发光元件模块、量子干涉装置、原子振荡器、电子设备及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及发光元件模块、量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]公知有利用温度调节元件对发光元件进行温度调节的发光元件模块(例如，参照专利文献I)。这样的发光元件模块被用于需要高精度地控制发光元件的发光状态的设备中，例如基于铷、铯等碱金属的原子的能量跃迀进行振荡的原子振荡器。
[0003]例如，专利文献I所述的发光元件模块具有帕尔贴元件(温度调节元件)和安装在帕尔贴元件上的半导体激光器(发光元件)，并将它们收纳在封装内。此外，在专利文献I所述的发光元件模块中，在帕尔贴元件上配置有绝缘部件，使发光元件上的电极与封装上的电极电连接的布线的中途与该绝缘部件上的焊盘连接。由此，对该布线也进行温度调节，从而能够高精度地对发光元件进行温度调节。
[0004]但是，在专利文献I所述的发光元件模块中，在绝缘部件上的电极与帕尔贴元件上的金属层之间会产生较大的静电电容，因此，在使用高频信号作为发光元件的驱动信号的情况下，存在驱动信号的损耗较大这样的问题。例如，在利用了基于波长不同的两种光的量子干涉效应(CPT:Coherent Populat1n Trapping)的方式的原子振荡器中，通常使用高频信号作为驱动信号，从I个半导体激光器射出波长不同的两种光，因此会产生该问题。
[0005]专利文献1:日本特开2013-162031号公报
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于，提供一种发光元件模块，其能够降低发光元件的温度变动，而且，即便使用高频信号作为发光元件的驱动信号，也能够降低该驱动信号的损耗，此外，提供具备该发光元件模块的具有优异的可靠性的量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体。
[0007]本发明是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，可以作为以下的方式或者应用例来实现。
[0008][应用例I]
[0009]本发明的发光元件模块的特征在于，该发光元件模块具有:
[0010]温度调节部，其具有被进行温度调节的温度调节面；
[0011]发光元件，其配置在所述温度调节面上；
[0012]金属层，其配置在所述温度调节面上；
[0013]中继部件，其隔着所述金属层配置在所述温度调节面上；
[0014]布线层，其配置在所述中继部件的与所述温度调节面相反一侧的面上；
[0015]元件侧布线，其使所述发光元件与所述布线层电连接；
[0016]外部端子；以及
[0017]端子侧布线，其使所述外部端子与所述布线层电连接，
[0018]在从所述金属层和所述布线层排列的方向进行观察的俯视时，所述布线层的面积小于所述金属层与所述中继部件重合的区域。
[0019]根据这样的发光元件模块，在使发光元件与外部端子电连接的布线的中途(元件侧布线与端子侧布线之间)存在利用温度调节面进行温度调节的中继部件上的布线层，因此，能够使该布线的温度变动降低，使发光元件的温度变动也随之降低。
[0020]而且，通过使布线层的面积小于中继部件与金属层重合的区域的面积，能够减小布线层与金属层之间的静电电容，即便使用高频信号作为提供给发光元件的驱动信号，也能够降低驱动信号的损耗。此外，能够确保中继部件的安装性。
[0021][应用例2]
[0022]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述温度调节部是帕尔贴元件，
[0023]所述温度调节面是所述帕尔贴元件的发热面或吸热面。
[0024]由此，能够适当地对发光元件进行温度调节。此外，帕尔贴元件通常利用金属层来构成发热面或吸热面，在将设置有布线层的中继部件配置到发热面上或吸热面上时，与发热面或吸热面之间产生静电电容。
[0025][应用例3]
[0026]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述元件侧布线和所述端子侧布线中的至少一方的布线为引线布线。
[0027]由此，利用引线键合，既能够使布线的形成比较容易，又能够使布线层与布线之间的连接所需的面积相对较小。因此，能够减小布线层的面积。
[0028][应用例4]
[0029]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述端子侧布线为多条。
[0030]由此，能够减小端子侧布线的电阻，降低提供给发光元件的驱动信号的损耗。
[0031][应用例5]
[0032]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述布线层具有与所述元件侧布线连接的第I端部和与所述端子侧布线连接的第2端部，并沿着所述第I端部和所述第2端部排列的方向延伸。
[0033]由此，能够减小布线层面积，并且能够确保布线层与布线之间的连接所需的面积。
[0034][应用例6]
[0035]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述第2端部的宽度大于所述第I端部的宽度。
[0036]由此，能够减小布线层的面积，并且能够使多个端子侧布线与布线层的第2端部连接。
[0037][应用例7]
[0038]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述布线层具有宽度从所述第2端部侧朝向所述第I端部侧连续减小的部分。
[0039]由此，能够降低提供给发光元件的高频的驱动信号在布线层中的损耗。
[0040][应用例8]
[0041]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述中继部件包含陶瓷材料。
[0042]由此，能够确保中继部件的绝缘性。此外，能够使中继部件的热容量相对较大，其结果是，能够降低布线层以及元件侧布线的温度变动。此外，通过使用热传导性优异的陶瓷，能够高效地进行布线层的温度调节。
[0043][应用例9]
[0044]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述布线层具有构成为含金的表层以及设置在所述表层与所述中继部件之间的衬底层。
[0045]由此，能够使利用引线键合形成的元件侧布线和端子侧布线与布线层之间的贴合性以及布线层与中继部件之间的贴合性优异。
[0046][应用例10]
[0047]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述衬底层是在所述中继部件上依次层叠构成为含钛的第I层和构成为含钯的第2层而构成的。
[0048]由此，能够使布线层与中继部件之间的贴合性优异。
[0049][应用例11]
[0050]在本发明的发光元件模块中，优选的是，所述发光元件模块具有:
[0051]温度检测元件，其配置在所述温度调节面上；
[0052]温度检测元件用中继部件，其隔着金属层配置在所述温度调节面上；
[0053]温度检测元件用布线层，其配设在所述温度检测元件用中继部件的与所述温度调节面相反一侧的面上；
[0054]温度检测元件侧布线，其使所述温度检测元件与所述温度检测元件用布线层电连接;
[0055]温度检测元件用外部端子；以及
[0056]温度检测元件用端子侧布线，其使所述温度检测元件用外部端子与所述温度检测元件用布线层电连接。
[0057]由此，在使温度检测元件与温度检测元件用外部端子电连接的布线的中途存在利用温度调节面进行温度调节的温度检测元件用中继部件上的温度检测元件用布线层，因此，能够使该布线的温度变动降低，从而使温度检测元件的温度变动也随之降低。
[0058][应用例12]
[0059]本发明的量子干涉装置的特征在于具有本发明的发光元件模块。
[0060]由此，能够提供具有优异的可靠性的量子干涉装置。
[0061][应用例13]
[0062]本发明的原子振荡器的特征在于具有本发明的发光元件模块。
[0063]由此，能够提供具有优异的可靠性的原子振荡器。
[0064][应用例14]
[0065]本发明的电子设备的特征在于具有本发明的发光元件模块。
[0066]由此，能够提供具有优异的可靠性的电子设备。
[0067][应用例15]
[0068]本发明移动体的特征在于具有本发明的发光元件模块。
[0069]由此，能够提供具有优异的可靠性的移动体。
【附图说明】
[0070]图1是示出本发明的实施方式的原子振荡器(量子干涉装置)的概略图。
[0071]图2是用于说明碱金属的能量状态的图。
[0072]图3是示出从光射出部射出的两种光的频率差与由光检测部检测出的光的强度之间的关系的曲线图。
[0073]图4是图1所示的原子振荡器具有的光射出部(发光元件模块)的立体图。
[0074]图5是图4所示的光射出部的剖视图。
[0075]图6是图