一种用于匹配器的射频功率源装置的制作方法

1.本实用新型属于射频功率源技术领域，具体为一种用于匹配器的射频功率源装置。


背景技术：

2.射频功率源又称射频电源，是可以产生固定频率(13.56mhz，27.12mhz等频点)的正弦波、具有一定功率的电源。已广泛应用于半导体工艺设备；led与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生器；射频感应加热；医疗美容；常压等离子体消毒清洗等。
3.现有的射频功率源装置在和不同高度的匹配器进行匹配时，需要借助辅助工具调整高度，较为麻烦，且现有的射频功率源装置在使用时无法进行有效减震，可能因振动造成整个射频功率源装置损坏，从而降低了其使用寿命；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种用于匹配器的射频功率源装置，有效的解决了现有的射频功率源装置在和不同高度的匹配器进行匹配时，需要借助辅助工具调整高度，较为麻烦，且现有的射频功率源装置在使用时无法进行有效减震，可能因振动造成整个射频功率源装置损坏，从而降低了其使用寿命的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于匹配器的射频功率源装置，包括射频功率源盒体、安装箱、减震机构和伸缩机构，所述安装箱位于所述射频功率源盒体的底部，所述减震机构位于所述安装箱内腔，所述伸缩机构位于所述减震机构底部四角处；
6.所述减震机构包括配合框和两组对称设置的伸缩柱，两组伸缩柱的前侧均设置有连接推杆，所述配合框内腔设置有两组对称设置的滑块，两组连接推杆端部分别和两组滑块连接，两组伸缩柱的外壁以及两组滑块的相对侧均设置有减震弹簧；
7.所述两组伸缩柱包括顶板和底板，所述顶板和所述底板的相对侧设置有气缸，所述气缸的前侧设置有菱形铰接杆。
8.优选的，所述配合框固定连接在所述射频功率源盒体的底部，两组伸缩柱的底部固定连接有配合板。
9.优选的，所述安装箱的内壁开设有配合槽，所述配合板滑动连接在所述配合槽的内腔。
10.优选的，所述安装箱和所述射频功率源盒体固定连接，且所述安装箱底部为开口设置。
11.优选的，所述菱形铰接杆包括多组交叉设置的连杆，且所述菱形铰接杆顶部和底部分别和所述顶板以及所述底板连接。
12.优选的，所述底板底部设置有耐磨垫，所述耐磨垫为橡胶材质。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：1、气缸启动，带动菱形铰接杆进行上下的伸缩，从而带动底板向下移动，以及带动顶板向上顶起射频功率源盒体和减震机构，以调整整个射频功率源盒体的高度，可适应不同高度的匹配器，不需其他工具的辅助，且便于操作；
14.2、在射频功率源盒体使用时，产生振动时，带动伸缩柱收缩，从而带动连接推杆向内推动两个滑块，而由于两个滑块之间以及伸缩柱外壁的减震弹簧的回弹作用，可对产生的振动进行抵消，从而进行有效的减震，避免射频功率源盒体因使用过程中的振动而损坏，提高了射频功率源盒体的使用寿命。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
16.在附图中：
17.图1为本实用新型结构示意图；
18.图2为本实用新型的剖视结构示意图；
19.图3为本实用新型伸缩机构的结构示意图；
20.图中：100、射频功率源盒体；101、安装箱；200、减震机构；201、伸缩柱；202、连接推杆；203、配合框；204、滑块；205、减震弹簧；206、配合板； 300、伸缩机构；301、顶板；302、底板；303、菱形铰接杆；304、气缸。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图2，一种用于匹配器的射频功率源装置，包括射频功率源盒体100、安装箱101、减震机构200和伸缩机构300。
23.请参阅图2，安装箱101位于射频功率源盒体100的底部，减震机构200位于安装箱101内腔，伸缩机构300位于减震机构200底部四角处。
24.请参阅图1-2，减震机构200包括配合框203和两组对称设置的伸缩柱201，两组伸缩柱201的前侧均设置有连接推杆202，配合框203内腔设置有两组对称设置的滑块204，两组连接推杆202端部分别和两组滑块204连接，两组伸缩柱201的外壁以及两组滑块204的相对侧均设置有减震弹簧205；配合框203固定连接在射频功率源盒体100的底部，两组伸缩柱201的底部固定连接有配合板 206；安装箱101的内壁开设有配合槽，配合板206滑动连接在配合槽的内腔；
25.在射频功率源盒体100使用时，产生振动时，带动伸缩柱201收缩，从而带动连接推杆202向内推动两个滑块204，而由于两个滑块204之间以及伸缩柱 201外壁的减震弹簧205的回弹作用，可对产生的振动进行抵消，从而进行有效的减震。
26.请参阅图1-3，两组伸缩柱201包括顶板301和底板302，顶板301和底板 302的相对
侧设置有气缸304，气缸304的前侧设置有菱形铰接杆303；安装箱 101和射频功率源盒体100固定连接，且安装箱101底部为开口设置；菱形铰接杆303包括多组交叉设置的连杆，且菱形铰接杆303顶部和底部分别和顶板301 以及底板302连接；底板302底部设置有耐磨垫，耐磨垫为橡胶材质；
27.气缸304启动，带动菱形铰接杆303进行上下的伸缩，从而带动底板302 向下移动，以及带动顶板向上顶起射频功率源盒体100和减震机构200，以调整整个射频功率源盒体100的高度。
28.工作原理：使用时，气缸304启动，带动菱形铰接杆303进行上下的伸缩，从而带动底板302向下移动，以及带动顶板向上顶起射频功率源盒体100和减震机构200，以调整整个射频功率源盒体100的高度，可适应不同高度的匹配器，不需其他工具的辅助，且便于操作，在射频功率源盒体100使用时，产生振动时，带动伸缩柱201收缩，从而带动连接推杆202向内推动两个滑块204，而由于两个滑块204之间以及伸缩柱201外壁的减震弹簧205的回弹作用，可对产生的振动进行抵消，从而进行有效的减震，避免射频功率源盒体100因使用过程中的振动而损坏，提高了射频功率源盒体100的使用寿命。。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。