一种用于半导体腔体组件的快速降温装置的制作方法

文档序号:22672885发布日期:2020-10-28 12:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,包括降温箱(1),其特征在于:所述降温箱(1)的前侧和后侧之间固定连接有分隔板(2),所述降温箱(1)内表面的左侧和分隔板(2)的左侧之间固定连接有制冷装置(3),且制冷装置(3)的顶部固定连接有抽风管(4),所述制冷装置(3)的底部连通有螺旋冷凝管(5),且螺旋冷凝管(5)远离制冷装置(3)的一端连通有三通阀(6),所述三通阀(6)的顶端和底端均连通有连接管(7),且分隔板(2)的右侧开设有滑槽(8),所述滑槽(8)的内腔滑动连接有滑块(9),且滑块(9)右侧的左右两侧均固定连接有排气管(10),两个所述排气管(10)的底部均连通有喷头(11),且滑块(9)的顶部和底部均开设有凹槽(12),所述凹槽(12)的内腔转动连接有滑轮(13)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,其特征在于:所述降温箱(1)内表面的右侧和分隔板(2)的右侧之间固定连接有导热板(14),且导热板(14)的底部与降温箱(1)内表面的底部固定连接,所述降温箱(1)的右侧固定连接有散热片(15),所述导热板(14)的右侧贯穿降温箱(1)并与散热片(15)的左侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,其特征在于:所述降温箱(1)的顶部卡接有密封盖板(16),且密封盖板(16)的顶部固定连接有把手(17),所述降温箱(1)内表面的右侧固定连接有温度传感器(18),且降温箱(1)的前侧固定连接有显示面板(19)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,其特征在于:所述抽风管(4)的外表面固定连接有第一单向阀(20),所述抽风管(4)远离制冷装置(3)的一端贯穿分隔板(2)并延伸至分隔板(2)的右侧,且连接管(7)的外表面固定连接有第二单向阀(21)。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,其特征在于:所述喷头(11)的数量设置为多个,前侧所述喷头(11)的前侧与排气管(10)横截面之间的夹角为锐角,后侧所述喷头(11)的前侧与排气管(10)横截面之间的夹角为钝角,所述连接管(7)远离三通阀(6)的一端均延伸至滑槽(8)的内部并与排气管(10)的左端相连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,其特征在于:两个所述滑轮(13)相互远离的一侧均贯穿凹槽(12)并延伸至凹槽(12)的外部,顶部所述滑轮(13)的外表面与滑槽(8)内表面的顶部相抵触,底部所述滑轮(13)的外表面与滑槽(8)内表面的底部相抵触。


技术总结
本实用新型公开了一种用于半导体腔体组件的快速降温装置,包括降温箱,降温箱的前侧和后侧之间固定连接有分隔板,降温箱内表面的左侧和分隔板的左侧之间固定连接有制冷装置,本实用新型涉及半导体腔体组件降温技术领域。该用于半导体腔体组件的快速降温装置,通过在滑块上设有滑轮,变硬摩擦为滚动摩擦,方便了排气管的移动,通过喷头的倾斜设计,前侧排气管通气后在喷头喷气动力的作用下向后移动,移动一定距离后,后侧排气管开始通气,同理,在喷头喷气动力的作用下向前移动,通过喷头的前后往复运动使得半导体腔体组件快速降温,并且是利用喷出的冷空气的空气动力,无需额外的电动设备,降低了设备成本。

技术研发人员:金昆根;张海娟
受保护的技术使用者:杭州翔烽科技有限公司
技术研发日:2020.05.08
技术公布日:2020.10.27
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