的驱动载荷中还包含未图示的θ轴驱动部832、z轴驱动部833的驱动载荷。检查单元42基于测定值和合格与否的基准，记录各检查项目的合格与否(○、ng)。即，各个测定值表示各种检查项目中的是否良好判定的结果中的是否良好的程度。

控制装置43是主要由cpu、各种存储器、控制电路构成的控制器。控制装置43构成为与作为外部装置的主pc连接为能够通信，能够共用各种信息。控制装置43控制各种清洗处理及各种检查处理。另外，控制装置43通过与安装头80通信而取得存储于安装头80的识别信息(id)。

2-4.基于维护管理装置20的维护管理处理

如上所述，在“更换部件”是“安装头80”的情况下，信息管理部22通过检查单元42来检测安装头80，在取得或更新了检查的结果mih(参照图8的表1)的情况下，生成或更新安装头80的统计信息msh。由此，如图8的表2所示，在统计信息msh中，对应安装头80的每个识别信息(hx621、hx622……)的检查项目(驱动载荷、负压流量、正压流量)统计地表示多次检查的结果。

在本变形方式中，信息管理部22将表示针对安装头80的是否良好判定的执行次数与合格次数的比例的合格率与安装头80的识别信息建立关联并存储为统计信息msh。被搬入到头清洁器40的安装头80在通过是否良好判定判定为不合格之后，例如有时通过清洗单元41来执行预定的清洗处理，在再一次的是否良好判定中被判定为合格。

此外，对于安装头80的统计信息msh中的合格率、恢复率、最近n次的平均值及趋势、全部平均值及趋势，由于与在实施方式中示例的吸嘴70的统计信息msh相对应，因此省略详细的说明。另外，对于基于上述维护管理装置20的维护管理处理也相同，由于与在实施方式中将吸嘴70示例为更换部件的方式实质上相同，因此省略详细的说明。以下，仅说明不同点。

在此，在实施方式中的维护管理处理的检查工序(s20)中，设定针对作为更换部件的吸嘴70的处置的种类(s23)，之后，使吸嘴70向对应的货盘移载(s24)。与此相对地，由于以安装头80为对象的头清洁器40不具有保管安装头80的保管库，因此省略上述更换部件的移载处理(s24)。

另外，在s23中设定的处置的种类中，作为更换部件即安装头80的修复，能够包含与构成安装头80的更换元件的更换相伴的修复。因此，在s25中，维护管理装置20在s23中基于统计信息msh判定为修复安装头80、且判定修复所需的更换元件的库存数量是否不足预定值(s25)。并且，当库存数量不足预定值时(s25：是)，维护管理装置20发送与更换元件的不足相关的信息(s26)。另外，也可以利用与上述不足相关的信息，自动地订购不足的更换元件。

3.实施方式的第二变形方式

3-1.第二变形方式的概要

在实施方式中，举例说明了维护管理装置20作为对象的元件安装机10的更换部件是吸嘴70的结构。与此相对地，维护管理装置20作为对象的元件安装机10的更换部件也可以是供料器90。以下，说明“更换部件”是“供料器90”的第二变形方式。

3-2.供料器90的结构

如图9所示，供料器90具备供料器主体91、驱动装置92及带传感器93。供料器主体91设置于元件供给装置12的插槽121。在供料器主体91形成有支撑插入的载带(以下，简称为“带”)95的导轨。驱动装置92配置于将元件供给为能够拾取的供料器主体91的前部侧。驱动装置92具有设于供料器主体91的下方的多个带齿卷盘。

多个带齿卷盘分别与设于带95的卡合孔卡合。驱动装置92使作为未图示的驱动源的步进马达旋转，使多个带齿卷盘向预定方向旋转预定量。由此，供料器90构成为能够使带95沿供料器主体91的导轨进给移动。

在本变形方式中，带传感器93检测带95的接合部。在供料器90中存在有如下类型：通过将多个带95的带端彼此接合而防止与元件用尽相伴的元件的供给的中断。如上所述，在将带端彼此接合的拼接处理中，例如使用有金属的接合构件。带传感器93通过检测部检测静电容量的变化，从而检测接合构件(即，带95的接合部)已通过供料器主体91的导轨上的预定位置这一情况。

此外，在供料器90中存在有如下类型：当带95插入到位于供料器主体91的后部的带95的插入部时，使带95向元件的取出部侧进给移动而自动装载带95。在这样的自动装载类型的情况下，在靠近插入部的导轨的下方设有与上述驱动装置92相同的驱动装置。另外，在自动装载类型的情况下，带传感器93能够被用于带95的有无、带端的检测。

3-3.供料器维护装置50的结构

如图1所示，供料器维护装置50是针对元件安装机10的外部装置。在本变形方式中，供料器维护装置50将拆除了罩的状态下的供料器90搬入而进行以该供料器90为对象的清洗、调整及检查。供料器维护装置50形成为在将供料器90搬入时使供料器90的驱动装置92动作另外能够取得带传感器93的检测值的状态。供料器维护装置50具备清洗单元51、检查单元52、调整单元53及控制装置54。

清洗单元51对供料器90的驱动装置92及带传感器93的检测部进行清洗。详细地说，在清洗处理中，清洗单元51对驱动装置92的带齿卷盘等吹送空气，去除灰尘等异物。在清洗的对象中，除了驱动装置92的带齿卷盘以外，还包含向带齿卷盘传递驱动源的旋转力的齿轮等传递机构、辅助带95的进给移动的辊(未图示)。另外，在清洗处理中，清洗单元51将清洗液向驱动装置92中的齿轮的啮合部位喷雾，去除附着于啮合部位的旧的润滑剂。此外，根据清洗种类适当设定在清洗处理中使用的清洗流体(空气、清洗液)的种类、供给量、清洗位置。

检查单元52是在供料器维护装置50中进行以供料器90为对象的各种检查的检查装置。在本变形方式中，如图11的表1所示，在检查单元52的检查的项目中包含供料器90的驱动装置92的动作精度、驱动装置92的驱动载荷及带传感器93的检测灵敏度。详细地说，检查单元52例如使供料器90的驱动装置92动作，基于实际上带95、检查用的主带被进给移动的量、该动作所需的转矩，检测驱动装置92的动作精度、驱动载荷。由此，确认驱动装置92的污染的程度、润滑性等。

另外，检查单元52通过使带传感器93检测金属的被检体来测定带传感器93的检测灵敏度。由此，在带传感器93无法正常地检测带95的接合部的情况下，假定在带传感器93的检测部附着有污染。

此外，检查单元52对应各种检查判定是否良好，并且记录是否良好判定的结果的是否良好的程度。另外，检查单元52有时以被清洗单元51清洗的供料器90、或被后述的调整单元53调整的供料器90为对象进行适当种类的检查，再次判定是否良好。具体地说，如图11的表1所示，检查单元52对应作为检查对象的供料器90的每个识别信息(id：fx841、fx842……)记录检查时间(d7：h1、d8：h1……)和各检查项目的测定值。

例如，供料器90的驱动装置92的动作精度的测定值(ca15、ca14……)表示实际上的带95的移动量相对于驱动装置92中的驱动源的动作量的偏差。检查单元52基于测定值和合格与否的基准，记录各检查项目的合格与否(○、ng)。即，各个测定值表示各种检查项目中的是否良好判定的结果中的是否良好的程度。

调整单元53调整供料器90的驱动装置92等。详细地说，在调整处理中，调整单元53为了使驱动装置92的带齿卷盘旋转一定量而对带95进行精确地间距进给，计算与带齿卷盘相对于供料器主体91的角度相应的朝向驱动源的指令动作量的修正值。另外，在调整处理中，调整单元53将润滑剂向驱动装置92中的齿轮的啮合部位供给。此外，根据调整种类而适当设定在调整处理中使用的润滑剂的种类、供给量、供给位置。

控制装置54是主要由cpu、各种存储器、控制电路构成的控制器。控制装置54构成为与作为外部装置的主pc连接为能够通信，能够共用各种信息。控制装置54控制各种清洗处理及各种检查处理。另外，控制装置54通过与供料器90通信而取得存储于供料器90的识别信息(id)。

3-4.基于维护管理装置20的维护管理处理

如上所述，在“更换部件”是“供料器90”的情况下，信息管理部22通过检查单元52来检查供料器90，在取得或更新了检查的结果mif(参照图11的表1)的情况下，生成或更新供料器90的统计信息msf。由此，如图11的表2所示，在统计信息msf中，对应供料器90的每个识别信息(fx841、fx842……)的检查项目(动作精度、驱动载荷、检测灵敏度)统计地示出多次检查的结果。

在本变形方式中，信息管理部22将表示针对供料器90的是否良好判定的执行次数与合格次数的比例的合格率与供料器90的识别信息建立关联并存储为统计信息msf。被搬入到供料器维护装置50的供料器90在通过是否良好判定判定为不合格之后，例如有时通过清洗单元51来执行预定的清洗处理、或通过调整单元53来执行预定的调整处理，在再一次的是否良好判定中被判定为合格。

此外，对于供料器90的统计信息msf中的合格率、恢复率、最近n次的平均值及趋势、全部平均值及趋势，由于与在实施方式中示例的吸嘴70的统计信息msf相对应，因此省略详细的说明。另外，对于基于上述维护管理装置20的维护管理处理也相同，由于与在实施方式的第一变形方式中将安装头80示例为更换部件的方式实质上相同，因此省略详细的说明。

4.其它变形方式

在实施方式、第一变形方式及第二变形方式中，维护管理装置20构成为将信息管理部22装入到主pc的结构。与此相对地，信息管理部22也可以构成为被装入到具备检查装置(检查单元32、42、52)的装置(30、40、50)。并且，在信息管理部22被装入到各装置的结构中，既可以各自配合而构成一个维护管理装置20，也可以各自独自运转。

另外，检查装置(检查单元32、42、52)也可以构成为在元件安装机等生产装置中装入至少一部分功能的结构。例如，在安装头80设有测定空气流路中的空气压的压力传感器的情况下，维护管理装置20也可以使用压力传感器来测定负压流路841及正压流路842中的空气的流量。另外，维护管理装置20也可以使用元件相机15、基板相机16来拍摄吸嘴70，基于通过拍摄而取得的图像数据，检查吸嘴70的外形。进而，例如，在为了使通过吸嘴70而将元件向基板安装时的按压力形成为合适而在元件安装机的机内设有校正用的测力计的情况下，维护管理装置20使用该测力计来测定吸嘴70的滑动阻力。

进而，清洗单元31、41、51也可以构成为在元件安装机等生产装置中装入至少一部分功能。例如，在向元件安装机的安装头80供给有正压的空气的情况下，维护管理装置20也可以以该空气为清洗流体而向被安装头80及安装头80保持的状态下的吸嘴70供给，对形成于安装头80的空气流路、吸嘴70的负压流路进行清洗。上述那样的生产装置中的检查处理、清洗处理能够在连续的生产处理(例如，基于元件安装机的安装处理)之间被适当执行。另外，能够使现有的设备兼顾生产装置中的检查处理、清洗处理，能够实现设备成本的减少。此外，也可以构成为在生产装置设有专用的检查单元、清洗单元。

另外，维护管理装置20作为对象的更换部件在实施方式中为吸嘴70，在第一变形方式中为安装头80，在第二变形方式中为供料器90。与此相对地，如实施方式中所述的那样，只要是能够更换地设置于元件安装机10等、且是作为检查对象的构件，则除了上述以外，维护管理装置20也可以以吸嘴站14、吸嘴工具82、工具站、除安装头80以外作业头(检查头、粘结剂涂敷头)作为更换部件。

另外，在实施方式等中，在统计信息(msn、msh、msf)中包含合格率、恢复率、平均值及趋势。与此相对地，只要是进一步与更换部件的识别信息建立关联的信息，则能够向统计信息(msn、msh、msf)附加各种信息。具体地说，能够假定为表示上述更换部件被用于安装处理时的安装条件(移动速度、使用次数、使用频度等)、更换部件的管理状态、供给主、将更换部件设置于元件安装机10的操作者、时期、以往执行的维护的种类、进行维护的作业者等的信息。

通过将上述那样的信息向统计信息(msn、msh、msf)附加，例如在产生有某些不良的情况下，能够辅助基于与产生有同样的不良的更换部件共用的信息的不良的要因的得出。由此，当得出不良的要因时，通过进行安装条件的变更等而能够防止安装错误的产生。这样，维护管理装置20能够通过统计地管理各种信息来提高维护的管理性。作为结果，能够将安装错误的产生防患于未然，能够实现生产效率的维持。

5.基于实施方式及变形方式的结构的效果

上述维护管理装置20具备：检查装置(检查单元32、42、52等)，以向基板bd安装元件的元件安装机10中的更换部件(吸嘴70、安装头80、供料器90等)作为对象来检查更换部件；及信息管理部22，存储将检查装置的多次检查的结果分别与作为检查对象的多个更换部件的每个识别信息建立关联而得到的统计信息msn、msh、msf。

采用这样的结构，将检查单元32的检查的结果与对应的更换部件(吸嘴70、安装头80、供料器90等)的识别信息(id)建立关联并存储为统计信息msn、msh、msf。这样的统计信息msn、msh、msf是能够应用在用于把握更换部件的性能水准、确定安装错误的要因时的更换部件的性能水准的变化趋势的分析中的有用的信息。例如，当把握了某个更换部件的性能水准的变化趋势时，能够作为是否将该更换部件用于安装处理的判断材料。作为结果，能够以实现生产效率的维持的方式管理维护。

附图标记说明

10：元件安装机20：维护管理装置21：存储装置22：信息管理部30：吸嘴清洁器31：清洗单元32：检查单元(检查装置)33：吸嘴储料器(收纳库)331：一般区域332：管理区域34：吸嘴移动装置(移动装置)35：控制装置36：排出箱40：头清洁器41：清洗单元42：检查单元(检查装置)43：控制装置50：供料器维护装置51：清洗单元52：检查单元(检查装置)53：调整单元54：控制装置70：吸嘴(更换部件)71：主体轴72：凸缘73：吸嘴轴74：识别码80：安装头(更换部件)81：头主体82：吸嘴工具83：工具驱动装置831：r轴驱动部832：θ轴驱动部833：z轴驱动部84：空气供给装置841：负压流路842：正压流路843：阀90：带式供料器(更换部件)91：供料器主体92：驱动装置93：带传感器95：载带。