载带截面结构的制作方法

文档序号:29145214发布日期:2022-03-05 08:48阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种载带截面结构,其特征在于,包括:pi膜(1);多条线路,多条所述线路按照设计的电路结构平铺于所述pi膜(1)上,所述线路包括:种子层(2),所述种子层(2)与所述pi膜(1)相连;连接层(3),所述连接层(3)设于所述种子层(2)的上方,所述连接层(3)的上表面具有凹凸结构,所述连接层(3)的内部具有孔洞结构;铜层(4),所述铜层(4)设于所述连接层(3)的上方,所述铜层(4)的一部分进入所述凹凸结构和所述孔洞结构内。2.根据权利要求1所述的载带截面结构,其特征在于,所述线路还包括:锡层(5),一部分所述锡层(5)涂覆于所述种子层(2)和所述连接层(3)的侧面,另一部分所述锡层(5)涂覆于所述铜层(4)的外表面。3.根据权利要求2所述的载带截面结构,其特征在于,所述线路还包括:抗氧化油漆层(6),所述抗氧化油漆层(6)涂覆于所述锡层(5)和所述pi膜(1)的外表面。4.根据权利要求1所述的载带截面结构,其特征在于,所述种子层(2)包括:底层和上层,所述底层由钨、镍、铜、钒、钼、锡、锌、钴、铁、钛、铬或其合金中的一种所制成,所述底层的下表面与所述pi膜(1)相连,所述上层由铜、金、银或其合金中的一种所制成,所述上层的下表面与所述底层的上表面相连,所述上层的上表面与所述连接层(3)相连。5.根据权利要求1所述的载带截面结构,其特征在于,所述连接层(3)为含有铝的金属混合物,所述连接层(3)的厚度为50-150纳米。6.根据权利要求1所述的载带截面结构,其特征在于,所述铜层(4)的厚度为8-12微米。7.根据权利要求4所述的载带截面结构,其特征在于,所述底层厚度为10-30纳米。8.根据权利要求4所述的载带截面结构,其特征在于,所述上层的厚度为50-100纳米。9.根据权利要求5所述的载带截面结构,其特征在于,所述连接层(3)有镍和铝混合制成,所述凹凸结构和所述孔洞结构由镍形成。

技术总结
本实用新型公开了一种载带截面结构,包括:PI膜;多条线路,多条线路按照设计的电路结构平铺于PI膜上,线路包括:种子层,种子层与PI膜相连;连接层,连接层设于种子层的上方,连接层的上表面具有凹凸结构,连接层的内部具有孔洞结构;铜层,铜层设于连接层的上方,铜层的一部分进入凹凸结构和孔洞结构内。本实用新型通过在种子层的上表面设置连接层,并在连接层的上表面设置凹凸结构,在连接层的内部设置孔洞结构,利用凹凸结构和孔洞结构可以提高与光刻胶的连接程度,同时,在光刻胶去除后,能够提升连接层与铜层的连接强度,从而提升载带的成品率。率。率。


技术研发人员:蔡水河 陈正能
受保护的技术使用者:常州欣盛半导体技术股份有限公司
技术研发日:2021.10.12
技术公布日:2022/3/4
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