吸嘴检查装置及吸嘴收纳库的制作方法

本发明涉及用于收纳能够载置吸嘴的吸嘴托板的吸嘴收纳库。

背景技术：

在向电路基板装配电子元件的电子元件装配机中，使用与电子元件的形状、尺寸等对应的吸嘴，因此需要很多吸嘴。因此，存在用于收纳能够载置吸嘴的吸嘴托板的吸嘴收纳库。具体而言，例如，在下述专利文件所记载的吸嘴收纳库中，用于收纳吸嘴托板的多个收纳部在吸嘴收纳库内循环。并且，向循环到预定位置的收纳部收纳吸嘴托板及从循环到该位置的收纳部取出吸嘴托板。

专利文件1：国际公开第2014/068673号

技术实现要素：

根据上述专利文件所记载的吸嘴收纳库，能够通过收纳多个吸嘴托板来收纳很多吸嘴。然而，在上述专利文件所记载的吸嘴收纳库中，由于用于使收纳部循环的机构等，构造可能会复杂。本发明鉴于上述情况而作出，本发明的课题在于简化吸嘴收纳库的构造。

为了解决上述课题，本申请所记载的吸嘴收纳库具备多个收纳部，上述多个收纳部用于收纳能够载置吸嘴的吸嘴托板，上述吸嘴收纳库的特征在于，上述多个收纳部沿着上下方向排列配置，并且，该吸嘴收纳库具备：臂，用于向上述多个收纳部收纳上述吸嘴托板及从上述多个收纳部取出上述吸嘴托板；第一移动机构，使上述臂在与上述多个收纳部相向的状态下沿着上述多个收纳部的排列方向移动；及第二移动机构，使上述臂向靠近上述多个收纳部的方向及远离上述多个收纳部的方向移动。

发明效果

在本申请所记载的吸嘴收纳库中，多个收纳部沿着上下方向排列配置。并且，臂沿着多个收纳部的排列方向移动，向靠近上述多个收纳部的方向及远离多个收纳部的方向移动。即，通过臂向两个方向的移动，而能够从收纳部取出吸嘴托板及向收纳部收纳吸嘴托板。由此，能够简化用于使臂移动的机构，能够实现吸嘴收纳库的构造的简化。

附图说明

图1是表示电子元件装配装置的立体图。

图2是表示吸嘴的立体图。

图3是表示吸嘴管理装置的立体图。

图4是表示吸嘴管理装置的内部构造的立体图。

图5是表示载置有吸嘴托板的托板移动装置的立体图。

图6是表示托板收纳装置的立体图。

图7是表示支撑臂的立体图。

图8是表示延伸出的状态的支撑臂的立体图。

图9是表示向托板收纳塔收纳吸嘴托板时的托板移动装置的立体图。

图10是表示向托板收纳塔收纳吸嘴托板时的托板移动装置的立体图。

具体实施方式

以下，作为具体实施方式，参照附图详细地说明本发明的实施例。

＜电子元件装配装置的结构＞

图1表示电子元件装配装置(以下，有时简称为“装配装置”)10。装配装置10具有一个系统基座12和在该系统基座12上相邻的两台电子元件装配机(以下，有时简称为“装配机”)14。另外，将装配机14的排列方向称为x轴方向，将与该方向垂直的水平方向称为y轴方向。

各装配机14主要具备装配机主体20、搬运装置22、装配头移动装置(以下，有时简称为“移动装置”)24、装配头26、供给装置28及吸嘴站30。装配机主体20由框架部32和架设于该框架部32上的横梁部34构成。

搬运装置22具备两个输送机装置40、42。上述两个输送机装置40、42以相互平行且沿x轴方向延伸的方式配置于框架部32。两个输送机装置40、42分别通过电磁电动机(省略图示)将支撑于各输送机装置40、42的电路基板沿x轴方向输送。而且，在预定位置由基板保持装置(省略图示)固定地保持电路基板。

移动装置24是xy机器人型的移动装置。移动装置24具备使滑动件50沿x轴方向滑动的电磁电动机(省略图示)和使滑动件50沿y轴方向滑动的电磁电动机(省略图示)。在滑动件50上安装有装配头26，该装配头26通过两个电磁电动机的动作而向框架部32上的任意位置移动。

装配头26向电路基板装配电子元件。在装配头26的下端面设有吸嘴60。如图2所示，吸嘴60由主体筒64、凸缘部66、吸管68及卡定销70构成。主体筒64呈圆筒状，凸缘部66以向主体筒64的外周面伸出的方式被固定。在该凸缘部66的上表面设有二维码71。二维码71是用于识别吸嘴60的固有信息的识别记号。

而且，吸管68呈细管状，在从主体筒64的下端部向下方延伸出的状态下，以能够沿着轴线方向移动的方式保持于主体筒64。在吸管68与主体筒64之间以被压缩的状态配置有弹簧(省略图示)，吸管68通过弹簧的弹力而向从主体筒64的下端部朝下方延伸出的方向被施力。即，通过向吸管68的前端施加克服弹簧的弹力的力而吸管68向主体筒64的内部后退。

而且，卡定销70以沿着主体筒64的径向延伸的方式设于主体筒64的上端部。吸嘴60利用卡定销70，以能够通过一次操作而拆装的方式安装于装配头26。而且，吸嘴60经由负压空气、正压空气通路而与正负压供给装置(省略图示)连通。各吸嘴60通过负压吸附保持电子元件，通过正压使所保持的电子元件脱离。而且，装配头26具有使吸嘴60升降的吸嘴升降装置(省略图示)。通过该吸嘴升降装置，装配头26变更所保持的电子元件的上下方向上的位置。

供给装置28是供料器型的供给装置，如图1所示，配置于框架部32的前方侧的端部。供给装置28具有带式供料器72。带式供料器72以使带化元件卷绕的状态收纳该带化元件。带化元件是将电子元件带化而成的结构。并且，带式供料器72通过送出装置(省略图示)送出带化元件。由此，供料器型的供给装置28通过带化元件的送出而在供给位置供给电子元件。

吸嘴站30具有收纳多个吸嘴60的吸嘴托盘76。在该吸嘴站30中，根据需要而交换安装于装配头26的吸嘴60与收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60等。而且，吸嘴托盘76相对于吸嘴站30能够拆装，能够在装配机14的外部进行收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60的回收、吸嘴60向吸嘴托盘76的补给等。另外，在吸嘴托盘76的上表面设有二维码78。

＜装配机的装配作业＞

在装配机14中，通过上述结构，能够通过装配头26对保持于搬运装置22的电路基板进行装配作业。具体而言，根据装配机14的控制装置(省略图示)的指令，而将电路基板搬运至作业位置，在该位置由基板保持装置固定地保持。而且，带式供料器72根据控制装置的指令而送出带化元件，在供给位置供给电子元件。并且，装配头26向电子元件的供给位置的上方移动，由吸嘴60吸附保持电子元件。接着，装配头26向电路基板的上方移动，将所保持的电子元件向电路基板上装配。

＜在吸嘴站的吸嘴的交换＞

在装配机14中，如上述那样，通过吸嘴60吸附保持由带式供料器72供给的电子元件，并将该电子元件装配到电路基板上。在这样构成的装配机14中，根据电子元件的大小、种类等而变更吸嘴60。即，例如，在吸附保持较大的电子元件时使用直径较大的吸嘴60，在吸附保持较小的电子元件时使用直径较小的吸嘴60。因此，需要根据要制造的电路基板的种类而使用各种吸嘴60，在吸嘴站30中根据要制造的电路基板的种类而收纳有各种吸嘴60。并且，根据需要而交换安装于装配头26的吸嘴60与吸嘴站30所收纳的吸嘴60等。另外，安装于装配头26的吸嘴60与吸嘴站30所收纳的吸嘴60的交换等是公知的方法，因此省略说明。

如上述那样，在吸嘴站30中根据要制造的电路基板的种类而收纳有各种吸嘴60。因此，例如，在作为制造对象的电路基板的种类变更的情况下，从吸嘴站30取下吸嘴托盘76，使用吸嘴管理装置来交换收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60。以下，详细地说明吸嘴管理装置。

＜吸嘴管理装置的结构＞

如图3所示，吸嘴管理装置80大致呈长方体形状，在正面设有用于将吸嘴托盘76收纳到吸嘴管理装置80内或从吸嘴管理装置80取出吸嘴托盘76的门82。在该门82的上方配置有显示各种信息的面板86、用于输入信息等的操作开关88等。

如图4所示，吸嘴管理装置80具有管理装置主体90、托板收纳装置92、吸嘴移载装置94、吸嘴检查装置96及吸嘴清洗装置98。另外，图4是表示取下了吸嘴管理装置80的外壳部件的状态的立体图，表示吸嘴管理装置80的内部构造。

(a)管理装置主体

管理装置主体90由框架部100和架设于该框架部100上的横梁部102构成。框架部100为中空构造，托板收纳装置92以托板收纳装置92的上端部在框架部100的上表面露出的状态配置于框架部100的内部。

(b)托板收纳装置

托板收纳装置92是收纳图5所示的吸嘴托板110的装置。在吸嘴托板110上形成有多个载置孔112。载置孔112在上下方向上贯通吸嘴托板110，载置孔112的内径大于吸嘴60的吸管68的外径，小于凸缘部66的外径。因此，在吸管68插通于载置孔112的状态下载置吸嘴60。

在吸嘴托板110上，在相邻的两个角部形成有两个臂用卡合孔114，在上述两个臂用卡合孔114附近形成有两个托架用卡合孔116。而且，在吸嘴托板110的其他角部设有二维码118。此外，在吸嘴托板110的除了设有二维码118的角部以外的三个角部设有三个基准标记120。

托板收纳装置92是收纳上述构造的吸嘴托板110的装置。如图6所示，托板收纳装置92具有托板移动装置130和托板收纳塔132，上述托板移动装置130与托板收纳塔132以彼此相向的方式配置。

托板移动装置130由支撑臂134和臂移动机构136构成。如图7所示，支撑臂134由臂部138和基端部140构成。臂部138大致呈“コ”字型，开口一侧的端部作为前端部发挥作用。即，臂部138的前端部延伸成两条。基端部140位于臂部138的前端部的相反侧的端部。在臂部138的基端部140侧形成有两个卡合销146。上述两个卡合销146形成于与吸嘴托板110的两个臂用卡合孔114对应的位置，卡合销146的外径小于臂用卡合孔114的内径。而且，“コ”字型的臂部138的开口部的尺寸、即臂部138的延伸成两条的前端部的间隔小于吸嘴托板110的宽度。因此，如图5所示，在臂部138的上表面载置吸嘴托板110，在该状态下，臂部138的两个卡合销146与吸嘴托板110的两个臂用卡合孔114卡合。由此，吸嘴托板110不会产生错位地由支撑臂134适当地支撑。而且，如图7所示，在臂部138的下表面侧安装有反射板148。

如图6所示，臂移动机构136具有基座150、上部罩152、导轨154、螺纹机构156、第一滑动件158及第二滑动件(参照图8)160。导轨154以沿上下方向延伸的方式配置，下端部固定于基座150。而且，在导轨154的上端部固定有上部罩152。

螺纹机构156由螺纹杆162和螺母164构成。在螺纹杆162的外周面形成有外螺纹(省略图示)，螺纹杆162以沿上下方向延伸的方式与导轨154平行地配置。螺纹杆162的下端部经由轴承166而保持于基座150，螺纹杆162的上端部经由轴承(参照图5)168而保持于上部罩152。由此，螺纹杆162以能够绕其轴心旋转的方式由基座150和上部罩152保持。另外，螺纹杆162通过电磁电动机(省略图示)的驱动而以能够控制的方式绕轴心旋转。

另一方面，如图8所示，螺母164与形成于螺纹杆162的外周面的外螺纹螺合。而且，螺母164固定于第一滑动件158。在该第一滑动件158形成有在上下方向上贯通的贯通孔(省略图示)。并且，导轨154插通该贯通孔，第一滑动件158沿着导轨154移动。通过这样的构造，螺纹杆162通过电磁电动机的驱动而旋转，由此第一滑动件158沿着导轨154而向上下方向上的任意位置移动。

而且，在第一滑动件158的上表面，以向托板收纳塔132延伸出的方式形成有滑动槽170。另一方面，在第二滑动件160的背面形成有突起部(省略图示)，该突起部以能够滑动的方式与滑动槽170嵌合。由此，第二滑动件160在第一滑动件158的上表面，沿着滑动槽170移动。另外，第二滑动件160通过电磁电动机(省略图示)的驱动，而沿着滑动槽170向任意位置移动。

而且，支撑臂134在使臂部138的前端部朝向托板收纳塔132的状态下，在基端部140固定于第二滑动件160。通过这样的构造，通过螺纹杆162旋转，支撑臂134沿上下方向移动，通过第二滑动件160沿着滑动槽170滑动，支撑臂134接近、远离托板收纳塔132。

而且，如图6所示，托板收纳塔132呈一个侧壁被切除的四方筒形状，被切除的部位与托板移动装置130相向。即，托板收纳塔132由三个壁面180、182、184构成，上述三个壁面180、182、184中的一对壁面180、182以预定的间隔相向。并且，上述一对壁面180、182的侧缘由剩下的壁面184连接。另外，一对壁面180、182的未被壁面184连接的侧缘与托板移动装置130相向。

托板收纳塔132的一对壁面180、182除了下端部侧之外呈梳齿状，多个梳齿186朝托板移动装置130延伸出。而且，一对壁面180、182呈相同的形状。因此，壁面180的多个梳齿186与壁面182的多个梳齿186呈相同的形状，壁面180的多个梳齿186中的上数第n个梳齿186与壁面182的多个梳齿186中的上数第n个梳齿186、即在左右方向上相邻的两个梳齿186位于相同的高度。而且，壁面180与壁面182之间的距离、即在左右方向上相邻的两个梳齿186之间的距离小于吸嘴托板110的宽度。此外，在上下方向上相邻的两个梳齿186之间的距离、即多个梳齿186中的上数第n个梳齿186与第n+1个梳齿186之间的距离大于吸嘴托板110的厚度。因此，能够在左右方向上相邻的两个梳齿186上载置吸嘴托板110。

具体而言，例如，说明如图5所示地将支撑于支撑臂134的吸嘴托板110载置于托板收纳塔132的在左右方向上相邻的两个梳齿186上的情况。另外，图5所示的支撑臂134通过螺纹机构156的动作而移动至最上方，通过第二滑动件160的滑动而移动至远离托板收纳塔132的方向。

图5所示的支撑臂134首先通过螺纹机构156的动作而向下方移动。此时，支撑臂134以使支撑于支撑臂134的吸嘴托板110位于在上下方向上相邻的两个梳齿186之间的方式向下方移动。并且，支撑臂134通过第二滑动件160的滑动而向靠近托板收纳塔132的方向移动。由此，如图9所示，支撑于支撑臂134的吸嘴托板110被插入到在上下方向上相邻的两个梳齿186之间。并且，支撑臂134通过螺纹机构156的动作而向下方移动。

由此，如图10所示，支撑于支撑臂134的吸嘴托板110被载置于在左右方向上相邻的两个梳齿186上。此时，解除支撑臂134的卡合销146对于吸嘴托板110的臂用卡合孔114的卡合。当解除了卡合销146对于臂用卡合孔114的卡合时，支撑臂134向下方的移动停止，支撑臂134通过第二滑动件160的滑动而向远离托板收纳塔132的方向移动。如此，吸嘴托板110通过载置于在左右方向上相邻的两个梳齿186上而收纳于托板收纳塔132。

另外，在梳齿186的前端部的上表面侧形成有卡合销190，在左右方向上相邻的两个梳齿186的卡合销190之间的距离与吸嘴托板110的两个托架用卡合孔116之间的距离相同。此外，卡合销190的外径小于托架用卡合孔116的内径。因此，当吸嘴托板110载置于在左右方向上相邻的两个梳齿186上时，梳齿186的卡合销190与吸嘴托板110的托架用卡合孔116卡合。由此，吸嘴托板110不会产生错位地载置于在左右方向上相邻的两个梳齿186上。

而且，收纳于托板收纳塔132的吸嘴托板110由支撑臂134取出。具体而言，支撑臂134移动至与载置有作为取出对象的吸嘴托板110的两个梳齿186相向的位置。并且，支撑臂134通过第二滑动件160的滑动而向靠近托板收纳塔132的方向移动。由此，如图10所示，支撑臂134的臂部138移动至载置有作为取出对象的吸嘴托板110的两个梳齿186的侧方。并且，支撑臂134通过螺纹机构156的动作而向上方移动。

此时，支撑臂134的卡合销146与吸嘴托板110的臂用卡合孔114卡合。并且，梳齿186的卡合销190对于吸嘴托板110的托架用卡合孔116的卡合被解除。当解除了卡合销190对于托架用卡合孔116的卡合时，支撑臂134向上方的移动停止，支撑臂134通过第二滑动件160的滑动而向远离托板收纳塔132的方向移动。由此，从托板收纳塔132中取出吸嘴托板110。

而且，如上述那样，托板收纳装置92的上端部在框架部100的上表面露出。因此，在支撑臂134通过螺纹机构156的动作而上升到最高的情况下，如图4所示，支撑臂134在框架部100的上表面露出。即，支撑于支撑臂134的吸嘴托板110在框架部100的上表面露出。而且，在托板收纳塔132的上端部配置有载置板196，载置板196也在框架部100的上表面露出。在该载置板196上形成有多个形状与吸嘴托板110的载置孔112相同的载置孔198，能够在载置板196上载置吸嘴60。

(c)吸嘴移载装置

吸嘴移载装置94是用于在吸嘴托盘76与吸嘴托板110之间移载吸嘴60的装置，如图4所示，配置于横梁部102。吸嘴移载装置94具有移载头200和头移动装置202。在移载头200的下端面安装有朝向下方的状态的相机206和用于保持吸嘴60的保持卡盘208。而且，头移动装置202是使移载头200在框架部100上沿前后方向、左右方向、上下方向移动的xyz型的移动装置。

而且，在框架部100的上表面设有用于安设吸嘴托盘76的固定台210，在安设于固定台210的吸嘴托盘76与支撑于支撑臂134的吸嘴托板110之间移载吸嘴60。

具体而言，在向吸嘴管理装置80收纳吸嘴60的收纳作业时，作业者将搭载有吸嘴60的吸嘴托盘76安设于固定台210。而且，在托板收纳装置92中，支撑能够搭载吸嘴60的吸嘴托板110的支撑臂134通过螺纹机构156的动作而移动至最上方。并且，移载头200通过头移动装置202的动作而移动至吸嘴托盘76及吸嘴托板110的上方，通过相机206拍摄吸嘴托盘76、吸嘴托板110各自的二维码78、118。由此，获得吸嘴托盘76及吸嘴托板110的id号等固有信息。

而且，在拍摄吸嘴托板110的二维码118时，也拍摄吸嘴托板110的基准标记120，基于基准标记120的拍摄数据，对吸嘴托板110的位置进行校准。此外，也拍摄吸嘴托板110的载置孔112，并判定吸嘴60是否载置于载置孔112。详细而言，如上述那样，在支撑臂134的下方配置有反射板148。因此，在吸嘴60未载置于吸嘴托板110的载置孔112的情况下，从吸嘴托板110的上方照射来的光经由载置孔112而被反射板148反射。另一方面，在吸嘴60载置于载置孔112的情况下，从吸嘴托板110的上方照射来的光被吸嘴60遮挡，而不会被反射板148反射。即，在载置孔112的拍摄数据中包含反射光的情况下，判定为吸嘴60未载置于载置孔112，在载置孔112的拍摄数据中不包含反射光的情况下，判定为吸嘴60载置于载置孔112。

接着，移载头200通过头移动装置202的动作而移动至吸嘴托盘76的上方，并通相机206拍摄作为移载对象的吸嘴60的二维码71。由此，获得作为移载对象的吸嘴60的id号等固有信息。并且，作为移载对象的吸嘴60由保持卡盘208保持。

当作为移载对象的吸嘴60保持于保持卡盘208时，移载头200通过头移动装置202的动作而向作为吸嘴60的移载目的地的吸嘴托板110的上方移动，并将所保持的吸嘴60载置于吸嘴托板110的载置孔112。由此，吸嘴60从吸嘴托盘76被移载到吸嘴托板110。另外，在吸嘴60移载时，对移载目的地的吸嘴托板110的id号、所移载的吸嘴60的id号及移载目的地的吸嘴托板110的移载位置建立关联地存储。

并且，当吸嘴60向吸嘴托板110的移载结束时，通过螺纹机构156及第二滑动件160的动作而将该吸嘴托板110收纳于托板收纳塔132。由此，向吸嘴管理装置80收纳吸嘴60的收纳作业结束。

另外，在移载吸嘴60时，在移载目的地的吸嘴托板110的载置孔112没有空余的情况下等，保持有吸嘴60的保持卡盘208通过头移动装置202的动作而移动至载置板196的上方，将吸嘴60临时载置于载置板196的载置孔198。

而且，在将收纳于吸嘴管理装置80的吸嘴60向吸嘴托盘76搭载的搭载作业时，作业者将能够搭载吸嘴60的吸嘴托盘76安设于固定台210。而且，在托板收纳装置92中，支撑吸嘴托板110的支撑臂134通过螺纹机构156的动作而移动至最上方。另外，在支撑于支撑臂134的吸嘴托板110上载置有预定向吸嘴托盘76搭载的吸嘴60。并且，通过吸嘴移载装置94而向吸嘴托盘76移载载置于吸嘴托板110的吸嘴60。另外，将载置于吸嘴托板110的吸嘴60向吸嘴托盘76移载的移载作业与将载置于吸嘴托盘76的吸嘴60向吸嘴托板110移载的移载作业相同。

(d)吸嘴检查装置

吸嘴检查装置96是执行吸嘴60的前端部即吸管68的状态的检查(以下，有时简称为“前端部检查”)、为了使吸管68朝主体筒64的内部后退所需的力的检查(以下，有时简称为“后退力检查”)及在吸嘴60内流动的空气的流量的检查(以下，有时简称为“空气流量检查”)的装置。

如图4所示，吸嘴检查装置96具有相机装置220、测力传感器222及空气供给装置224。相机装置220以朝向上方的状态配置于框架部100的上表面，使用相机装置220进行前端部检查。详细而言，作为检查对象的吸嘴60由吸嘴移载装置94的保持卡盘208保持。并且，保持卡盘208通过头移动装置202的动作而移动至相机装置220的上方。当保持卡盘208移动到相机装置220的上方时，通过相机装置220从下方拍摄保持于保持卡盘208的吸嘴60。由此，获得吸嘴60的吸管68的拍摄数据，并基于该拍摄数据来检查吸管68的状态。通过该检查，确认有无吸管68的弯曲、前端缺失、前端压碎等异常，将产生了异常的吸嘴60判定为不良吸嘴。

而且，测力传感器222配置于相机装置220旁边，使用测力传感器222来进行后退力检查。详细而言，作为检查对象的吸嘴60由吸嘴移载装置94的保持卡盘208保持。并且，保持卡盘208通过头移动装置202的动作而移动至测力传感器222的上方。此外，保持卡盘208向下方移动，以使保持于保持卡盘208的吸嘴60的吸管68的下端部与测力传感器222抵接。此时，保持卡盘208以使吸嘴60的吸管68向主体筒64的内部后退设定量的方式向下方移动。测力传感器222检测吸管68向主体筒64的内部后退了设定量时的载荷，判断该检测值是否大于阈值。测力传感器222的检测值是表示为了使吸管68向主体筒64的内部后退所需的力的值，在该值大于阈值的情况下，认为由于异物混入了吸嘴60内、吸嘴60的破损等而吸管68难以向主体筒64的内部后退。因此，判定为测力传感器222的检测值大于阈值的吸嘴60被判定为不良吸嘴。

而且，空气供给装置224装配于吸嘴移载装置94的移载头200，能够移动至框架部100上的任意位置。空气供给装置224具有空气接头226，通过将该空气接头226与吸嘴60的主体筒64连接而进行空气流量检查。详细而言，空气供给装置224通过头移动装置202的动作而移动至载置于吸嘴托盘76、吸嘴托板110及载置板196中的任一个的吸嘴60的上方。并且，空气供给装置224向下方移动，以使空气接头226与作为检查对象的吸嘴60的主体筒64连接。当空气接头226与主体筒64连接时，空气供给装置224向所连接的主体筒64供给空气。并且，测定空气供给时的空气压，判断该空气压是否大于阈压。在向正常的吸嘴60供给空气时，空气会穿过吸嘴60内，因此测定出的空气压较低。另一方面，在向产生了阻塞等的吸嘴60供给空气时，空气难以穿过吸嘴60内，因此测定出的空气压较高。因此，将测定出的空气压大于阈压的吸嘴60认定为不良吸嘴。

另外，在框架部100的上表面配置有多个废弃箱228，将通过上述检查而判定为不良吸嘴的吸嘴60废弃至废弃箱228。而且，将通过上述检查而判定为正常的吸嘴60载置于吸嘴托盘76、吸嘴托板110及载置板196中的任一个。

(e)吸嘴清洗装置

吸嘴清洗装置98是对吸嘴60进行清洗及干燥的装置，配置于托板收纳装置92旁边。吸嘴清洗装置98具备清洗、干燥机构230、清洗托板移动机构232及吹风装置234。清洗、干燥机构230是在内部对吸嘴60进行清洗及干燥的机构。清洗托板移动机构232是使清洗托板238在清洗托板238露出的露出位置(图4中图示了清洗托板238的位置)和清洗、干燥机构230的内部之间移动的机构。吹风装置234是呈筒状且向内部喷出空气的装置。在上述构造的吸嘴清洗装置98中对吸嘴60进行清洗及干燥。

详细而言，作为清洗对象的吸嘴60由吸嘴移载装置94的保持卡盘208保持。并且，保持卡盘208通过头移动装置202的动作而移动至清洗托板移动机构232的露出位置的上方。此时，清洗托板238通过清洗托板移动机构232的动作而移动至露出位置。并且，保持卡盘208向下方移动，吸嘴60搭载于清洗托板238。当吸嘴60向清洗托板238的搭载结束时，清洗托板238通过清洗托板移动机构232的动作而向清洗、干燥机构230的内部移动。并且，在清洗、干燥机构230的内部对吸嘴60进行清洗及干燥。

当清洗、干燥机构230对吸嘴60的清洗及干燥结束时，清洗托板238通过清洗托板移动机构232的动作而移动至露出位置。此时，吸嘴60在一定程度上被干燥，但在清洗、干燥机构230内，在搭载于清洗托板238的状态下进行吸嘴60的干燥，因此水分有可能附着于吸嘴60。因此，使用吹风装置234对吸嘴60进行干燥。

详细而言，清洗后的吸嘴60从清洗托板238由保持卡盘208保持。接着，保持卡盘208通过头移动装置202的动作而移动至吹风装置234的上方，保持卡盘208以保持于保持卡盘208的吸嘴60插入到吹风装置234的内部的方式向下方移动。并且，吹风装置234向内部喷出空气。由此，附着于吸嘴60的水分被吹飞，吸嘴60的干燥结束。并且，基于吹风装置234的干燥结束后的吸嘴60通过头移动装置202的动作而被载置于吸嘴托盘76、吸嘴托板110及载置板196中的任一个。

另外，吸嘴60是吸嘴的一例。吸嘴管理装置80是吸嘴收纳库的一例。吸嘴移载装置94是移载装置的一例。吸嘴托板110是吸嘴托板的一例。载置孔112是载置孔的一例。臂用卡合孔114是第一被卡定部的一例。托架用卡合孔116是第二被卡定部的一例。支撑臂134是臂的一例。卡合销146是第一卡定部的一例。反射板148是反射部件的一例。螺纹机构156是第一移动机构的一例。第二滑动件160是第二移动机构的一例。梳齿186是收纳部的一例。卡合销190是第二卡定部的一例。载置板196是吸嘴载置部的一例。相机206是受光部的一例。

而且，本发明不限定于上述实施例，能够基于本领域技术人员的知识以实施了各种变更、改良的各种方式实施。具体而言，例如，在上述实施例中，作为用于使支撑臂134沿着上下方向移动的机构而采用了螺纹机构，作为用于使支撑臂134沿着前后方向移动的机构而采用了滑动机构，但也可以采用各种机构。

附图标记说明

60：吸嘴

80：吸嘴管理装置(吸嘴收纳库)

94：吸嘴移载装置(移载装置)

110：吸嘴托板

112：载置孔

114：臂用卡合孔(第一被卡定部)

116：托架用卡合孔(第二被卡定部)

134：支撑臂(臂)

146：卡合销(第一卡定部)

148：反射板(反射部件)

156：螺纹机构(第一移动机构)

160：第二滑动件(第二移动机构)

186：梳齿(收纳部)

190：卡合销(第二卡定部)

196：载置板(吸嘴载置部)

206：相机(受光部)