技术特征：
技术总结
本发明公开了一种混合声波谐振器，在压电薄膜表面第一区域设置有叉指电极，从而使得混合声波谐振器中包括有声表面波谐振器；在压电薄膜表面第二区域设置有至少两个沟槽，相邻沟槽之间形成体声波传播部，在体声波传播部侧表面设置有体声波电极，在体声波电极背向体声波传播部一侧表面设置有空气间隙，从而构成了体声波谐振器，使得混合声波谐振器中同时设置有声表面波谐振器和体声波谐振器，实现了不同种类谐振器的集成；同时在体声波传播部中传递的声波以及在叉指换能器中传递的声波均是沿水平方向传递，保证了混合声波谐振器具有良好的性能。本发明还提供了一种混合声波谐振器的制备方法，所制备而成的混合声波谐振器同样具有上述有益效果。
技术研发人员：李平;胡念楚;贾斌
受保护的技术使用者：开元通信技术（厦门）有限公司
技术研发日：2018.10.30
技术公布日：2019.01.22