1.一种MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述MEMS麦克风吸嘴包括与外部负压装置连接的连接部,以及用于拾取MEMS麦克风的吸附部;其中,所述吸附部具有一与所述MEMS麦克风接触的吸附面,所述吸附面上开设有避位缺口,以及与所述负压装置连通的气孔。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述吸附部采用橡胶材料制得。
3.如权利要求2所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述吸附面为矩形,所述气孔与避位缺口沿所述吸附面的长度方向分布;
所述气孔位于所述吸附面宽度方向的中部;所述避位缺口位于所述吸附面宽度方向的中部。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述气孔位于吸附面长度方向的1/3处。
5.如权利要求3或4所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述气孔的直径为所述吸附面宽度的1/4~1/2。
6.如权利要求3所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述避位缺口呈条状设置,并由所述吸附面的中部向背离所述气孔的方向延伸。
7.如权利要求6所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述避位缺口贯穿所述吸附面的侧边。
8.如权利要求7所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述避位缺口靠近所述气孔的一端呈圆角设置。
9.如权利要求6至8中任意一项所述的MEMS麦克风吸嘴,其特征在于,所述避位缺口的长度为所述吸附面长度的1/3~1/2;所述避位缺口的宽度为所述吸附面宽度的1/5~1/3。
10.一种MEMS麦克风拾取装置,其特征在于,包括权利要求1至7中任意一项所述的MEMS麦克风吸嘴。