一种平面靶材区分加热装置的制作方法

本实用新型涉及一种加热装置，尤其是涉及一种用于在平面靶材加热过程中可进行多温区加热的装置。

背景技术：

目前，平面绑定靶材的生产过程中，由于材料性能不同，对升温速度和降温速度有不同的要求控制，而传统绑定台在某一固定温度下运行，效率低，产能受限。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种平面靶材区分加热装置，其能够同时多种不同温度需求的加料进行加温，从而极大的提高了工作效率。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种平面靶材区分加热装置，所述装置包含有机箱，所述机箱的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔，所述机箱内设置的内隔板将机箱内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔分别与多个风腔相连通，所述内隔板上设置有多个控制阀，且多个控制阀多个风腔一一对应，风机的出风端经管路连通至控制阀；

所述机箱的顶板上通过多条支撑板支撑有加热板，所述加热板内嵌置有多条下隔热条构成多个相互独立的加热区，上述支撑板位于下隔热条的下方，且加热板内均匀设置有多个电加热元件，所述加热板上铺设有工作台。

本实用新型一种平面靶材区分加热装置，所述工作台内嵌置有多条上隔热条将工作台分隔为多个受热工作区，且受热工作区与加热区一一对应，受热工作区位于加热区的上方。

本实用新型一种平面靶材区分加热装置，所述风机设置有多个，多个风机分别经管路与多个控制阀一一对应相连通；或者风机设置有一个，上述多个控制阀经管路汇总至该风机的进风端。

本实用新型一种平面靶材区分加热装置，所述机箱的箱壁上设置有进风格栅，且进行格栅与下腔室相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型本采用分区设计，同时配合高敏感温控探头，可分区精确加热、分区精确冷却，因此可同时运行多种材料的绑定和脱绑生产，产品合格率高、生产效率高。

附图说明

图1为本实用新型一种平面靶材区分加热装置的结构示意图。

其中：

机箱1、内隔板2、分区挡板3、支撑板4、加热板5、工作台6；

冷却风通孔1.1、控制阀1.2、风机1.3；

下隔热条5.1、电加热元件5.2；

上隔热条6.1。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种平面靶材区分加热装置，所述装置包含有机箱1，所述机箱1的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔1.1，所述机箱1内设置的内隔板2将机箱1内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板3将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔1.1分别与多个风腔相连通，所述内隔板2上设置有多个控制阀1.2，且多个控制阀1.2多个风腔一一对应，风机1.3的出风端经管路连通至控制阀1.2；

所述机箱1的顶板上通过多条支撑板4支撑有加热板5，相邻支撑板4、箱体1的顶板和加热板5之间构成多个冷却风道，所述加热板5内嵌置有多条下隔热条5.1构成多个相互独立的加热区，上述支撑板4位于下隔热条5.1的下方，且加热板5内均匀设置有多个电加热元件5.2，所述加热板5上铺设有工作台6；

使用时，通过每个加热区内的电加热元件5.2分别对其进行独立加热，并且当温度过高或需要降温改变所需温度时，可通过风机1.3导入冷却风至加热板5的下方对其进行冷却；

进一步的，所述工作台6内嵌置有多条上隔热条6.1将工作台6分隔为多个受热工作区，且受热工作区与加热区一一对应，受热工作区位于加热区的上方；

进一步的，所述风机1.3设置有多个，多个风机1.3分别经管路与多个控制阀1.2一一对应相连通；或者风机1.3设置有一个，上述多个控制阀1.2经管路汇总至该风机1.3的进风端；

进一步的，所述机箱1的箱壁上设置有进风格栅，且进行格栅与下腔室相连通；

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

技术特征：

1.一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述装置包含有机箱(1)，所述机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔(1.1)分别与多个风腔相连通，所述内隔板(2)上设置有多个控制阀(1.2)，且多个控制阀(1.2)多个风腔一一对应，风机(1.3)的出风端经管路连通至控制阀(1.2)；

所述机箱(1)的顶板上通过多条支撑板(4)支撑有加热板(5)，所述加热板(5)内嵌置有多条下隔热条(5.1)构成多个相互独立的加热区，上述支撑板(4)位于下隔热条(5.1)的下方，且加热板(5)内均匀设置有多个电加热元件(5.2)，所述加热板(5)上铺设有工作台(6)。

2.如权利要求1所述一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述工作台(6)内嵌置有多条上隔热条(6.1)将工作台(6)分隔为多个受热工作区，且受热工作区与加热区一一对应，受热工作区位于加热区的上方。

3.如权利要求1所述一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述风机(1.3)设置有多个，多个风机(1.3)分别经管路与多个控制阀(1.2)一一对应相连通；或者风机(1.3)设置有一个，上述多个控制阀(1.2)经管路汇总至该风机(1.3)的进风端。

4.如权利要求1所述一种平面靶材区分加热装置，其特征在于：所述机箱(1)的箱壁上设置有进风格栅，且进行格栅与下腔室相连通。

技术总结
本实用新型一种平面靶材区分加热装置，机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个风腔，上述冷却风通孔(1.1)分别与多个风腔相连通，所述机箱(1)的顶板上通过多条支撑板(4)支撑有加热板(5)，所述加热板(5)内嵌置有多条下隔热条(5.1)构成多个相互独立的加热区，且加热板(5)内均匀设置有多个电加热元件(5.2)。本实用新型一种平面靶材区分加热装置，其能够同时多种不同温度需求的加料进行加温，从而极大的提高了工作效率。

技术研发人员：蔺裕平;王海琴
受保护的技术使用者：梭莱镀膜工业(江阴)有限公司
技术研发日：2019.12.27
技术公布日：2020.09.01