专利名称：带有部件增设装置的静电消除器的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于对带电的工件进行除电的静电消除器，更详细地说，是涉及带有部件增设装置的静电消除器，所述部件增设装置可增设相关部件。
背景技术：
在半导体晶片等的工件的处理工序中，使用静电消除器对由于静电而带电的工件进行除电。该静电消除器，例如如专利文献1所示，在壳体下面的电极安装口内配置有正电极和负电极，在正电极上施加有正脉冲状的高电压，在负电极上施加有负脉冲状的高电压，由此发生电晕放电、从两个电极产生正负离子。
在这种静电消除器中，由于其使用条件、使用环境等，有时要求安装用于测定除电区域中的离子平衡的传感器，或在上述电极安装口上安装过滤器、以防止电极附着尘埃。另外，在上述电极可自由拆装地安装成盒式的情况下，需要安装防止脱落用的部件、以防止该电极盒由于振动、冲击等而从上述电极安装口不经意地脱落。
但是，以往的静电消除器，在后来增设上述那样的各种相关部件的情况下，不能简单地安装这些相关部件。另外，即使想办法安装了这些部件，由于各部件的安装方法各不相同，所以安装也比较麻烦、不能简单地进行处理。
专利文献1特开2005-108829号公报发明内容于是，本发明的目的是提供一种带有部件增设装置的静电消除器，该静电消除器即使在后来也可以简单地进行各种相关部件的增设。
为了达到上述的目的，本发明的静电消除器具有静电消除器本体和部件增设用的辅助部件，所述静电消除器本体具有横向较长的壳体、离子发生用的电极和一对部件安装槽，所述壳体具有开设电极安装口的下面以及与该下面连接的两个侧面；所述离子发生用的电极安装在上述电极安装口内；所述一对部件安装槽在上述壳体的两个侧面的靠近下端部的位置在该壳体的长度方向延伸设置，所述部件增设用的辅助部件通过与上述部件安装槽卡定而安装在该静电消除器本体上。上述部件安装槽具有上侧槽壁和下侧槽壁，该下侧槽壁的至少槽口侧的壁部分逐渐倾斜为向外向下的形状，并且，上述辅助部件具有相对的一对安装用侧壁，在这些侧壁的前端形成有卡定用的突缘，通过使该突缘与上述部件安装槽弹性地卡定，将上述辅助部件装卸自如地安装在上述静电消除器本体上。
在本发明中，优选地，上述部件安装槽中的从下侧槽壁的槽底到槽口的壁高度，形成为比从上侧槽壁的槽底到槽口的壁高度低，另外，从该下侧槽壁的槽口端向上述下面延伸的面，通过逐渐地向接近壳体的中心的方向倾斜，形成用于将上述突缘向安装槽引导的引导面。
另外，优选地，上述部件安装槽的下侧槽壁的倾斜的壁部分与假想垂直面所成的角度为10～80度，所述假想垂直面将上述壳体在宽度方向的中央分成两部分。
在本发明的一个具体例中，上述辅助部件是防止脱落罩，该防止脱落罩保持上述电极，使其不从电极安装口脱落。
在这种情况下，上述辅助部件可以是过滤器保持件，该过滤器保持件用于将多孔质的过滤器安装在上述电极安装口。
另外，在本发明的其他例子中，上述辅助部件是传感器保持件，该传感器保持件用于保持离子平衡测定用的传感器。
本发明的静电消除器，在壳体上形成有一对部件安装槽，在该部件安装槽上，通过弹性地卡定形成在辅助部件的两侧壁上的突缘可以自由装卸地安装该辅助部件，通过该辅助部件可以安装传感器、过滤器等的各种部件，所以即使在后来也可以简单地增设这些部件。特别是，由于使上述部件安装槽的下侧槽壁倾斜成逐渐向外向下的形状，所以与该下侧槽壁为朝向水平的通常的槽形状的情况相比，可以顺利且切实地进行上述辅助部件的拆装。
图1是表示本发明的第一实施方式的正视图。
图2是图1的仰视图，以剖切辅助部件的一部分的方式进行表示。
图3是图1的侧视图，以剖切一部分的方式进行表示。
图4是在图3中分离辅助部件部分进行表示的侧视图。
图5是壳体的局部放大剖视图。
图6是本发明的第二实施方式的正视图。
图7是图6的侧视图，以剖切一部分的方式进行表示。
图8是本发明的第三实施方式的正视图。
图9是图8的侧视图，以剖切一部分的方式进行表示。
具体实施例方式
图1～图4表示本发明的静电消除器的第一实施方式。该静电消除器1A是在半导体晶片等的工件的处理工序中、用于对因静电而带电的该工件进行除电的装置，若从静电消除器1A对工件投射正负离子，则在该工件带正电时将吸附负离子、在该工件带负电时将吸附正离子，以此进行除电。
对于上述静电消除器1A，在具有一对或一对以上、最好是多对的离子发生用的正负电极11，11的静电消除器本体2中，可自由拆装地安装有用于增设部件的辅助部件3A。该辅助部件3A是用于在上述静电消除器本体2上增设传感器、过滤器等的相关部件的部件，在该第一实施方式中，上述辅助部件3A作为用于防止上述电极11脱落的部件、即防止脱落罩进行工作。
上述静电消除器本体2，在横向具有细长的中空壳体5。该壳体5在纵向具有细长矩形或者长圆形、或者与其类似的剖面形状，在其下面5a，在轴线方向(长度方向)具有细长的长圆形状的多个电极安装口6以等间隔形成在该轴线方向，在各电极安装口6上，可自由拆装地安装有电极盒7。图中的8表示封闭上述壳体5的长度方向的两端部的端板。
上述电极盒7在剖面为长圆形的中空的电极保持件10的内部，保持有通过施加高电压而产生正负离子的上述一对正负电极11，11，在插入到上述电极安装口6内后，通过使该电极盒7绕中心轴线旋转一定角度，可以将其卡定在该电极安装口6内、进行安装。因此，在将该电极盒7从电极安装口6取下时，使其朝与上述卡定的情况相反的方向旋转即可。
上述正负电极11虽然没有特别的图示，但它的工作原理如下，即，与产生正脉冲状高电压的正的高电压发生回路、和产生负脉冲状高电压的负的高电压发生回路分别连接，从周期性动作的这些高电压发生回路交替地施加正负的高电压，以此产生电晕放电，从正电极11放出正离子，从负电极11放出负离子。
另外，上述壳体5如图5明确示出，具有上述电极安装口6开口的上述下面5a；向上下(垂直)方向延伸的左右的侧面5b，5b；位于这些下面5a与两个侧面5b，5b之间的引导面5c，5c。在上述两个侧面5b，5b的下端部的相互相对的位置，具有沿着该壳体5的轴线方向(长度方向)在整个长度上延伸的一对部件安装槽15，15。
上述部件安装槽15具有大致U字形或V字形的槽形剖面，并具有上侧槽壁15a和下侧槽壁15b，其中，上侧槽壁15a朝向槽口侧倾斜成水平状或稍微向外向上的形状，另一方的下侧槽壁15b朝向槽口侧形成为逐渐向外向下的形状。另外，该下侧槽壁15b的从槽底到槽口的壁高度，与上侧槽壁15a的从槽底到槽口的壁高度相比较小地形成。
另外，从上述下侧槽壁15b的槽口端朝向上述下面5a延伸的上述引导面5c，不是垂直面，而是形成为逐渐向靠近壳体的中心的方向倾斜的倾斜面，在将上述辅助部件3A安装到静电消除器本体2上时，通过该引导面5c将侧壁3b上端的突缘3c向上述部件安装槽15引导。该引导面5c向外缓缓弯曲成凸形状，但是也可以是直线形状。
上述部件安装槽15的下侧槽壁15b的倾斜角度，即，该下侧槽壁15b相对于将上述壳体5在宽度方向的中央分成两部分的假想垂直面M所成的角度θ，最好是如下的角度，即，可以切实地将上述突缘3c卡定在部件安装槽15上，并且，可以容易地进行其装卸，该角度大致在10～80度的范围。
另外，该下侧槽壁15b未必需要整体倾斜，其槽底侧的部分水平、槽口侧的部分倾斜即可。
上述辅助部件3A，通过合成树脂等的透明或者不透明的弹性材料形成为槽状剖面，实质上具有平的底壁3a、左右的侧壁3b，3b、卡定用的突缘3c，所述侧壁3b，3b在从该底壁3a的左右两侧端部向上立起之后一边向上倾斜或弯曲成向上扩展状一边延伸，所述突缘3c在两侧壁3b的上端部形成为向内突出。在上述底壁3a上，在上述辅助部件3A的长度方向留有规定间隔地形成有与该电极盒7相同数量的嵌合孔13，该嵌合孔13与上述电极盒7的电极保持件10嵌合、具有长圆形状。
另外，上述左右的侧壁3b，3b，形成为在相互的间隔扩大或缩小的方向可以自由弹性变形，通过使两侧壁3b，3b的前端的上述突缘3c，3c与部件安装槽15，15弹性地卡定，可将上述辅助部件3A在上述静电消除器本体2的壳体5的下面5a上，以跨越该下面5a的状态自由拆装地进行安装。
在此，在将上述辅助部件3A安装到静电消除器本体2上时，可使该辅助部件3A紧靠在壳体的下面5a上并将其向该下面5a强力地推压。如此，在通过两侧壁3b，3b的弹性变形将一对突缘3c，3c沿着上述引导面5c，5c向左右压开、扩展后，该一对突缘3c，3c沿着倾斜成向外向下形状的下侧槽壁15b，15b与部件安装槽15，15内部嵌合、进行卡定，因此，在该时刻完成安装。
另外，在将上述辅助部件3A从静电消除器本体2拆下时，可以将该辅助部件3A从壳体5的下面5a强力地拉开。这样，通过两侧壁3b，3b的弹性变形，可以将上述两突缘3c，3c沿着向下倾斜的下侧槽壁15b，15b压开、扩展，将其从部件安装槽15，15拆下，因此可以容易地将其拆下。
另外，通过如上所述地将壳体5的部件安装槽15形成为下侧槽壁15b向外向下倾斜的槽形状，可以非常简单且顺利地进行上述辅助部件3A的拆装。
此外，若将上述辅助部件3A安装在静电消除器本体2上，则上述电极盒7的电极保持件10将与上述嵌合孔13的内部嵌合，并处于通过该嵌合孔13而限制该电极盒7的旋转的状态，因此可防止该电极盒7从壳体5的电极安装口6脱离。
在将上述电极盒7从电极安装口6拆下时，在将上述辅助部件3A从壳体5拆下后，使该电极盒7绕中心轴线旋转一定角度、解除与电极安装口6的卡合。
上述辅助部件3A的横向宽度，在安装于上述壳体5上时，最好为不从该壳体5的侧面5b，5b向外方突出的大小，为与该壳体5的横向宽度相同的大小更好。
另外，该辅助部件3A的长度可以为与该壳体5相同的长度，以便整体覆盖上述壳体5的下面5a，但是在上述实施方式中，形成为比壳体5短、却可以跨越所有的电极盒7的长度。
图6及图7表示本发明的第二实施方式，该第二实施方式的静电消除器1B，其辅助部件3B与上述第一实施方式的辅助部件3A同样地作为防止脱落罩进行工作，此外，还兼具用于增设过滤器17的作为过滤器保持件的功能。即，在该辅助部件3B中，电极盒7所嵌合的嵌合孔13形成为该电极盒7的电极保持件10的前端部不突出的深度，在该嵌合孔13内，收容有覆盖上述电极保持件10前端的开口部的多孔质的上述过滤器17。该过滤器17用于防止尘埃附着在电极11上，由具有连续气泡的合成树脂发泡体、无纺布等形成，通过该过滤器17可以从上述电极11放出离子。
该第二实施方式的上述以外的结构，特别是相对于静电消除器本体2安装上述辅助部件3B的结构，实质上与上述第一实施方式相同，因此，对于这些相同的主要构成部分标记与第一实施方式的场合相同的符号，并省略其说明。
图8及图9表示本发明的第三实施方式，在该第三实施方式的静电消除器1C中，辅助部件3C发挥传感器保持件的作用，该传感器保持件用于增设离子平衡测定用的传感器18。该辅助部件3C在底壁3a的下面，具有用于保持上述传感器18的矩形的传感器保持框3d，除此以外与上述第一实施方式的辅助部件3A相同，具有带有弹性的左右的侧壁3b，3b；形成在这些两侧壁3b，3b上的卡定用突缘3c，3c。通过将该突缘3c，3c弹性地卡定在上述部件安装槽15上可以将其安装在上述壳体5上。
该第三实施方式的上述以外的结构实质上与上述第一实施方式相同，所以对于这些相同的主要构成部分标记与上述第一实施方式相同的符号，并省略其说明。
另外，上述第三实施方式中的辅助部件3C，由于其大小较小，所以可以与上述第一及第二实施方式中的辅助部件3A及3B并用。即，在上述第一及第二实施方式中，在与这些辅助部件3A及3B邻接的位置，可以并列安装第三实施方式的辅助部件3C。
权利要求
1.一种带有部件增设装置的静电消除器，其特征在于，具有静电消除器本体和部件增设用的辅助部件，所述静电消除器本体具有横向较长的壳体、离子发生用的电极和一对部件安装槽，所述壳体具有开设电极安装口的下面以及与该下面连接的两个侧面；所述离子发生用的电极安装在上述电极安装口内；所述一对部件安装槽在上述壳体的两个侧面的靠近下端部的位置在该壳体的长度方向延伸设置，所述部件增设用的辅助部件通过与上述部件安装槽卡定而安装在该静电消除器本体上，上述部件安装槽具有上侧槽壁和下侧槽壁，该下侧槽壁的至少槽口侧的壁部分逐渐倾斜为向外向下的形状，上述辅助部件具有相对的一对安装用侧壁，在这些侧壁的前端形成有卡定用的突缘，通过使该突缘与上述部件安装槽弹性地卡定，将上述辅助部件装卸自如地安装在上述静电消除器本体上。
2.如权利要求1所述的静电消除器，其特征在于，上述部件安装槽中的从下侧槽壁的槽底到槽口的壁高度，形成为比从上侧槽壁的槽底到槽口的壁高度低，另外，从该下侧槽壁的槽口端向上述下面延伸的面，通过逐渐地向接近壳体的中心的方向倾斜，形成用于将上述突缘向安装槽引导的引导面。
3.如权利要求1或2所述的静电消除器，其特征在于，上述部件安装槽的下侧槽壁的倾斜的壁部分与假想垂直面所成的角度为10～80度，所述假想垂直面将上述壳体在宽度方向的中央分成两部分。
4.如权利要求1或2所述的静电消除器，其特征在于，上述辅助部件是防止脱落罩，该防止脱落罩保持上述电极，使其不从电极安装口脱落。
5.如权利要求4所述的静电消除器，其特征在于，上述辅助部件是过滤器保持件，该过滤器保持件用于将多孔质的过滤器安装在上述电极安装口。
6.如权利要求1或2所述的静电消除器，其特征在于，上述辅助部件是传感器保持件，该传感器保持件用于安装离子平衡测定用的传感器。
全文摘要
一种带有部件增设装置的静电消除器，在静电消除器本体的两个侧面安装有部件安装槽，在该部件安装槽上拆装自如地卡定有部件增设用的辅助部件，通过该辅助部件增设传感器、过滤器等的部件。在上述部件安装槽中，下侧槽壁朝向槽口侧逐渐倾斜为向外向下的形状，另外，上述辅助部件在左右侧壁的前端具有卡定用的突缘，通过使该突缘与上述部件安装槽弹性地卡定，将上述辅助部件安装在上述静电消除器本体上。
文档编号H05F3/04GK1980520SQ20061016423
公开日2007年6月13日 申请日期2006年12月5日 优先权日2005年12月5日
发明者佐藤俊夫, 鈴木智, 土屋元 申请人:Smc株式会社