1.一种液滴靶产生装置，其特征在于，包括靶材盒、限制装置、非接触式加热器和控制器；所述靶材盒内放置有预设规格的固体靶材，所述限制装置和所述非接触式加热器依次设置于所述靶材盒和真空环境中的预设激光击打位置之间的靶材运动路径上；
所述控制器连接所述限制装置和所述非接触式加热器，用于控制所述限制装置限制每次只有一个所述固体靶材通过；所述固体靶材通过所述限制装置后，在外力场的作用下继续沿所述靶材运动路径运动，在通过所述非接触式加热器的加热区域时，所述控制器控制所述非接触式加热器将所述固体靶材加热至熔融状态，形成液滴靶。
2.根据权利要求1所述的液滴靶产生装置，其特征在于，所述限制装置包括壳体、凹槽转盘和电机；所述壳体上设置有第一缺口和第二缺口，所述第一缺口与所述靶材盒的靶材出口位置对应，所述第二缺口与所述加热器的加热区域对应；所述凹槽转盘上设置有凹槽，所述凹槽每次只能容纳一个所述固体靶材；
所述电机连接所述凹槽转盘和所述控制器；所述控制器用于通过所述电机控制所述凹槽转盘转动，以使所述凹槽周期性地与所述第一缺口和所述第二缺口对应。
3.根据权利要求2所述的液滴靶产生装置，其特征在于，所述凹槽转盘包括相对设置的第一凹槽和第二凹槽，当所述第一凹槽与所述第一缺口对应时，所述第二凹槽与所述第二缺口对应，且所述第一凹槽和所述第二凹槽每次各只能容纳一个所述固体靶材。
4.根据权利要求1所述的液滴靶产生装置，其特征在于，所述固体靶材为磁性金属固体靶材，所述非接触式加热器为电磁环形加热器，所述电磁环形加热器包括电源转换器、电磁控制装置、线圈和隔热层；所述线圈设置于所述靶材运动路径上，所述隔热层设置于所述线圈的内侧；
所述电源转换器连接外部电源和所述电磁控制装置，所述控制器连接所述电磁控制装置，还用于通过控制所述电磁控制装置调整所述电磁环形加热器的输出功率。
5.一种液滴靶产生方法，其特征在于，基于权利要求1至4任意一项所述的液滴靶产生装置实现，所述方法包括：
控制限制装置限制每次只有一个预设规格的固体靶材通过；所述固体靶材放置于靶材盒内，由所述靶材盒输出至所述限制装置；
控制非接触式加热器将通过的所述固体靶材加热至熔融状态，形成液滴靶；所述固体靶材通过所述限制装置后，在外力场的作用下沿靶材运动路径运动至所述非接触式加热器的加热区域；
所述限制装置和所述非接触式加热器依次设置于所述靶材盒和真空环境中的预设激光击打位置之间的所述靶材运动路径上。
6.根据权利要求5所述的液滴靶产生方法，其特征在于，所述控制非接触式加热器将通过的所述固体靶材加热至熔融状态，形成液滴靶之前，还包括：
根据获取的所述固体靶材的规格，以及所述非接触式加热器的结构参数，调整所述非接触式加热器的输出功率。
7.根据权利要求6所述的液滴靶产生方法，其特征在于，所述固体靶材的规格包括所述固体靶材的材料、形状和尺寸，所述非接触式加热器为电磁环形加热器，所述根据获取的所述固体靶材的规格，以及所述非接触式加热器的结构参数，调整所述非接触式加热器的输出功率，包括：
根据获取的固体靶材的材料、形状和尺寸，确定所述固体靶材被加热至熔融状态所需的能量值；
根据所述能量值和获取的所述电磁环形加热器的结构参数，调整所述电磁环形加热器的输出功率。
8.根据权利要求7所述的液滴靶产生方法，其特征在于，所述根据获取的固体靶材的材料、形状和尺寸，确定所述固体靶材被加热至熔融状态所需的能量值，包括：
根据获取的固体靶材的材料确定所述固体靶材的密度、比热容和熔化温度；根据获取的所述固体靶材的形状和尺寸确定所述固体靶材的体积；
根据所述固体靶材的密度、比热容、熔化温度和体积，确定所述固体靶材被加热至熔融状态所需的能量值。
9.根据权利要求7所述的液滴靶产生方法，其特征在于，所述电磁环形加热器的结构参数包括线圈参数和所述环形加热器的内阻，所述根据所述能量值和获取的所述电磁环形加热器的结构参数，调整所述电磁环形加热器的输出功率，包括：
根据所述能量值和获取的所述线圈参数，确定感生电流的大小；
根据所述感生电流的大小，确定产生所述感生电流所需的磁通量在单位时间内的改变量；
根据所述磁通量在单位时间内的改变量和所述线圈参数计算通过所述电磁环形加热器的最大电流；
根据所述电磁环形加热器的最大电流和所述电磁环形加热器的内阻，确定最小需求功率，并根据所述最小需求功率调整所述电磁环形加热器的输出功率。
10.一种极紫外光源产生系统，其特征在于，包括激光光源装置、聚焦透镜和如权利要求1至4任意一项所述的液滴靶产生装置；
所述液滴靶产生装置用于沿靶材运动路径产生液滴靶；
所述激光光源装置用于产生辐射脉冲激光，并将所述辐射脉冲激光传输至所述聚焦透镜；
所述聚焦透镜用于将所述辐射脉冲激光聚焦于真空环境中，并在预设激光击打位置击打所述液滴靶，以使所述液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。