技术特征：
1.一种具有防抖功能的感光组件，其特征在于，包括：感光芯片；以及平面移动执行器，其具有中间座、基座和mems驱动结构；其中，所述基座包括底板和自所述底板周沿向上延伸而形成的支撑座，所述中间座位于所述基座内且所述中间座的侧面与所述支撑座之间具有间隙；所述mems驱动结构包括互相适配的梳状可动部和梳状固定部，所述梳状可动部的顶面与所述中间座的底面连接，所述梳状固定部的底面与所述底板的顶面连接；其中，所述感光芯片安装于所述中间座的顶面；并且所述中间座通过多个具有弹性的连接线连接至所述支撑座，并且通过所述连接线实现中间座与所述基座的电连接。2.根据权利要求1所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述具有防抖功能的感光组件还包括线路板；所述基座的底面安装于所述线路板的表面。3.根据权利要求2所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述具有弹性的连接线为sma线。4.根据权利要求2所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述感光芯片与所述中间座通过打线方式实现电连接。5.根据权利要求2所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述mems驱动结构包括x轴驱动结构和y轴驱动结构，其中，所述x轴和所述y轴互相垂直且均平行于所述感光芯片的感光面；所述x轴驱动结构包括可沿x轴方向平移的所述梳状可动部和与其适配的所述梳状固定部，并且所述y轴驱动结构包括可沿y轴方向平移的所述梳状可动部和与其适配的所述梳状固定部。6.根据权利要求5所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述mems驱动结构包括用于驱动绕z轴旋转的旋转驱动结构，所述z轴垂直于所述x轴和所述y轴；所述旋转驱动结构包括所述梳状固定部和所述梳状可动部。7.根据权利要求1所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述中间座、基座和mems驱动结构基于半导体工艺制作；其中，所述中间座、所述基座以及所述mems驱动结构之间的间隙通过去除牺牲材料而形成。8.根据权利要求1所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述具有防抖功能的感光组件还包括滤光片，所述滤光片安装于所述支撑座的顶面。9.根据权利要求2所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述线路板的边缘区域具有镜座，所述镜座适于安装镜头组件。10.根据权利要求1所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述中间座为基于层压工艺制作的第一线路板，所述底板为基于层压工艺制作的第二线路板，所述支撑座安装或直接成型于所述第二线路板的周沿区域；所述mems驱动结构基于半导体工艺制作，并且所述mems驱动结构具有位于其顶面并与所述梳状可动部连接的第一安装面和位于其底面并与所述梳状固定部连接的第二安装面，所述第一线路板安装于所述第一安装面，所述第二线路板安装于所述第二安装面。11.根据权利要求10所述的具有防抖功能的感光组件，其特征在于，所述第一线路板和所述第二线路板均为pcb板。12.一种摄像模组，其特征在于，包括：
镜头组件；以及权利要求1-11中任一项所述的具有防抖功能的感光组件，其中所述镜头组件的底面安装于所述的具有防抖功能的感光组件的顶面。13.根据权利要求12所述的摄像模组，其特征在于，所述镜头组件包括马达和光学镜头，所述马达用于驱动所述光学镜头移动以实现对焦功能；所述具有防抖功能的感光组件中，所述平面移动执行器用于驱动所述中间座并带动所述感光芯片移动，以实现防抖功能。14.一种具有防抖功能的感光组件的组装方法，其特征在于，包括：步骤1)准备平面移动执行器，其具有中间座、基座和mems驱动结构；其中，所述基座包括底板和自所述底板周沿向上延伸而形成的支撑座；所述中间座位于所述底板上方且所述中间座的侧面与所述支撑座之间具有间隙；所述mems驱动结构包括互相适配的梳状可动部和梳状固定部，所述梳状可动部的顶面与所述中间座的底面连接，所述梳状固定部的底面与所述底板的顶面连接；步骤2)在所述中间座和所述基座之间的间隙注入水溶胶，然后使水溶胶固化以将所述中间座固定在所述基座之中；步骤3)在所述中间座的顶面安装感光芯片，通过wb工艺在所述中间座与所述支撑座之间形成多个具有弹性的连接线，并且所述连接线将所述感光芯片和所述基座电导通；以及步骤4)通过水洗工艺将所述水溶胶去除以释放所述中间座。15.根据权利要求14所述的具有防抖功能的感光组件的组装方法，其特征在于，所述步骤3)中，所述具有弹性的连接线为sma线。16.根据权利要求14所述的具有防抖功能的感光组件的组装方法，其特征在于，所述步骤3)还包括：通过wb工艺将所述感光芯片与所述中间座电连接。17.根据权利要求14所述的具有防抖功能的感光组件的组装方法，其特征在于，所述步骤1)中，所述平面移动执行器为半导体工艺制作的mems执行器，所述mems执行器的制作方法包括：11)制作基座；12)在所述基座的上表面制作下连接层，所述下连接层包括用于连接所述基座和梳状固定部的下连接部和填充在所述下连接部之间的牺牲材料；13)在所述下连接层的上表面制作梳状驱动结构图案层，所述梳状驱动结构图案层包括多个梳状驱动结构图案和填充在梳状驱动结构图案之间的牺牲材料，每个所述梳状驱动结构图案均包括所述梳状固定部和梳状可动部；14)在所述梳状驱动结构图案层的上表面制作上连接层，所述上连接层包括用于连接中间座和所述梳状可动部的上连接部和填充在所述上连接部之间的牺牲材料；15)在所述上连接层的上表面制作中间座；以及16)去除所述牺牲材料，得到所需的所述mems执行器。18.一种摄像模组的组装方法，其特征在于，包括：a)基于权利要求14-17中任一项所述的具有防抖功能的感光组件的组装方法组装感光组件；以及b)将镜头组件与所述感光组件组装在一起得到所述摄像模组。
技术总结
本发明涉及一种具有防抖功能的感光组件，其包括：感光芯片；以及平面移动执行器，其具有中间座、基座和MEMS驱动结构；其中，所述基座包括底板和自所述底板周沿向上延伸而形成的支撑座，所述中间座位于所述基座内且所述中间座的侧面与所述支撑座之间具有间隙；所述MEMS驱动结构包括互相适配的梳状可动部和梳状固定部，所述梳状可动部的顶面与所述中间座的底面连接，所述梳状固定部的底面与所述底板的顶面连接；其中，所述感光芯片安装于所述中间座的顶面；并且所述中间座通过多个具有弹性的连接线连接至所述支撑座，并且通过所述连接线实现中间座与所述基座的电连接。本发明还提供相应的摄像模组，以及感光组件和摄像模组的组装方法。法。法。
技术研发人员：王启 何艳宁 黄桢 袁栋立 蒋泽娇
受保护的技术使用者：宁波舜宇光电信息有限公司
技术研发日：2020.06.08
技术公布日：2021/12/23